一种半导体热处理设备制造技术

一种半导体热处理设备，包括舟传输机构，舟传输机构包括主体支架、沿竖直方向设置于主体支架上的滚珠丝杠、设置于主体支架顶端的张紧装置和一端连接于所述张紧装置的护带；护带的另一端连接于主体支架的底端，且位于滚珠丝杠背离主体支架的侧面，张紧装置用于自动张紧护带使其保持竖直。本发明专利技术涉及的半导体热处理设备，通过张紧装置使护带自然拉直，避免因弯曲与运动部件发生剐蹭的可能，避免机台产生颗粒，保证了微环境室内的颗粒洁净等级，提升机台的稳定性。台的稳定性。台的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体热处理设备


[0001]本专利技术属于半导体
，更具体地，涉及一种半导体热处理设备。

技术介绍

[0002]舟升降传输机构是立式炉设备的重要传输部件，如图1所示，舟升降传输机构100安装于晶圆预处理存储空间(Loading Area，LA)微环境室内，即LA微环境室108，用于将晶圆由LA微环境室108升至工艺腔室109内，或由工艺腔室109内下降至LA微环境室108。因舟升降传输机构100与晶圆同时暴露在LA微环境室108内，在升降过程中需要对舟升降传输机构100保证一定的洁净控制，避免运动过程中造成的颗粒污染晶圆。
[0003]如图2和图3所示，舟升降传输机构100包括主体支架101、一对轴承盒102、丝杠护板103、一对直线导轨104、连接座105、滚珠丝杠106和工艺门107，其中，一对轴承盒102分别安装于主体支架101的上下两端，滚珠丝杠106设于一对轴承盒102之间，一对直线导轨104设于主体支架101的两侧，连接座105滑动连接于一对直线导轨104且连接于滚珠丝杠106，工艺门107固定于连接座105上，连接座105随滚珠丝杠106的旋转沿一对直线导轨104在竖直方向运动，从而同步带动工艺门107上升或下降，晶圆舟110安装于工艺门107上，在LA微环境室108和工艺腔室109之间传递晶圆。
[0004]在该过程中，丝杠护板103设于一对轴承盒102之间以覆盖滚珠丝杠106，且从连接座105和工艺门107之间的缝隙中穿过，用于遮挡滚珠丝杠106，避免滚珠丝杠106转动过程中发生外界人员或物料等卷入造成意外，起到安全防护的作用。连接座105与工艺门107相对于丝杠护板103上下运动。目前丝杠护板103为长条状钣金折弯件，长度较长，约在1.5米左右，受空间影响，钣金件厚度及宽度尺寸无法做到很大，宽度仅约8公分左右，丝杠护板103与连接座105和工艺门107的前后端间隙约4mm，以保证在相对运动过程中不发生剐蹭。如图4所示，丝杠护板103因其以上特点在加工过程中因应力影响会造成不同程度及不同形式的弯曲，并且在工艺阶段随着LA微环境室108内温度升高，丝杠护板103受温度影响也会发生一定的热膨胀，导致弯曲加剧。当弯曲程度超过前后的安全缝隙距离时，丝杠护板103会与连接座105或工艺门107发生剐蹭，产生金属颗粒，金属颗粒扩散到LA微环境室108空气内，部分落到晶圆表面，造成产品颗粒超标，影响产品品质及机台稳定生产。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种半导体热处理设备，以解决丝杆护板弯曲与其他部件剐蹭而产生颗粒影响晶圆质量的问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供一种半导体热处理设备，舟传输机构，所述舟传输机构包括主体支架、沿竖直方向设置于所述主体支架上的滚珠丝杠、设置于所述主体支架顶端的张紧装置和一端连接于所述张紧装置的护带；
[0007]所述护带的另一端连接于所述主体支架的底端，且位于所述滚珠丝杠背离所述主体支架的侧面，所述张紧装置用于自动张紧所述护带使其保持竖直。
[0008]优选地，所述张紧装置包括张紧支架、设置在所述张紧支架上第一导向轴和第二导向轴以及与所述第一导向轴的两端分别连接的弹性元件；其中，
[0009]所述护带的所述一端连接于所述张紧支架的顶端，所述护带的所述另一端绕过所述第一导向轴和所述第二导向轴之间的间隙连接于所述主体支架的底端；
[0010]所述第一导向轴能够在所述弹性元件的作用下使所述护带保持张紧状态。
[0011]优选地，所述张紧装置还包括压板；所述张紧支架为U型，包括一对侧壁和底壁，所述底壁固定于所述主体支架的顶端；所述第一导向轴和所述第二导向轴相互平行且连接于一对所述侧壁之间，所述第一导向轴位于所述第二导向轴之上，所述第一导向轴的两端分别通过一个所述弹性元件弹性连接于一个所述侧壁，所述护带的所述一端连接于所述压板和所述底壁之间。
[0012]优选地，所述护带自上而下依次缠绕于所述第一导向轴和所述第二导向轴，所述第一导向轴能够在所述弹性元件的作用下运动，以张紧所述护带。
[0013]优选地，所述张紧装置还包括一对导向轴滑动螺钉，所述侧壁上设有沿水平方向设置的滑槽；所述第一导向轴通过所述导向轴滑动螺钉连接于所述滑槽；
[0014]所述弹性元件的一端连接于所述导向轴滑动螺钉，另一端通过固定螺钉连接于所述侧壁；
[0015]所述导向轴滑动螺钉能够在所述弹性元件的作用下带动所述第一导向轴沿所述滑槽运动。
