一种溅射靶材检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了检测装置领域的一种溅射靶材检测装置，包括底板，底板的上端固定连接有固定板、第二轴承座和第三轴承座，第三轴承座的内部转动连接有间歇性运动装置，第二轴承座的内部转动连接有往复装置，底板的下端固定连接有动力装置，本实用新型专利技术结构简单，只需要简单操作就可以达到便于检测溅射靶材的目的。的。的。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材检测装置


[0001]本技术涉及检测装置领域，具体是一种溅射靶材检测装置。

技术介绍

[0002]溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。
[0003]但是，传统在对溅射靶材的平整度进行检测时，都是工人一手拿着检测装置，一手拿着溅射靶材进行检测，这样不仅费时费力，还降低了溅射靶材的生产效率。
[0004]因此，本技术提供了一种溅射靶材检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种溅射靶材检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种溅射靶材检测装置，包括底板，所述底板的上端固定连接有固定板、第二轴承座和第三轴承座，所述第三轴承座的内部转动连接有间歇性运动装置，所述第二轴承座的内部转动连接有往复装置，所述底板的下端固定连接有动力装置。
[0008]作为本技术进一步的方案：所述底板的下端固定连接有支撑腿，所述支撑腿设置有多个均匀的分布在底板的下端，工作时，在支撑腿的作用下使得整体装置更加稳定的放置在地面上。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述间歇性运动装置包括第四轴承座、蜗杆、蜗轮、第二从动轮、第二皮带、第二主动轮、半齿轮、第一转轴、圆盘和第三转轴，所述第三轴承座的内部转动连接有第三转轴，所述第三转轴的右端固定连接有第二主动轮，所述第三转轴的左端固定连接有半齿轮；所述底板的内部转动连接有第一转轴，所述第一转轴的上端固定连接有圆盘，所述第一转轴的下端固定连接有蜗轮，所述蜗轮啮合有蜗杆，所述蜗杆与第四轴承座之间转动连接，所述第四轴承座的上端与底板之间固定连接，所述蜗杆的右端固定连接有第二从动轮，所述第二主动轮和第二从动轮之间通过第二皮带连接，工作时，当半齿轮转动带动第三转轴转动，第三转轴转动带动第二主动轮转动，第二主动轮转动在第二皮带的作用下带动第二从动轮转动，第二从动轮转动带动蜗杆转动，蜗杆转动带动蜗轮转动，蜗轮转动带动第一转轴转动，第一转轴转动带动圆盘转动，这样圆盘转动就可以带动位于圆盘上端的溅射靶材转动了。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述往复装置包括方形板、凸轮、全齿轮、第二转轴、移动条、检测头、滑杆和弹簧，所述固定板的内部固定连接有滑杆，所述滑杆的圆周面滑动连接有移动条，所述移动条的下端固定连接有弹簧和检测头，所述弹簧远离移动条的
一端与固定板之间固定连接，所述移动条的右端固定连接有方形板；所述第二轴承座的内部转动连接有第二转轴，所述第二转轴的圆周面固定连接有全齿轮，工作时，当第二转轴转动带动凸轮和全齿轮转动，凸轮转动逐渐靠近并挤压方形板，使得方向板向上移动，方形板移动带动移动条沿着滑杆进行移动，这时随着移动条的移动，移动条带动检测头进行移动，由于凸轮不停的转动，随着凸轮的转动凸轮不再挤压方形板，这时方形板和移动条在弹簧的作用下稳定的向下移动，随着凸轮不停的转动，使得移动条不停的进行上下往复移动，移动条不停的进行往复运动，使得检测头不停的进行往复运动；在全齿轮的作用下间歇性的给间歇性运动装置一动力。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述动力装置包括双轴电机、转动杆、第一轴承座、第一主动轮、第一从动轮和第一皮带，所述底板的下端固定连接有双轴电机和第一轴承座，所述双轴电机的出轴端固定连接有转动杆，所述转动杆与第一轴承座之间转动连接，所述转动杆的右端固定连接有第一主动轮，所述第二转轴的右端固定连接有第一从动轮，所述第一主动轮和第一从动轮之间通过第一皮带连接，工作时，开启双轴电机，在双轴电机的作用下带动转动杆转动，转动杆转动带动第一主动轮转动，第一主动轮转动在第一皮带的作用下带动第一从动轮发生转动，这样在第一从动轮的作用下给往复装置一动力。
[0012]作为本技术再进一步的方案：所述转动杆、第一轴承座、第一主动轮、第一从动轮、第一皮带、第二轴承座、固定板、弹簧、滑杆、凸轮和方形板对称分布在底板的左右两端，工作时，可以使得移动条和检测头稳定的进行上下移动。
