有机发光显示装置制造方法及图纸

技术编号:33057934 阅读:16 留言:0更新日期:2022-04-15 09:45
公开了一种有机发光显示装置。该有机发光显示装置包括:被设置在基板上的第一电极;覆盖所述第一电极的边缘的像素限定层;被设置在所述像素限定层上的层,包括含氟聚合物并且接触所述第一电极的顶表面;包括第一发光层的第一有机功能层,所述第一有机功能层具有接触所述第一电极的所述顶表面的下表面;以及被设置在所述第一有机功能层上的第二电极。在所述第一有机功能层上的第二电极。在所述第一有机功能层上的第二电极。

【技术实现步骤摘要】
有机发光显示装置
[0001]本申请是申请日为2016年7月22日、申请号为201610584830.2、名称为“有机发光显示装置和制造有机发光显示装置的方法”的专利技术专利申请的分案申请。
[0002]相关申请的交叉引用
[0003]此申请要求2015年7月22日提交的韩国专利申请第10

2015

0103877号的优先权和权益,该专利申请出于所有目的通过引用被合并于此,如同在本文中完全阐述一样。


[0004]示例性实施例涉及有机发光显示装置和制造有机发光显示装置的方法。

技术介绍

[0005]有机发光显示装置是具有空穴注入电极、电子注入电极、以及在空穴注入电极与电子注入电极之间的有机发光层的自发光显示装置。随着由空穴注入电极注入的空穴和由电子注入电极注入的电子在有机发光层中结合并成为中性,光被发射。有机发光显示装置已作为具有例如低功耗、高亮度和快响应速度的高品质特性的下一代显示装置而被关注。
[0006]在此
技术介绍
部分中公开的上述信息仅用于增强对专利技术构思的背景的理解,因此它可能包含不构成对于本领域普通技术人员在本国已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0007]示例性实施例提供了一种由此可以防止图案不对准、可以简化工艺、可以增加效率并且可以延长寿命的制造有机发光显示装置的方法、以及由上述方法制造的有机发光显示装置。
[0008]专利技术的另外方面将在随后的描述中提出,并且部分地将从描述中显而易见,或者可以通过对专利技术构思的实践来获知。
[0009]本专利技术的一个示例性实施例公开了一种有机发光显示装置,包括:被设置在基板上的第一电极;覆盖所述第一电极的边缘的像素限定层;被设置在所述像素限定层上的层,包括含氟聚合物并且接触所述第一电极的顶表面;包括第一发光层的第一有机功能层,所述第一有机功能层具有接触所述第一电极的所述顶表面的下表面;以及被设置在所述第一有机功能层上的第二电极。
[0010]本专利技术的一个示例性实施例公开了一种有机发光显示装置,包括:被设置在基板上的第一个第一电极;与所述第一个第一电极分离设置的第二个第一电极;覆盖所述第一个第一电极和所述第二个第一电极中的每一个的边缘的像素限定层;被设置在所述像素限定层上的层,包括含氟聚合物并且接触所述第一个第一电极和所述第二个第一电极中的每一个的顶表面;包括第一发光层的第一有机功能层,所述第一有机功能层具有接触所述第一个第一电极的所述顶表面的下表面;包括第二发光层的第二有机功能层,所述第二有机功能层具有接触所述第二个第一电极的所述顶表面的下表面;以及第二电极,被公共设置在所述第一有机功能层和所述第二有机功能层上。
[0011]本专利技术的一个示例性实施例公开了一种制造有机发光显示装置的方法,包括:在基板上形成包含含氟聚合物的剥离层;在剥离层上形成光刻胶,并通过除去光刻胶的一部分来图案化光刻胶;使用第一溶剂在除去了光刻胶的区域中蚀刻剥离层,使得剥离层的一部分保留在基板上;在保留在基板上的剥离层上方和在剥离层上保留有光刻胶的区域上方形成蚀刻停止层;以及使用第二溶剂除去在剥离层上保留有光刻胶的区域下方的剥离层。
[0012]本专利技术的一个示例性实施例还公开了一种制造有机发光显示装置的方法,包括:在基板上形成多个第一电极,并进行第一单元工艺,第一单元工艺包括:在形成有多个第一电极的基板上形成包含含氟聚合物的剥离层;在剥离层上形成光刻胶,并通过光刻工艺在与多个第一电极中的一个第一电极对应的位置处除去光刻胶;使用包括氟的第一溶剂蚀刻剥离层,使得剥离层的一部分保留在多个第一电极的一个第一电极上;在保留在多个第一电极中的一个第一电极上的剥离层上方和在剥离层上保留有光刻胶的区域上方形成包括发光层的第一有机功能层;以及使用包括氟的第二溶剂除去被形成在剥离层上保留有光刻胶的区域中的剥离层。该方法进一步包括:在进行第一单元工艺之后,进行至少一次第二单元工艺,第二单元工艺在多个第一电极中的与多个第一电极中的一个第一电极不同的另一个第一电极被形成的区域中,形成发射与由第一有机功能层发射的光的颜色不同的颜色的光的第二有机功能层;以及在进行第一单元工艺和第二单元工艺之后,形成第二电极。