[0016]优选地，所述滑槽与所述固定螺钉在水平方向上具有间距，以使所述弹性元件倾斜而对所述第一导向轴产生水平方向的拉力。
[0017]优选地，所述护带依次绕过所述第一导向轴背离所述张紧支架的所述底壁的一侧和所述第二导向轴靠近所述底壁的一侧，所述固定螺钉位于所述滑槽的上方且远离所述底壁；或，
[0018]所述护带依次绕过所述第一导向轴靠近所述张紧支架的所述底壁的一侧和所述第二导向轴远离所述底壁的一侧，所述固定螺钉位于所述滑槽的上方且靠近所述底壁。
[0019]优选地，所述护带绕过所述第二导向轴的外圆切线与所述护带连接于所述主体支架的底端的部分位于同一平面。
[0020]优选地，所述舟传输机构还包括底部固定板，所述护带由非金属材质制成，所述护带的所述另一端通过所述底部固定板连接于所述主体支架。
[0021]优选地，所述半导体热处理设备还包括工艺门，所述舟传输机构还包括直线导轨和连接座；
[0022]所述直线导轨平行于所述滚珠丝杠设于所述主体支架上，所述连接座滑动连接于所述直线导轨且螺纹连接于所述滚珠丝杠；所述工艺门连接于所述连接座背离所述主体支架的一侧；
[0023]所述护带穿过所述连接座和所述工艺门之间且分别与所述连接座和所述工艺门之间形成间隙；所述张紧装置自动张紧所述护带。
[0024]本专利技术涉及的半导体热处理设备，其有益效果在于，通过张紧装置使护带自然拉直，避免因弯曲与运动部件发生剐蹭的可能，避免机台产生颗粒，保证了微环境室内的颗粒洁净等级，提升机台的稳定性。
[0025]本专利技术的其它特征和优点将在随后具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0026]通过结合附图对本专利技术示例性实施方式进行更详细的描述，本专利技术的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本专利技术示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。
[0027]图1示出了现有技术中舟升降传输机构的安装位置示意图；
[0028]图2示出了现有技术中舟升降传输机构的结构示意图；
[0029]图3示出了现有技术中舟升降传输机构的局部放大示意图；
[0030]图4示出了现有技术中舟升降传输机构的丝杠护板弯曲变形的状态示意图；
[0031]图5示出了根据本专利技术的示例性实施例的半导体热处理设备中舟传输机构和工艺门的结构示意图；
[0032]图6示出了根据本专利技术的示例性实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体热处理设备，其特征在于，包括舟传输机构(100)，所述舟传输机构(100)包括主体支架(101)、沿竖直方向设置于所述主体支架(101)上的滚珠丝杠(106)、设置于所述主体支架(101)顶端的张紧装置(2)和一端连接于所述张紧装置(2)的护带(1)；所述护带(1)的另一端连接于所述主体支架(101)的底端，且位于所述滚珠丝杠(106)背离所述主体支架(101)的侧面，所述张紧装置(2)用于自动张紧所述护带(1)使其保持竖直。2.根据权利要求1所述的半导体热处理设备，其特征在于，所述张紧装置(2)包括张紧支架(21)、设置在所述张紧支架(21)上的第一导向轴(22)和第二导向轴(23)以及与所述第一导向轴(22)的两端分别连接的弹性元件(25)；其中，所述护带(1)的所述一端连接于所述张紧支架(21)的顶端，所述护带(1)的所述另一端绕过所述第一导向轴(22)和所述第二导向轴(23)之间的间隙连接于所述主体支架(101)的底端；所述第一导向轴(22)能够在所述弹性元件(25)的作用下使所述护带(1)保持张紧状态。3.根据权利要求2所述的半导体热处理设备，其特征在于，所述张紧装置(2)还包括压板(24)；所述张紧支架(21)为U型，包括一对侧壁(211)和底壁，所述底壁固定于所述主体支架(101)的顶端；所述第一导向轴(22)和所述第二导向轴(23)相互平行且连接于一对所述侧壁(211)之间，所述第一导向轴(22)位于所述第二导向轴(23)之上，所述第一导向轴(22)的两端分别通过一个所述弹性元件(25)弹性连接于一个所述侧壁(211)，所述压板(24)连接于所述底壁，所述护带(1)的所述一端连接于所述压板(24)和所述底壁之间。4.根据权利要求3所述的半导体热处理设备，其特征在于，所述护带(1)自上而下依次缠绕于所述第一导向轴(22)和所述第二导向轴(23)，所述第一导向轴(22)能够在所述弹性元件(25)的作用下运动，以张紧所述护带(1)。5.根据权利要求4所述的半导体热处理设备，其特征在于，所述张紧装置(2)还包括一对导向轴滑动螺钉(26)，所述侧壁(211)上设有沿水平方向设置的滑槽(212)；所述第一导向轴(22)通过所述导向轴滑动螺钉...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄敏涛，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：