[0013]有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]通过固定板、方形板、凸轮、全齿轮、第二转轴、移动条、检测头、滑杆、弹簧、第四轴承座、蜗杆、蜗轮、第二从动轮、第二皮带、第二主动轮、半齿轮、第一转轴、圆盘、第三转轴、双轴电机、转动杆、第一轴承座、第一主动轮、第一从动轮和第一皮带的配合下，开启双轴电机，在转轴电机的作用下带动转动杆转动，转动杆转动带动第一主动轮转动，第一主动轮转动在第一皮带的作用下带动第一从动轮转动，第一从动轮转动带动第二转轴转动，第二转轴转动带动全齿轮和凸轮转动，全齿轮转动使得半齿轮发生转动，在半齿轮的作用下使得圆盘转动，同时在凸轮的作用下使得移动条和检测头进行上下往复运动，这样检测头可以间歇性的给位于圆盘上的溅射靶材进行检测了，解决了传统不便于对溅射靶材进行检测的问题，达到了省时省力的目的。
附图说明
[0016]图1为本技术主视的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术仰视的整体结构示意图；
[0018]图3为本技术图2中A的放大结构示意图。
[0019]图中：1、底板；2、支撑腿；3、转动杆；4、第一轴承座；5、双轴电机；6、圆盘；7、第一转轴；8、固定板；9、第二轴承座；10、第一皮带；11、第二转轴；12、移动条；13、检测头；14、方形板；15、凸轮；16、第一主动轮；17、第二从动轮；18、第二皮带；19、全齿轮；20、第一从动轮；21、第二主动轮；22、弹簧；23、滑杆；24、半齿轮；25、第三转轴；26、第三轴承座；27、第四轴承座；28、蜗杆；29、蜗轮。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1～3，本技术实施例中，一种溅射靶材检测装置，包括底板1，底板1的上端固定连接有固定板8、第二轴承座9和第三轴承座26，第三轴承座26的内部转动连接有间歇性运动装置，第二轴承座9的内部转动连接有往复装置，底板1的下端固定连接有动力装置。
[0022]作为本技术进一步的实施方案：底板1的下端固定连接有支撑腿2，支撑腿2设置有多个均匀的分布在底板1的下端，工作时，在支撑腿2的作用下使得整体装置更加稳定的放置在地面上。
[0023]作为本技术再进一步的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材检测装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上端固定连接有固定板(8)、第二轴承座(9)和第三轴承座(26)，所述第三轴承座(26)的内部转动连接有间歇性运动装置，所述第二轴承座(9)的内部转动连接有往复装置，所述底板(1)的下端固定连接有动力装置。2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材检测装置，其特征在于：所述底板(1)的下端固定连接有支撑腿(2)，所述支撑腿(2)设置有多个均匀的分布在底板(1)的下端。3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材检测装置，其特征在于：所述间歇性运动装置包括第四轴承座(27)、蜗杆(28)、蜗轮(29)、第二从动轮(17)、第二皮带(18)、第二主动轮(21)、半齿轮(24)、第一转轴(7)、圆盘(6)和第三转轴(25)，所述第三轴承座(26)的内部转动连接有第三转轴(25)，所述第三转轴(25)的右端固定连接有第二主动轮(21)，所述第三转轴(25)的左端固定连接有半齿轮(24)；所述底板(1)的内部转动连接有第一转轴(7)，所述第一转轴(7)的上端固定连接有圆盘(6)，所述第一转轴(7)的下端固定连接有蜗轮(29)，所述蜗轮(29)啮合有蜗杆(28)，所述蜗杆(28)与第四轴承座(27)之间转动连接，所述第四轴承座(27)的上端与底板(1)之间固定连接，所述蜗杆(28)的右端固定连接有第二从动轮(17)，所述第二主动轮(21)和第二从动轮(17)之间通过第二皮带(18)连接。4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材检测装置，其特征在于：所述往复装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，
申请(专利权)人：江苏东玖光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：