一种真空溅射镀膜靶材制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空溅射镀膜靶材，包括台座，所述台座台座上端面外侧固定连接有固定环，所述台座上端面中部放置有冷却台，所述冷却台上端面放置有压电板，所述压电板上端面放置有靶材，所述冷却台内腔设置有冷却机构，本实用新型专利技术涉及靶材技术领域。该真空溅射镀膜靶材，解决了现有的靶材在工作时，通常依靠人的观察经验来预防靶材的镀穿，由于未设置有警报系统，机器将继续溅射冷却水铜板，存在安全隐患的问题。安全隐患的问题。安全隐患的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空溅射镀膜靶材


[0001]本技术涉及靶材
，具体为一种真空溅射镀膜靶材。

技术介绍

[0002]真空溅射镀膜靶材通过在真空磁控环境中，利用离子源产生的离子，在真空中加速聚集成高速离子流，轰击靶材表面，使靶材表面的原子离开靶材并沉积在基材表面。
[0003]目前，主要依靠人的观察经验来预防靶材的镀穿，而且在靶材镀穿后，没有警报系统，机器将继续溅射冷却水铜板，此时会产生极大的危险。因此，本申请提出一种真空溅射镀膜靶材解决此类问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空溅射镀膜靶材，解决了现有的靶材在工作时，通常依靠人的观察经验来预防靶材的镀穿，由于未设置有警报系统，机器将继续溅射冷却水铜板，存在安全隐患的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种真空溅射镀膜靶材，包括台座，所述台座台座上端面外侧固定连接有固定环，所述台座上端面中部放置有冷却台，所述冷却台上端面放置有压电板，所述压电板上端面放置有靶材，所述冷却台内腔设置有冷却机构。
[0008]优选的，所述靶材上端面设置有基台，所述基台与靶材的坡度脚为45度，所述基台厚度为靶材厚度的一半。
[0009]优选的，所述压电板通过连接线电性连接有报警器，所述连接线与固定环贯穿连接。
[0010]优选的，所述冷却机构包括换热盘管、进水管、水箱、冷凝回流器与出水管。
[0011]优选的，所述冷却台上端面固定连接有换热盘管，所述换热盘管下端面中部通过进水管与水箱连通，所述换热盘管外侧壁左部通过出水管与冷凝回流器连通。
[0012]优选的，所述冷凝回流器与水箱连通，所述水箱内腔设置有循环泵，所述循环泵的输出轴端与进水管连通，所述进水管与台座贯穿连接，所述出水管与固定环及冷却台贯穿连接。
[0013](三)有益效果
[0014]本技术提供了一种真空溅射镀膜靶材。具备以下有益效果：
[0015]该真空溅射镀膜靶材，在真空磁控环境中，对靶材及基材进行溅射镀膜时，通过靶材下端面设置有压电板，在靶材即将被镀穿后，压电板能够感应到压电板表面压力能够达到设定值，由于压电板通过连接线电性连接有报警器，压电板能够传递信号通过连接线传递给报警器，给予工作人员报警信息，提高了溅射镀膜时的安全，在进行溅射镀膜时，由于
离子与靶材表面的原子高速碰撞时，靶材能传递大量的热给压电板，为了压电板能够被正常的工作，通过水箱内循环泵使水箱内冷却液通过进水管进入换热盘管中，实现了对冷却台的换热功能，从而实现对压电板进行换热的功能，热的冷却液能够通过出水管进入冷凝回流器内，实现对冷却液进行降温，再循环进入水箱内，从而冷却机构形成了一个对冷却台及压电板循环降温的回路，为压电板能够长时间工作提供了必要的条件。
附图说明
[0016]图1为本技术后视整体结构示意图；
[0017]图2为本技术俯视整体结构示意图；
[0018]图3为本技术正视局部剖视结构示意图；
[0019]图4为本技术俯视剖视结构示意图；
[0020]图5为本技术后视局部剖视结构示意图。
[0021]图中：1、台座；2、固定环；3、冷却台；4、压电板；41、连接线；42、报警器；5、靶材；51、基台；6、冷却机构；61、换热盘管；62、进水管；63、水箱；64、冷凝回流器；65、出水管。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0023]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：
