本实用新型专利技术涉及一种阴极电镀移动装置，包括固定电机、传动轴、偏心轮、伸缩杆、电镀件装夹组件和支撑整个装置的架体组件，固定电机、传动轴和偏心轮依次连接，偏心轮在固定电机的驱动下旋转；伸缩杆的一端连接在偏心轮的端部外环上，另一端连接电镀件装夹组件，在偏心轮旋转过程中，伸缩杆的一端随着偏心轮作椭圆形移动，另一端带动电镀件装夹组件前后移动，电镀件装夹组件用于装夹电镀阴极组件。与现有技术相比，本实用新型专利技术通过驱动伸缩杆带动电镀件装夹组件实现前后移动，整体上具有结构稳定性高，拆装方便等优点。拆装方便等优点。拆装方便等优点。
【技术实现步骤摘要】
一种阴极电镀移动装置
[0001]本技术涉及电镀
，尤其是涉及一种阴极电镀移动装置。
技术介绍
[0002]电镀就是利用电解的方式使金属或合金沉积在工件表面，以形成均匀、致密、结合力良好的金属层的过程，就叫电镀。电镀是属于化学变化，实质是一种电化学的过程。
[0003]目前，大部分电镀槽中，阴极都被固定，不能移动，不能保证阴极镀层的均匀性，为解决该问题，公开号为CN203007458U的技术公开了一种阴极可移动的PCB电镀槽，该PCB电镀槽包括长方形槽体，所述长方形槽体包括槽底和围设于槽底的两个宽侧壁和两个长侧壁，所述宽侧壁设有阳极插槽，所述两个长侧壁分别设有数个均匀分布的固定板卡槽，所述固定板卡槽外围设有阴极移动框，阴极移动框可平行于阳极来回移动，阴极移动框固定有阴极固定板，所述阴极固定板卡设于所述两个长侧壁的固定板卡槽内，阴极移动框平行于阳极来回移动可带动阴极固定板上的阴极板平行于阳极来回移动，使阴极板受镀均匀，能够实现填孔电镀，适用于通孔和盲孔填孔电镀。
[0004]但该方案结构复杂，需要对原有的电镀槽进行较大变动，制造成本高。
技术实现思路
[0005]本技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种阴极电镀移动装置，通过伸缩杆带动电镀件装夹组件实现前后移动，结构稳定性高。
[0006]本技术的目的可以通过以下技术方案来实现：
[0007]一种阴极电镀移动装置，包括固定电机、传动轴、偏心轮、伸缩杆、电镀件装夹组件和支撑整个装置的架体组件，所述固定电机、传动轴和偏心轮依次连接，偏心轮在固定电机的驱动下旋转；所述伸缩杆的一端连接在所述偏心轮的端部外环上，另一端连接所述电镀件装夹组件，在所述偏心轮旋转过程中，伸缩杆的一端随着偏心轮作椭圆形移动，另一端带动所述电镀件装夹组件前后移动，所述电镀件装夹组件用于装夹电镀阴极组件。
[0008]进一步地，所述阴极电镀移动装置还包括椭圆滑板，该椭圆滑板设置在所述偏心轮和伸缩杆之间，所述伸缩杆安装在所述椭圆滑板的长轴端部。
[0009]进一步地，所述架体组件包括隔板、导轨、导杆支架和支撑整个架体组件的主体，所述隔板设有通孔，供所述传动轴穿过，所述导杆支架交叉连接所述伸缩杆，所述导轨的数量为多个，分布在所述伸缩杆的两侧，供所述导杆支架移动。
[0010]进一步地，所述导杆支架垂直于所述伸缩杆。
[0011]进一步地，所述电镀件装夹组件包括锁扣和压针压片组件，所述伸缩杆通过锁扣固定所述压针压片组件。
[0012]进一步地，所述压针压片组件包括支架板和压针，所述支架板包括直柄部和装载部，所述压针固定在装载部，用于固定待电镀件，所述直柄部设有用于连接锁扣的固定孔。
[0013]进一步地，所述压针的数量为多个。
[0014]进一步地，所述装载部还设有台阶槽，所述待电镀件安装在该台阶槽内。
[0015]进一步地，所述待电镀件为晶圆。
[0016]进一步地，所述固定电机为转速可调的固定电机。
[0017]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0018](1)本技术阴极电镀移动装置通过伸缩杆带动电镀件装夹组件实现前后移动，只需将电镀件装夹组件放入电镀槽内即可，对原有的电镀槽改动小；对于驱动伸缩杆的伸缩，本技术为避免直接采用伸缩电机成本高、安装不便的缺陷，提出通过固定电机的传动轴带动偏心轮旋转，伸缩杆在偏心轮的驱动下做椭圆形移动，伸缩杆可调整至近似为前后移动的方案；该方案结构稳定性高，拆装方便。
