一种防止背板腐蚀的靶材组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种防止背板腐蚀的靶材组件，所述靶材组件包括层叠设置的靶材和背板；所述背板上与靶材相对的一面设置有冷却槽；所述冷却槽的表面覆盖有厚度为80

【技术实现步骤摘要】
一种防止背板腐蚀的靶材组件


[0001]本技术属于靶材
，涉及一种靶材组件，尤其涉及一种防止背板腐蚀的靶材组件。

技术介绍

[0002]溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。
[0003]目前高纯金属靶材的制造工艺主要包括：铸造、热塑性变形、焊接、机加工、清洗、干燥和包装。但是现有的焊接型靶材组件对于靶材和背板只进行了机加工和抛光，所得背板安装面的粗糙度普遍为0.25
‑
0.251μm，除此之外并未进行其他操作。
[0004]在磁控溅射镀膜工艺中，圆形高纯金属铝靶材在使用过程中，铝合金背板不经过任何表面处理，不仅容易划伤，而且在与冷却水接触的过程中，背板腐蚀严重。更严重的情况下，会导致背板发霉，产生霉点，不仅会影响镀膜过程，而且也会污染冷却水，导致冷却水需经常更换，增加镀膜过程中的成本，更严重会污染机台，造成镀膜机台的损坏。
[0005]由此可见，如何提供一种靶材组件，防止背板的腐蚀发霉，提升镀膜效率和质量，缩短冷却水的更换周期，降低生产成本和设备维护成本，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。

技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种防止背板腐蚀的靶材组件，所述靶材组件防止了背板的腐蚀发霉，提升了镀膜效率和质量，缩短了冷却水的更换周期，降低了生产成本和设备维护成本。
[0007]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0008]本技术提供一种防止背板腐蚀的靶材组件，所述靶材组件包括层叠设置的靶材和背板。
[0009]所述背板上与靶材相对的一面设置有冷却槽。
[0010]所述冷却槽的表面覆盖有厚度为80
‑
100μm的氧化膜，例如可以是80μm、82μm、84μm、86μm、88μm、90μm、92μm、94μm、96μm、98μm或100μm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0011]本技术提供的靶材组件通过在背板的冷却槽表面覆盖一层氧化膜，避免了槽面和冷却水的直接接触，从而防止了背板的腐蚀和发霉，提升了镀膜效率和质量，缩短了冷却水的更换周期，降低了生产成本和设备维护成本。
[0012]本技术中，所述氧化膜的厚度需要控制在合理范围内。当氧化膜的厚度小于80μm时，氧化膜无法在长期使用过程中持续发挥隔离作用；当氧化膜的厚度大于100μm时，
由于未覆盖氧化膜的区域需要进行密封，又会导致靶材组件安装机台后的密封性下降，容易产生漏气现象。
[0013]优选地，所述冷却槽的内部设置有至少5圈环形水道，例如可以是5圈、6圈、7圈、8圈、9圈、10圈、11圈或12圈，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0014]优选地，所述环形水道为螺旋线型环形水道或同心圆型环形水道。
[0015]优选地，所述环形水道的内径为5
‑
10mm，例如可以是5mm、5.5mm、6mm、6.5mm、7mm、7.5mm、8mm、8.5mm、9mm、9.5mm或10mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0016]优选地，所述环形水道由至少4条径向水道相贯通，例如可以是4条、5条、6条、7条、8条、9条或10条，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0017]优选地，所述径向水道的内径为8
‑
12mm，例如可以是8mm、8.5mm、9mm、9.5mm、10mm、10.5mm、11mm、11.5mm或12mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0018]优选地，所述氧化膜的覆盖区域直径为250
‑
270mm，例如可以是250mm、252mm、254mm、256mm、258mm、260mm、262mm、264mm、266mm、268mm或270mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0019]优选地，所述冷却槽的直径为200
‑
230mm，例如可以是200mm、205mm、210mm、215mm、220mm、225mm或230mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0020]优选地，所述背板的直径为300
‑
320mm，例如可以是300mm、302mm、304mm、306mm、308mm、310mm、312mm、314mm、316mm、318mm或320mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0021]优选地，所述靶材的直径为290
‑
310mm，例如可以是290mm、292mm、294mm、296mm、298mm、300mm、302mm、304mm、306mm、308mm或310mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0023]本技术提供的靶材组件通过在背板的冷却槽表面覆盖一层氧化膜，避免了槽面和冷却水的直接接触，从而防止了背板的腐蚀和发霉；同时将氧化膜的厚度控制在合理范围内，不仅延长了氧化膜的使用寿命，而且确保了靶材组件安装机台后的密封性，进而提升了镀膜效率和质量，缩短了冷却水的更换周期，降低了生产成本和设备维护成本。
附图说明
[0024]图1为本技术提供的靶材组件截面示意图；
[0025]图2为本技术提供的靶材组件中背板的结构示意图。
[0026]其中：1
‑
靶材；2
‑
背板；3
‑
冷却槽；4
‑
氧化膜；5
‑
环形水道；6
‑
径向水道。
具体实施方式
[0027]需要理解的是，在本技术的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、
“
前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]需要说明的是，在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止背板腐蚀的靶材组件，其特征在于，所述靶材组件包括层叠设置的靶材和背板；所述背板上与靶材相对的一面设置有冷却槽；所述冷却槽的表面覆盖有厚度为80
‑
100μm的氧化膜。2.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述冷却槽的内部设置有至少5圈环形水道。3.根据权利要求2所述的靶材组件，其特征在于，所述环形水道为螺旋线型环形水道或同心圆型环形水道。4.根据权利要求2所述的靶材组件，其特征在于，所述环形水道的内径为5
‑
10mm。5.根据权利要求2所述的靶材组件，其特征在于，所述环形水道由至少4条径向水道相贯通...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，徐蔓，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：