一种单晶电磁场冷却测温机构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体单晶硅生产设备领域，一种单晶电磁场冷却测温机构，用于对单晶电磁场励磁线圈降温，其中进油管连接在油泵的进油端，连接软管的第一端连接在油泵的出油端，所述板式换热器具有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，在板式换热器中具有液体流动管路，且在板式换热器内第一接口为油介质输入口，第二接口为油介质输出口，第三接口为冷却液输入口，第四接口为冷却液输出口；油泵驱动油介质由第一接口进入板式换热器后，经过与流经板式换热器的冷却液换热后从第二接口排出板式换热器，以完成换热。该机构可对单晶电磁场设备使用的油介质温度进行检测，同时通过对油介质温度调节从而对单晶电磁场励磁线圈温度进行调节。温度进行调节。温度进行调节。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶电磁场冷却测温机构


[0001]本技术涉及半导体单晶硅生产设备领域，特别是一种单晶电磁场冷却测温机构。

技术介绍

[0002]单晶炉生长单晶硅时，为其提供稳定的磁场环境，提高材料利用率,提高硅片性能指标.可以对已有单晶炉进行改造,达到提高单晶质量的要求。单晶电磁场主要包括：轭板，导磁板，极头，励磁线圈，换热冷却组件，油枕组件等部分组成；我国现在非常注重新能源的开发利用，大力推进相关行业的发展，尤其是太阳能电池及相关绿色能源制造行业，而单晶硅则是太阳能电池中的重要部分；对于单晶炉制作单晶硅，提供可靠稳定的磁场是非常重要的。由于单晶电磁场的工作原理，在励磁线圈工作时，通电的铜线圈会产生热能，若冷却达不到理想效果，长时间工作会破坏线圈内部的绝缘层，从而破坏磁场的稳定性，造成不良的效果。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本技术提出一种单晶电磁场冷却测温机构，该机构可对单晶电磁场设备使用的油介质温度进行检测，同时通过对油介质温度调节从而对单晶电磁场励磁线圈温度进行调节。
[0004]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种单晶电磁场冷却测温机构，用于对单晶电磁场励磁线圈降温，且单晶电磁场励磁线圈通过油介质降温，所述单晶电磁场冷却测温机构包括进油管、油泵、连接软管和板式换热器，其中进油管连接在油泵的进油端，所述连接软管的第一端连接在油泵的出油端，所述板式换热器具有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，在板式换热器中具有液体流动管路，且在板式换热器内第一接口和第二接口连通，第三接口和第四接口连通，所述连接软管的第二端连接在第一接口，该第一接口为油介质输入口，所述第二接口为油介质输出口，所述第三接口为冷却液输入口，所述第四接口为冷却液输出口；
[0006]所述油泵驱动油介质由进油管通过油泵、连接软管和第一接口进入板式换热器后，经过与流经板式换热器的冷却液换热后从第二接口排出板式换热器，以完成换热。
[0007]作为优选的，所述进油管上设有用于检测进油管内油介质压力的油流继电器。
[0008]作为优选的，所述进油管上设有用于检测进油管内油介质温度的测温传感器。
[0009]作为优选的，所述进油管靠近油泵进油端处设有分支管，该分支管与进油管主体形成三通结构，该分支管上设有卸压阀门。
[0010]作为优选的，所述板式换热器中，所述第一接口、第二接口、第三接口和第四接口均设置在板式换热器的同一侧面，且所述第二接口设置在第一接口的下方；所述第四接口设置在第三接口的下方。
[0011]作为优选的，所述第二接口连接用于从板式换热器输出冷却后油介质的管路，该
管路上设有第二阀门。
[0012]作为优选的，所述第三接口连接用于从板式换热器输出换热后冷却液的管路，该管路上设有第一阀门。
[0013]作为优选的，所述第四接口连接用于向板式换热器输入冷却液的管路，该管路上设有第三阀门。
[0014]作为优选的，所述第一阀门、第二阀门和第三阀门均为三片式对焊球阀。
[0015]使用本技术的有益效果是：
[0016]本技术专利技术涉及半导体单晶硅制造行业
，单晶电磁场冷却工艺流程，应用所述冷却机构，合理节省占用空间，同时使检测控制单元集中。使用本单晶电磁场冷却机构可有效提高换热器的冷却效率，同时实时监测油温，便于操作，提高板式换热器使用寿命及工作效率。因该机构结构合理且紧凑，不仅为单晶电磁场工作场地节省空间，同时为磁场绕阻线圈的稳定工作奠定基础，为安全、有效的单晶制造带来显著效果。
附图说明
[0017]图1为本技术单晶电磁场冷却测温机构的主视图。
[0018]图2为本技术单晶电磁场冷却测温机构的主视图。
[0019]图3为本技术单晶电磁场冷却测温机构中进油管的示意图。
[0020]附图标记包括：
[0021]10
‑
底座支架，20
