一种电容式真空压力传感器制造技术

本申请属于压力传感器技术领域，公开了一种电容式真空压力传感器，包括具有容置腔的壳体，还包括感压膜片及固定电极，感压膜片与固定电极均为圆筒形状，感压膜片设置在容置腔内，感压膜片的两端分别连接容置腔的顶部和底部，感压膜片将容置腔分为测量腔及参考腔，固定电极设置在参考腔内，固定电极与感压膜片组成可变电容器。本申请的电容式真空压力传感器将感压膜片和固定电极均设计为圆筒形状，与现有技术中同等体积的电容薄膜真空计相比，基础电容值得到增大，有效提高了电容式真空压力传感器的灵敏度和精度，降低了电容信号的处理难度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种电容式真空压力传感器


[0001]本专利技术属于压力传感器
，特别涉及一种电容式真空压力传感器。

技术介绍

[0002]电容式薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计，现有电容式薄膜真空计的感应膜片02和感应电极03一般是平行设置在外壳01内，如图1所示，但是，此种电容式薄膜真空计的感应膜片02和感应电极03形成的平行板电容器传感组件电容值很小，为皮法级，因此压力变化引起的电容变化也很小，增加了电容信号的处理难度，影响电容薄膜真空计的精度和灵敏度。
[0003]因此，现有技术有待改进和发展。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供了一种电容式真空压力传感器，能够使得基础电容值得到增大，从而提高电容薄膜真空计的精度和灵敏度。
[0005]本申请提供一种电容式真空压力传感器，包括具有容置腔的壳体，还包括感压膜片及固定电极；所述感压膜片及所述固定电极均为圆筒形状；所述感压膜片设置在所述容置腔内，所述感压膜片的两端分别连接所述容置腔的顶部和底部，所述感压膜片将所述容置腔分为测量腔及参考腔；所述固定电极设置在所述参考腔内，所述固定电极与所述感压膜片组成可变电容器。
[0006]本申请提供的电容式真空压力传感器将感压膜片和固定电极均设计为圆筒形状，使得电容式真空压力传感器与同等体积的电容薄膜真空计相比，基础电容值得到增大，从而提高了电容式真空压力传感器的灵敏度和精度。
[0007]进一步地，上述固定电极包括导电区域及不导电区域，所述导电区域与所述感压膜片对应，所述不导电区域位于所述导电区域的两端。
[0008]本申请通过将固定电极的导电区域与感压膜片对应，使得固定电极的导电区域在感压膜片受压变形前和受压变形后始终保持与感压膜片平行，从而提高了电容式真空压力传感器的线性度。
[0009]进一步地，上述固定电极的一端或两端通过弹性件抵接所述壳体的内侧壁。
[0010]本申请通过在固定电极的一端或两端设置弹性件，使得固定电极在热膨胀情况下，弹性件起到一定缓冲作用，避免固定电极损坏。
[0011]进一步地，上述壳体内设有内板，所述内板与所述壳体的内侧壁连接；所述感压膜片的一端连接所述容置腔的顶部，所述感压膜片的另一端连接所述内板。
[0012]进一步地，上述内板具有凸块，所述固定电极具有凹槽，所述凸块与所述凹槽相适配。
[0013]进一步地，上述凸块与所述凹槽之间设有弹性垫。
[0014]进一步地，上述内板具有多个气孔，所述多个气孔均连通所述测量腔。
[0015]进一步地，上述电容式真空压力传感器还包括连接管，所述连接管连通所述测量腔。
[0016]进一步地，上述电容式真空压力传感器还包括抽气管，所述抽气管连通所述参考腔。
[0017]进一步地，上述电容式真空压力传感器还包括吸气剂，所述吸气剂连通所述参考腔。
[0018]由上可知，本专利技术的电容式真空压力传感器将感压膜片和固定电极均设计为圆筒形状，与现有技术中同等体积的电容薄膜真空计相比，基础电容值得到增大，有效提高了电容式真空压力传感器的灵敏度和精度，降低了电容信号的处理难度。
[0019]本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
[0020]图1为现有技术中一种电容式薄膜真空计的结构示意图。
[0021]图2为本申请实施例提供的一种电容式真空压力传感器的结构示意图。
[0022]图3为本申请实施例提供的一种电容式真空压力传感器的剖视图。
[0023]图4为本申请实施例提供的感压膜片受压处于变形状态的结构示意图。
[0024]图5为本申请实施例提供的固定电极的结构示意图。
