一种涂胶层质量控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种涂胶层质量控制装置，包括高度支杆、平行刮片、产品放置旋转平台、真空吸附装置、升降电机、功能设置模块、升降丝杆；所述高度支杆通过第一连接头与升降丝杆的一侧连接，所述升降电机通过第二连接头与升降丝杆的另一侧连接，所述升降电机还与功能设置模块的第一控制输出端连接；所述平行刮片设置于高度支杆的底部；所述真空吸附装置设置有真空气孔，所述产品放置旋转平台的中心置于所述真空气孔的上方，所述真空吸附装置和产品放置旋转平台位于高度支杆下方。能够通过高精度的机械传动以及高精密的量测技术，独立或辅助对涂胶层质量进行修复和控制。并且，该装置可为独立的胶层质量控制装置，也可配合各类涂胶机台进行使用。胶机台进行使用。胶机台进行使用。

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶层质量控制装置


[0001]本技术涉及涂胶领域，尤其涉及一种涂胶层质量控制装置。

技术介绍

[0002]随着科技的进步，时代的发展，高科技产业迅猛发展，各种领域都在大量使用刷胶装置。特别是在半导体及晶圆加工过程中，由于工艺要求或者生产需要，通常要在晶圆表面涂覆一些材料或者胶体，称为涂胶或者刷胶工艺。
[0003]现目前各类产品涂胶层的质量控制通过喷胶速度、流量产品转速进行控制，但实际的胶层质量需通过其他量测设备进行检测，当涂胶层出现厚度超标、平整度超标、或是表面气泡的异常时，只能清洗后重新涂胶。因此，当前的涂胶层控制存在以下弊端：1、胶层质量只能通过涂胶机单方面进行控制。2、涂胶产品尺寸、材料单一。3、胶层质量的检测需使用其他量测设备进行测量。
[0004]因此，针对上述问题，提供一种涂胶层质量控制装置，是本领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种涂胶层质量控制装置。
[0006]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0007]本技术的第一方面，提供一种涂胶层质量控制装置，包括高度支杆、平行刮片、产品放置旋转平台、真空吸附装置、升降电机、功能设置模块、升降丝杆；
[0008]所述高度支杆通过第一连接头与升降丝杆的一侧连接，所述升降电机通过第二连接头与升降丝杆的另一侧连接，所述升降电机还与功能设置模块的第一控制输出端连接；所述平行刮片设置于高度支杆的底部；
[0009]所述真空吸附装置设置有真空气孔，所述产品放置旋转平台的中心置于所述真空气孔的上方，所述真空吸附装置和产品放置旋转平台位于高度支杆下方；所述真空吸附装置还与功能设置模块的第二控制输出端连接，所述产品放置旋转平台还与功能设置模块的第三控制输出端连接。
[0010]进一步地，所述功能设置模块包括人机交互单元和控制单元，所述人机交互单元与控制单元连接，所述控制单元的第一控制输出端与升降电机连接，所述控制单元的第二控制输出端与真空吸附装置连接，所述控制单元的第三控制输出端与产品放置旋转平台连接。
[0011]进一步地，所述平行刮片底部平整度到达um级。
[0012]进一步地，所述平行刮片可拆卸地设置于高度支杆的底部。
[0013]进一步地，所述产品放置旋转平台顶部设置有加热板。
[0014]进一步地，所述涂胶层质量控制装置还包括电机箱，所述升降电机设置于电机箱内，所述功能设置模块设置于电机箱上。
[0015]进一步地，所述产品放置旋转平台的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。
[0016]进一步地，所述真空气孔的尺寸与待处理产品的尺寸匹配。
[0017]进一步地，所述平行刮片替换为与功能设置模块连接的厚度/平整度检测装置，所述厚度/平整度检测装置设置于高度支杆底部。
[0018]进一步地，所述升降电机、第二连接头、升降丝杆、第一连接头相配合产生的移动精度达到um级。
[0019]本技术的有益效果是：
[0020](1)在本技术的一示例性实施例中，能够通过高精度的机械传动以及高精密的量测技术，独立或辅助对涂胶层质量进行修复和控制。并且，该装置可为独立的胶层质量控制装置，也可配合各类涂胶机台进行使用。
[0021](2)在本技术的又一示例性实施例中，功能设置模块用于对升降电机、产品放置旋转平台和真空吸附装置进行控制的控制方式为可调节方式，即在使用之前，用户通过人机交互单元选择并调节升降电机的高度数据、产品放置旋转平台的旋转速度和真空吸附装置的真空压力和流量，之后控制单元对对应的部件进行控制；从而适用于不同胶层厚度以及不同涂胶材料的产品应用。
[0022](3)在本技术的又一示例性实施例中，平行刮片底部平整度到达um级，升降电机、第二连接头、升降丝杆、第一连接头相配合产生的移动精度达到um级。采用上述两种方式，适用于高精度的胶层厚度控制。