[0013]应当理解,前述一般性描述和下面的详细描述都是示例性和解释性的,并且旨在提供对要求保护的专利技术的进一步解释。
附图说明
[0014]被包括进来以提供对专利技术构思的进一步理解并且被并入此说明书中并构成说明书一部分的附图示出了专利技术构思的示例性实施例,并与描述一起用于解释专利技术构思的原理。
[0015]图1是根据示例性实施例的制造方法的流程图。
[0016]图2是示出由根据本专利技术示例性实施例的制造方法制造的有机发光显示装置的示意性剖视图。
[0017]图3是示意性地示出在图2的有机发光显示装置的制造方法中在基板上形成多个阳极的操作的剖视图。
[0018]图4A、图4B、图4C、图4D、图4E和图4F是示意性地示出图2的有机发光显示装置的制造方法的第一单元操作的剖视图。
[0019]图5A、图5B、图5C、图5D、图5E和图5F是示意性地示出图2的有机发光显示装置的制造方法的第二单元操作的剖视图。
[0020]图6A、图6B、图6C、图6D、图6E和图6F是示意性地示出图2的有机发光显示装置的制造方法的第三单元操作的剖视图。
[0021]图7是示出由根据本专利技术另一示例性实施例的制造方法制造的有机发光显示装置的示意性剖视图。
[0022]图8是示出由根据本专利技术又一示例性实施例的制造方法制造的有机发光显示装置的示意性剖视图。
[0023]图9是示出由根据本专利技术又一示例性实施例的制造方法制造的有机发光显示装置
的示意性剖视图。
[0024]图10是示出剥离层的残留层被形成在阳极上的XPS分析的曲线图。
[0025]图11是示出由根据本专利技术又一示例性实施例的制造方法制造的有机发光显示装置的示意性剖视图。
[0026]图12A、图12B、图12C、图12D、图12E、图12F、图12G、图12H和图12I是示意性地示出图11的有机发光显示装置的制造方法的剖视图。
[0027]图13是示出由根据本专利技术又一示例性实施例的制造方法制造的有机发光显示装置的示意性剖视图。
具体实施方式
[0028]在下面的描述中,出于解释的目的,阐述了许多具体的细节,以便提供对各种示例性实施例的透彻理解。然而,很明显,各种示例性实施例可以在没有这些具体细节或具有一个或多个等同布置的情况下实施。在其它情况下,为了避免不必要地使各种示例性实施例晦涩费解,公知的结构和设备以框图形式示出。
[0029]在附图中,为了清楚和描述目的,层、膜、面板、区域等的尺寸和相对尺寸可能被放大。此外,相同的附图标记表示相同的元件。
[0030]当元件或层被称为在另一元件或层“上”、“被连接到”或“被联接到”另一元件或层时,它可以直接在本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有机发光显示装置,包括:被设置在基板上的第一电极;覆盖所述第一电极的边缘的像素限定层;被设置在所述像素限定层上的层,包括含氟聚合物并且接触所述第一电极的顶表面;包括第一发光层的第一有机功能层,所述第一有机功能层具有接触所述第一电极的所述顶表面的下表面;以及被设置在所述第一有机功能层上的第二电极。2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置,其中所述含氟聚合物具有在2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置,其中所述含氟聚合物具有在重量百分比的范围内的氟含量。3.根据权利要求1所述的有机发光显示装置,其中所述含氟聚合物包括聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯、聚二氯二氟乙烯、三氟氯乙烯和二氯二氟乙烯的共聚物、四氟乙烯和全氟代烷基乙烯基醚的共聚物、三氟氯乙烯和全氟代烷基乙烯基醚的共聚物、四氟乙烯和全氟代烷基乙烯基醚的共聚物以及三氟氯乙烯和全氟代烷基乙烯基醚的共聚物中的至少一种。4.根据权利要求1所述的有机发光显示装置,其中被设置在所述像素限定层上的所述层的厚度等于或大于0.5纳米并且等于或小于5纳米。5.根据权利要求1至4中任一项所述的有机发光显示装置,其中所述第一有机功能层进一步包括空穴注入层、空穴传输层、电子传输层和电子注入层中的至少一个功能层。6.根据权利要求1至4中任一项所述的有机发光显示装置,其中所述第一有机功能层进一步具有接触被设置在所述像素限定层上的所述层的侧表面。7.一种有机发光显示装置,包括:被设置在基板上的第一个第一电极;与所述第一个第一电极分离设置的第二个第一电...

【专利技术属性】
技术研发人员:权宁吉
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:

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