[0025]图6为本申请实施例提供的一种电容式真空压力传感器的另一剖视图。
[0026]标号说明：01、外壳；02、感应膜片；03、感应电极；10、壳体；101、容置腔；1011、测量腔；1012、参考腔；12、感压膜片；121、变形直段区域；122、变形非直段区域；14、固定电极；141、导电区域；142、不导电区域；143、凹槽；15、引出电极；16、弹性件；18、内板；180、凸起环；181、气孔；182、凸块；183、聚气槽；20、弹性垫；22、连接管；24、抽气管；26、吸气剂。
具体实施方式
[0027]下面详细描述本专利技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0028]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本专利技术的不同结构。为了简化本专利技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本专利技术。此外，本专利技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。
[0029]参见图2及图3，本专利技术一种电容式真空压力传感器，包括壳体10、感压膜片12及固定电极14。壳体10具有容置腔101。感压膜片12与固定电极14均为圆筒形状。感压膜片12设置在容置腔101内，感压膜片12的两端分别连接容置腔101的顶部和底部，具体地，容置腔101的顶部和底部可以分别为壳体10的顶部内侧壁和壳体10的底部内侧壁。感压膜片12将容置腔101分为测量腔1011及参考腔1012。固定电极14设置在参考腔1012内，固定电极14与
感压膜片12组成可变电容器。
[0030]具体应用中，固定电极14与感压膜片12同轴心设置，测量腔1011连通待测对象（腔体或容器），参考腔1012连通真空泵，利用真空泵对参考腔1012进行抽真空，使得参考腔1012与测量腔1011之间产生压差，从而使得感压膜片12变形，从而使感压膜片12与固定电极14之间的距离发生变化，进而使固定电极14与感压膜片12组成的可变电容器的电容发生变化，建立压力与电容的线性关系，通过测量电容值的改变，即可测得真空压力值。
[0031]通过该技术方案，使得电容式真空压力传感器与现有技术中同等体积的电容薄膜真空计相比，基础电容值得到增大，有效提高了电容式真空压力传感器的灵敏度和精度，降低了电容信号的处理难度。
[0032]由于感压膜片12的变形量只与压力、内径和材料本身的性能相关，因此，在内径和材料确定的情况下，可以通过增加电容式真空压力传感器高度的方式进一步提高基础电容值，从而进一步提高电容式真空压力传感器的灵敏度和精度。
[0033]再一并参见图4及图5，在一些优选的实施方式中，上述固定电极14包括导电区域141及不导电区域142。导电区域141与感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电容式真空压力传感器，包括具有容置腔（101）的壳体（10），其特征在于，还包括感压膜片（12）及固定电极（14）；所述感压膜片（12）及所述固定电极（14）均为圆筒形状；所述感压膜片（12）设置在所述容置腔（101）内，所述感压膜片（12）的两端分别连接所述容置腔（101）的顶部和底部，所述感压膜片（12）将所述容置腔（101）分为测量腔（1011）及参考腔（1012）；所述固定电极（14）设置在所述参考腔（1012）内，所述固定电极（14）与所述感压膜片（12）组成可变电容器。2.根据权利要求1所述的电容式真空压力传感器，其特征在于，所述固定电极（14）包括导电区域（141）及不导电区域（142），所述导电区域（141）与所述感压膜片（12）对应，所述不导电区域（142）位于所述导电区域（141）的两端。3.根据权利要求1所述的电容式真空压力传感器，其特征在于，所述固定电极（14）的一端或两端通过弹性件（16）抵接所述壳体（10）的内侧壁。4.根据权利要求1所述的电容式真空压力传感器，其特征在于，所述壳体（10）内设有内板（18），所述内板（18）与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯少毅，胡强，刘乔，卫红，王凤双，黄星星，毕诗博，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：