[0023](4)在本技术的又一示例性实施例中，平行刮片在使用过程中会随之精度下降，因此采用可拆卸的连接方式可根据磨损程度进行更换。
[0024](5)在本技术的又一示例性实施例中，产品放置旋转平台可实现加热功能，保证平行刮片在作用涂胶层时保证胶层不凝固。
[0025](6)在本技术的又一示例性实施例中，电机箱用于安装升降电机，同时可以将功能设置模块一并安装，实现模组化。
[0026](7)在本技术的又一示例性实施例中，产品放置旋转平台可根据不同产品尺寸对其进行平台更换，真空气孔的接头尺寸可选择，可实现多尺寸产品的应用，从而能实现多尺寸、多材料的涂胶层质量控制。
[0027](8)在本技术的又一示例性实施例中，该涂胶层质量控制装置还可配置厚度量测工具，拆下平行刮片后安装厚度/平整度检测装置对胶层厚度进行测量，若胶层符合工艺要求进入下一步工艺，不符合工艺要求重新进行操作或增加胶量后重新进行操作。
附图说明
[0028]图1为本技术一示例性实施例中的涂胶层质量控制装置的结构示意图；
[0029]图中，1
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高度支杆，2
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平行刮片，3
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产品放置旋转平台，4
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真空吸附装置，5
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真空气孔，6
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第二连接头，7
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升降电机，8
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电机箱，9
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功能设置模块，10
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触摸显示屏，11
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升降丝杆，12
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第一连接头。
具体实施方式
[0030]下面结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实
施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]在本技术的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0033]在本申请使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请和所附权利要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：包括高度支杆(1)、平行刮片(2)、产品放置旋转平台(3)、真空吸附装置(4)、升降电机(7)、功能设置模块(9)、升降丝杆(11)；所述高度支杆(1)通过第一连接头(12)与升降丝杆(11)的一侧连接，所述升降电机(7)通过第二连接头(6)与升降丝杆(11)的另一侧连接，所述升降电机(7)还与功能设置模块(9)的第一控制输出端连接；所述平行刮片(2)设置于高度支杆(1)的底部；所述真空吸附装置(4)设置有真空气孔(5)，所述产品放置旋转平台(3)的中心置于所述真空气孔(5)的上方，所述真空吸附装置(4)和产品放置旋转平台(3)位于高度支杆(1)下方；所述真空吸附装置(4)还与功能设置模块(9)的第二控制输出端连接，所述产品放置旋转平台(3)还与功能设置模块(9)的第三控制输出端连接。2.根据权利要求1所述的一种涂胶层质量控制装置，其特征在于：所述功能设置模块(9)包括人机交互单元和控制单元，所述人机交互单元与控制单元连接，所述控制单元的第一控制输出端与升降电机(7)连接，所述控制单元的第二控制输出端与真空吸附装置(4)连接，所述控制单元的第三控制输出端与产品放置旋转平台(3)连接。3.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁一，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：