低温泵及低温泵的再生方法技术

本发明专利技术的目的在于缩短低温泵的再生时间。低温泵具备：制冷机；低温板，被制冷机冷却；低温泵容器，具备容器主体和制冷机容纳筒，所述容器主体容纳低温板，所述制冷机容纳筒的一端连接于容器主体且另一端固定于制冷机上，在所述制冷机容纳筒内插入有制冷机；通气阀(22)，用于从低温泵容器排出流体；第1排出管路(51)，具有设置于容器主体上的第1排出端口(53)，所述第1排出管路配置于低温泵容器的外部，将第1排出端口连接于通气阀；及第2排出管路(52)，具有设置于制冷机容纳筒上的第2排出端口(54)，所述第2排出管路将第2排出端口连接于通气阀，所述第2排出管路在第1排出端口与通气阀之间汇合到第1排出管路。汇合到第1排出管路。汇合到第1排出管路。

【技术实现步骤摘要】
低温泵及低温泵的再生方法
[0001]本申请主张基于2020年9月30日申请的日本专利申请第2020
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164528号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。


[0002]本专利技术涉及一种低温泵及低温泵的再生方法。

技术介绍

[0003]低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉到冷却至超低温的低温板上并进行排出的真空泵。通常，低温泵用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。由于低温泵是所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行将捕捉到的气体向外部排出的再生。
[0004]专利文献1：日本特开2007
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309184号公报
[0005]根据适用低温泵的工艺，所谓的第2类气体有可能会大量积聚在低温泵内。第2类气体是指：通过冷凝而被捕捉到通常被冷却至20K以下的低温板上的气体(例如氩气、氮气等)。此时，通过再生期间的低温泵的升温，积聚的大量的第2类气体有时会会被液化而暂时贮留在低温泵内部。在典型的低温泵中，通过加热使液化的第2类气体气化，从而排出到低温泵的外部。使大量的液化气体气化需要相应的时间，因此会导致低温泵的升温时间甚至再生时间变长。而且，液化的第2类气体的温度非常低，能够冷却在低温泵内接触到的部位。由此，低温泵的升温所需时间也会变长。并且，若低温泵容器与液化的第2类气体接触而被冷却，则还会存在低温泵外表面大量结露的不良现象。

