一种微波等离子体控制系统和方法技术方案

本发明专利技术实施例提出一种微波等离子体控制系统和方法，包括均与主控装置通信连接的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置；主控装置用于根据目标参数和采集的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置的工作数据，向气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置分别发送对应的控制指令；气路控制装置用于根据控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比；真空压力控制装置用于根据控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关；水路控制装置用于根据控制指令控制样品台温度和水流量。其能够保证籽晶表面均匀沉积，并提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体控制系统和方法


[0001]本专利技术涉及微波等离子体
，具体而言，涉及一种微波等离子体控制系统和方法。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积装置适合于金刚石生产，通过等离子化的反应气体在托盘的籽晶表面沉积以形成金刚石膜。为实现批量生产，托盘上会按照阵列放置籽晶。如何保证籽晶表面均匀沉积和提高生产效率为目前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种微波等离子体控制系统和方法，其能够保证籽晶表面均匀沉积，并提高生产效率。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案如下：
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种微波等离子体控制系统，包括主控装置、气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置，所述主控装置与所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置均通信连接；
[0006]所述主控装置用于根据目标参数和采集的所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置的工作数据，向所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置分别发送对应的控制指令；
[0007]所述气路控制装置用于根据所述控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比；
[0008]所述真空压力控制装置用于根据所述控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关；
[0009]所述水路控制装置用于根据所述控制指令控制所述样品台温度和水流量。
[0010]进一步地，所述气路控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；
[0011]若成功，所述气路控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若所述控制指令为读指令，则获取所述气体开关的状态信息和气体反馈值，并向所述主控装置反馈所述气体开关的状态信息和气体反馈值；
[0012]若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制气体流量配比和所述气体开关的开关。
[0013]进一步地，所述真空压力控制装置还用于采集所述腔内真空值，并将所述真空值进行模数转换，并向所述主控装置反馈转换后的真空值。
[0014]进一步地，所述真空压力控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；
[0015]若成功，所述真空压力控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若
所述控制指令为读指令，则获取相序状态，并向所述主控装置反馈所述相序状态；
[0016]若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制所述样品台位置、墙板位置和腔盖开关，并将所述样品台的状态信息、所述腔内真空状态信息反馈至所述主控装置。
[0017]进一步地，所述水路控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；
[0018]若成功，所述水路控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若所述控制指令为读指令，则获取水流量信息和温度信息，并将所述水流量信息和温度信息反馈至所述主控装置；
[0019]若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制所述样品台温度和水流量。
[0020]进一步地，所述微波等离子体控制系统还包括视觉交互装置，所述视觉交互装置与所述主控装置通信连接；
[0021]所述视觉交互装置用于实时采集所述腔内的图像信息，并将所述图像信息发送至所述主控装置；
[0022]所述主控装置还用于根据所述图像信息进行运算处理获得籽晶生长状态信息。
[0023]进一步地，所述主控装置还用于响应用户操作，获得所述目标参数；
[0024]或所述主控装置还用于根据预先设置的自动工艺流程，获得所述目标参数。
[0025]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种微波等离子体控制方法，应用于微波等离子体控制系统，所述微波等离子体控制系统包括主控装置、气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置，所述主控装置与所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置均通信连接，所述方法包括：
[0026]所述主控装置根据目标参数和采集的所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置的工作数据，向所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置分别发送对应的控制指令；
[0027]所述气路控制装置根据所述控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比；
[0028]所述真空压力控制装置根据所述控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关；
[0029]所述水路控制装置根据所述控制指令控制所述样品台温度和水流量。
[0030]进一步地，所述气路控制装置根据所述控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比的步骤包括：
[0031]所述气路控制装置判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功；
[0032]若失败，则检查通信参数是否异常；
[0033]若成功，所述气路控制装置判断所述控制指令为读指令或写指令；
[0034]若所述控制指令为读指令，则获取所述气体开关的状态信息和气体反馈值，并向所述主控装置反馈所述气体开关的状态信息和气体反馈值；
[0035]若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制气体流量配比和所述气体开关的开关。
[0036]进一步地，所述微波等离子体控制系统还包括视觉交互装置，所述视觉交互装置与所述主控装置通信连接，所述方法还包括：
[0037]所述视觉交互装置实时采集所述腔内的图像信息，并将所述图像信息发送至所述主控装置；
[0038]所述主控装置根据所述图像信息进行运算处理获得籽晶生长状态信息。
[0039]本专利技术实施例提供的微波等离子体控制系统和方法的有益效果为：该系统包括主控装置、气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置，主控装置与气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置均通信连接；主控装置用于根据目标参数和采集的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置的工作数据，向气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置分别发送对应的控制指令；气路控制装置用于根据控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比；真空压力控制装置用于根据控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关；水路控制装置用于根据控制指令控制样品台温度和水流量。主控装置通过气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置实时调节籽晶生长过程的温度、压力和真空值，通过各个角度进行系统的各指标检测，保证籽晶的生长。
[0040]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0041]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体控制系统，其特征在于，包括主控装置、气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置，所述主控装置与所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置均通信连接；所述主控装置用于根据目标参数和采集的所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置的工作数据，向所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置分别发送对应的控制指令；所述气路控制装置用于根据所述控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比；所述真空压力控制装置用于根据所述控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关；所述水路控制装置用于根据所述控制指令控制所述样品台温度和水流量。2.如权利要求1所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述气路控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；若成功，所述气路控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若所述控制指令为读指令，则获取所述气体开关的状态信息和气体反馈值，并向所述主控装置反馈所述气体开关的状态信息和气体反馈值；若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制气体流量配比和所述气体开关的开关。3.如权利要求1所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述真空压力控制装置还用于采集所述腔内真空值，并将所述真空值进行模数转换，并向所述主控装置反馈转换后的真空值。4.如权利要求3所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述真空压力控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；若成功，所述真空压力控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若所述控制指令为读指令，则获取相序状态，并向所述主控装置反馈所述相序状态；若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指令控制所述样品台位置、墙板位置和腔盖开关，并将所述样品台的状态信息、所述腔内真空状态信息反馈至所述主控装置。5.如权利要求1所述的微波等离子体控制系统，其特征在于，所述水路控制装置还用于判断与所述主控装置之间的通讯连接是否成功，若失败，则检查通信参数是否异常；若成功，所述水路控制装置还用于判断所述控制指令为读指令或写指令，若所述控制指令为读指令，则获取水流量信息和温度信息，并将所述水流量信息和温度信息反馈至所述主控装置；若所述控制指令为写指令，则根据所述控制指...

【专利技术属性】
技术研发人员：何磊，李俊宏，李家瑞，韦明勉，邱银娟，李东亚，
申请(专利权)人：成都沃特塞恩电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：