[0019](2)偏心轮的设置，使得伸缩杆的一端作椭圆形移动，本技术进一步设置椭圆滑板，将伸缩杆安装在椭圆滑板的长轴端部，能使伸缩杆一端移动的椭圆形轨迹更接近偏平形状，使得伸缩杆的移动近似为前后伸缩移动，实现带动电镀件装夹组件前后移动的目的。
附图说明
[0020]图1为本技术实施例中提供的一种阴极电镀移动装置的结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例中提供的一种电镀件装夹组件的结构示意图；
[0022]图中，1、主体，2、固定电机，3、传动轴，4、隔板，5、偏心轮，6、椭圆滑板，7、伸缩杆，8、导杆支架，9、导轨，10、锁扣，11、支架板，12、压针，13、LiNbO3晶圆。
具体实施方式
[0023]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0024]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]需要说明的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或
两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0028]此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0029]实施例1
[0030]本实施例提供一种阴极电镀移动装置，包括固定电机2、传动轴3、偏心轮5、伸缩杆7、电镀件装夹组件和支撑整个装置的架体组件，固定电机2、传动轴3和偏心轮5依次连接，偏心轮5在固定电机2的驱动下旋转；伸缩杆7的一端连接在偏心轮5的端部外环上，另一端连接电镀件装夹组件，在偏心轮5旋转过程中，伸缩杆7的一端随着偏心轮5作椭圆形移动，另一端带动电镀件装夹组件前后移动，电镀件装夹组件用于装夹电镀阴极组件，固定电机2优选为转速可调的固定电机。
[0031]本技术通过伸缩杆7带动电镀件装夹组件实现前后移动，而驱动伸缩杆7的伸缩，本技术为避免直本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阴极电镀移动装置，其特征在于，包括固定电机(2)、传动轴(3)、偏心轮(5)、伸缩杆(7)、电镀件装夹组件和支撑整个装置的架体组件，所述固定电机(2)、传动轴(3)和偏心轮(5)依次连接，偏心轮(5)在固定电机(2)的驱动下旋转；所述伸缩杆(7)的一端连接在所述偏心轮(5)的端部外环上，另一端连接所述电镀件装夹组件，在所述偏心轮(5)旋转过程中，伸缩杆(7)的一端随着偏心轮(5)作椭圆形移动，另一端带动所述电镀件装夹组件前后移动，所述电镀件装夹组件用于装夹电镀阴极组件。2.根据权利要求1所述的一种阴极电镀移动装置，其特征在于，所述阴极电镀移动装置还包括椭圆滑板(6)，该椭圆滑板(6)设置在所述偏心轮(5)和伸缩杆(7)之间，所述伸缩杆(7)安装在所述椭圆滑板(6)的长轴端部。3.根据权利要求1所述的一种阴极电镀移动装置，其特征在于，所述架体组件包括隔板(4)、导轨(9)、导杆支架(8)和支撑整个架体组件的主体(1)，所述隔板(4)设有通孔，供所述传动轴(3)穿过，所述导杆支架(8)交叉连接所述伸缩杆(7)，所述导轨(9)的数量为多...
【专利技术属性】
技术研发人员：李俊伟，刘永勇，
申请(专利权)人：上海傲世控制科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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