技术实现思路

[0006]本专利技术的一种方式的示例性目的之一在于，缩短低温泵的再生时间。r/>[0007]根据本专利技术的一种实施方式，低温泵具备：制冷机；低温板，被制冷机冷却；低温泵容器，具备容器主体和制冷机容纳筒，所述容器主体容纳低温板，所述制冷机容纳筒的一端连接于容器主体且另一端固定于制冷机上，在所述制冷机容纳筒内插入有制冷机；通气阀，用于从低温泵容器排出流体；第1排出管路，具有设置于容器主体上的第1排出端口，所述第1排出管路配置于低温泵容器的外部，将第1排出端口连接于通气阀；及第2排出管路，具有设置于制冷机容纳筒上的第2排出端口，所述第2排出管路将第2排出端口连接于通气阀，所述第2排出管路在第1排出端口与通气阀之间汇合到第1排出管路。
[0008]根据本专利技术的一种实施方式，低温泵的再生方法包括如下步骤：将低温泵升温至被低温泵捕捉的气体中的对象气体的熔点或超过熔点的温度；及将对象气体的液化物从低温泵容器的容器主体通过第1排出管路排出到通气阀和/或从低温泵容器的制冷机容纳筒通过第2排出管路排出到通气阀。第1排出管路配置于低温泵容器的外部，并且具有设置于容器主体上的第1排出端口。第2排出管路具有设置于制冷机容纳筒上的第2排出端口，并在第1排出端口与通气阀之间汇合到第1排出管路。
[0009]根据本专利技术的一种实施方式，低温泵具备：制冷机；低温板，被制冷机冷却；低温泵容器，具备容器主体和制冷机容纳筒，所述容器主体容纳低温板，所述制冷机容纳筒的一端连接于容器主体且另一端固定于制冷机上，在所述制冷机容纳筒内插入有制冷机；吹扫阀，设置于制冷机容纳筒上，并且用于将吹扫气体供给到低温泵容器；第1排出管路，具有设置于容器主体上的第1排出端口；第2排出管路，具有设置于制冷机容纳筒上的第2排出端口；切换控制阀，在从吹扫阀供给吹扫气体时，可以关闭第2排出管路。
[0010]根据本专利技术的一种实施方式，低温泵的再生方法包括如下步骤：将低温泵升温至被低温泵捕捉的气体中的对象气体的熔点或超过熔点的温度；将对象气体的液化物通过低温泵容器的容器主体上的第1排出端口排出到低温泵容器的外部和/或通过低温泵容器的制冷机容纳筒上的第2排出端口排出到低温泵容器的外部；及在将吹扫气体从吹扫阀供给到低温泵容器时，关闭第1排出端口和第2排出端口中的靠近吹扫阀的排出端口，并在该状态下，从第1排出端口和第2排出端口中的离吹扫阀更远的排出端口排出吹扫气体。
[0011]另外，以上构成要件的任意组合或将本专利技术的构成要件或表述方式在方法、装置、系统等之间彼此替换的方式也作为本专利技术的实施方式而有效。
[0012]根据本专利技术，能够缩短低温泵的再生时间。
附图说明
[0013]图1示意地表示实施方式所涉及的低温泵。
[0014]图2示意地表示实施方式所涉及的低温泵。
[0015]图3是示意地表示将实施方式所涉及的低温泵横置的情况下的低温泵的动作的图。
[0016]图4是示意地表示将实施方式所涉及的低温泵横置的情况下的低温泵的动作的图。
[0017]图5是示意地表示将实施方式所涉及的低温泵纵置的情况下的低温泵的动作的图。
[0018]图6是示意地表示将实施方式所涉及的低温泵纵置的情况下的低温泵的动作的图。
[0019]图7是示意地表示实施方式所涉及的低温泵的再生方法的图。
[0020]图8是示意地表示实施方式所涉及的低温泵的再生方法的图。
[0021]图9示意地表示另一实施方式所涉及的低温泵的排出管线。
[0022]图中：10
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低温泵，14
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制冷机，16
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低温泵容器，16a
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容器主体，16b
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制冷机容纳筒，17
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低温泵吸气口，20
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吹扫阀，22
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通气阀，24
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切换控制阀，38
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低温板，40
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第1温度传感器，42
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第2温度传感器，46
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控制器，51
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第1排出管路，52
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第2排出管路，53
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第1排出端口，54
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第2排出端口。
具体实施方式
[0023]以下，参考附图，对本专利技术的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。在各附图中，为了便于说明，适当设定各部分的比例或形状，除非另有说明，其并不作限定性解释。实施方
式为示例，其对本专利技术的范围并不作任何限定。实施方式中记载的所有特征或其组合并不一定是专利技术的本质。
[0024]图1及图2示意地表示了实施方式所涉及的低温泵10。图1中示意地示出了低温泵10的外观，图2中示意地示出了低温泵10的内部结构。低温泵10例如安装于离子注入装置、溅射装置、蒸镀装置或其他真空处理装置的真空腔室，并且用于将真空腔室内部的真空度提高至所期望的真空处理中所要求的水平。例如，在真空腔室中实现10
‑5Pa至10
‑8Pa左右的高真空度。
[0025]低温泵10具备压缩机12、制冷机14及低温泵容器16。低温泵容器16具有低温泵吸气口17。并且，低温泵10还具备粗抽阀18、吹扫阀20、通气阀22及切换控制阀24，这些阀设置于低温泵容器16上。
[0026]压缩机12构成为从制冷机14回收制冷剂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机；低温板，被所述制冷机冷却；低温泵容器，具备容器主体和制冷机容纳筒，所述容器主体容纳所述低温板，所述制冷机容纳筒的一端连接于所述容器主体且另一端固定于所述制冷机上，在所述制冷机容纳筒内插入有所述制冷机；通气阀，用于从所述低温泵容器排出流体；第1排出管路，具有设置于所述容器主体上的第1排出端口，所述第1排出管路配置于所述低温泵容器的外部，将所述第1排出端口连接于所述通气阀；及第2排出管路，具有设置于所述制冷机容纳筒上的第2排出端口，所述第2排出管路将所述第2排出端口连接于所述通气阀，所述第2排出管路在所述第1排出端口与所述通气阀之间汇合到所述第1排出管路。2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述容器主体具有低温泵吸气口，所述制冷机容纳筒连接于所述容器主体的侧部，所述第1排出端口设置于所述容器主体的底部，所述第1排出管路设置成在将所述低温泵以使所述低温泵吸气口朝上的方式配置的情况下位于比所述制冷机容纳筒更靠下方的位置。3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，所述第2排出端口设置在比连接于所述容器主体的所述制冷机容纳筒的所述一端更靠近固定于所述制冷机上的所述制冷机容纳筒的所述另一端的所述制冷机容纳筒上。4.根据权利要求1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于，还具备：吹扫阀，设置于所述制冷机容纳筒上，并且用于将吹扫气体供给到所述低温泵容器；及切换控制阀，设置于所述第1排出管路和所述第2排出管路的汇合部或者设置于所述第2排出管路上的所述汇合部与所述第2排出端口之间，并且至少开闭所述第2排出管路。5.根据权利要求4所述的低温泵，其特征在于，还具备：温度传感器，测定所述低温泵内的温度，并输出表示测定温度的测定信号；及控制器，根据所述测定信号来检测所述测定温度从上升转变为降低或停止上升，并根据所述转变或所述停止上升控制所述切换控制阀以使所述第2排出管路开放。6.根据权利要求5所述的低温泵，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷津贵裕，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：