[0024]本实施例一:
[0025]一种真空溅射镀膜靶材，包括台座1，台座1台座上端面外侧固定连接有固定环2，台座1上端面中部放置有冷却台3，冷却台3上端面放置有压电板4，压电板4上端面放置有靶材5，冷却台3内腔设置有冷却机构6，靶材5上端面设置有基台51，基台51与靶材5的坡度脚为45度，基台51厚度为靶材5厚度的一半，压电板4通过连接线41电性连接有报警器42，连接线41与固定环2贯穿连接，冷却机构6包括换热盘管61、进水管62、水箱63、冷凝回流器64与出水管65，冷却台3上端面固定连接有换热盘管61，换热盘管61下端面中部通过进水管62与水箱63连通，换热盘管61外侧壁左部通过出水管65与冷凝回流器64连通，冷凝回流器64与水箱63连通，水箱63内腔设置有循环泵，循环泵的输出轴端与进水管62连通，进水管62与台座1贯穿连接，出水管65与固定环2及冷却台3贯穿连接。在真空磁控环境中，对靶材5及基材进行溅射镀膜时，通过靶材5下端面设置有压电板4，在靶材即将被镀穿后，压电板4能够感应到压电板4表面压力能够达到设定值，由于压电板4通过连接线41电性连接有报警器42，压电板4能够传递信号通过连接线41传递给报警器42，给予工作人员报警信息，提高了溅射镀膜时的安全，在进行溅射镀膜时，由于离子与靶材5表面的原子高速碰撞时，靶材5能传递大量的热给压电板4，为了压电板4能够被正常的工作，通过水箱63内循环泵使水箱内冷却液通过进水管62进入换热盘管61中，实现了对冷却台3的换热功能，从而实现对压电板4进行换热的功能，热的冷却液能够通过出水管65进入冷凝回流器64内，实现对冷却液进行降温，再循环进入水箱63内，从而冷却机构6形成了一个对冷却台3及压电板4循环降温的回路，为压电板4能够长时间工作提供了必要的条件。
[0026]工作时，在真空磁控环境中，对靶材5及基材进行溅射镀膜时，通过靶材5下端面设
置有压电板4，在靶材即将被镀穿后，压电板4能够感应到压电板4表面压力能够达到设定值，由于压电板4通过连接线41电性连接有报警器42，压电板4能够传递信号通过连接线41传递给报警器42，给予工作人员报警信息，提高了溅射镀膜时的安全，在进行溅射镀膜时，由于离子与靶材5表面的原子高速碰撞时，靶材5能传递大量的热给压电板4，为了压电板4能够被正常的工作，通过水箱63内循环泵使水箱内冷却液通过进水管62进入换热盘管61中，实现了对冷却台3的换热功能，从而实现对压电板4进行换热的功能，热的冷却液能够通过出水管65进入冷凝回流器64内，实现对冷却液进行降温，再循环进入水箱63内，从而冷却机构6形成了一个对冷却台3及压电板4循环降温的回路，为压电板4能够长时间工作提供了必要的条件。整个真空溅射镀膜靶材，通过压电板4等的配合，实现了在靶材5被即将镀穿时对工作人员给予报警的功能。
[0027]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空溅射镀膜靶材，包括台座(1)，其特征在于：所述台座(1)台座上端面外侧固定连接有固定环(2)，所述台座(1)上端面中部放置有冷却台(3)，所述冷却台(3)上端面放置有压电板(4)，所述压电板(4)上端面放置有靶材(5)，所述冷却台(3)内腔设置有冷却机构(6)。2.根据权利要求1所述的一种真空溅射镀膜靶材，其特征在于：所述靶材(5)上端面设置有基台(51)，所述基台(51)与靶材(5)的坡度脚为45度，所述基台(51)厚度为靶材(5)厚度的一半。3.根据权利要求1所述的一种真空溅射镀膜靶材，其特征在于：所述压电板(4)通过连接线(41)电性连接有报警器(42)，所述连接线(41)与固定环(2)贯穿连接。4.根据权利要求1所述的一种真空溅射镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，
申请(专利权)人：江苏东玖光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：