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进油管，21
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外接端口，22
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油流继电器，23
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测温传感器， 24
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放流阀，30
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油泵，40
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连接软管，50
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板式换热器，51
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第一接口，52
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第二接口，53
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第三接口，54
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第四接口，61
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第一阀门，62
‑
第二阀门，63
‑
第三阀门。
具体实施方式
[0022]为使本技术方案的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式，对本技术方案进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而不是要限制本技术方案的范围。
[0023]如图1
‑
图3所示，本实施例提出一种单晶电磁场冷却测温机构，用于对单晶电磁场励磁线圈降温，且单晶电磁场励磁线圈通过油介质降温，单晶电磁场冷却测温机构包括进油管20、油泵30、连接软管40和板式换热器50，其中进油管20连接在油泵30的进油端，连接软管40的第一端连接在油泵30的出油端，板式换热器50具有第一接口51、第二接口52、第三接口53和第四接口54，在板式换热器50中具有液体流动管路，且在板式换热器50内第一接口51和第二接口52连通，第三接口53和第四接口54连通，连接软管40的第二端连接在第一接口51，该第一接口51为油介质输入口，第二接口52为油介质输出口，第三接口53为冷却液输入口，第四接口54为冷却液输出口；油泵30驱动油介质由进油管20通过油泵30、连接软管40和第一接口51进入板式换热器50后，经过与流经板式换热器50的冷却液换热后从第二接口52排出板式换热器50，以完成换热。
[0024]具体的，本实施例中的底座支架10采用工字钢焊接制成，底座支架10底面平整，底座支架10的顶面为油泵30和板式换热器50的安装面，所述油泵30 和板式换热器50均通过螺钉固定安装在底座支架10的顶面。
[0025]如图2所示，本实施例中油泵30为盘式油泵，油泵30的进油端口连接进油管20，本实施例中进油管20为竖直设置，进油管20的上端口通过管路连接单晶电磁场装置的出油端口，油泵30的出油端口朝上设置，油泵30的出油端口通过连接软管40连接板式换热器50的第一接口51，第二接口52为油介质输出口。
[0026]上述为本机构的油介质的部分循环管路，单晶电磁场装置的出油端口输出的油介质通过油泵30提供油介质流动的驱动力，因此油介质通过进油管20进入油泵30，通过油泵30的驱动由油泵30的输出端口排出并通过连接软管40 输入到板式换热器50，具体为板式换热器50的第一接口51。油介质经过板式换热器50充分换热后形成温度较低的油介质，温度较低的油介质最终通过第二接口52排出板式换热器50，以完成油介质的降温本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶电磁场冷却测温机构，用于对单晶电磁场励磁线圈降温，且单晶电磁场励磁线圈通过油介质降温，其特征在于：所述单晶电磁场冷却测温机构包括进油管、油泵、连接软管和板式换热器，其中进油管连接在油泵的进油端，所述连接软管的第一端连接在油泵的出油端，所述板式换热器具有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，在板式换热器中具有液体流动管路，且在板式换热器内第一接口和第二接口连通，第三接口和第四接口连通，所述连接软管的第二端连接在第一接口，该第一接口为油介质输入口，所述第二接口为油介质输出口，所述第三接口为冷却液输入口，所述第四接口为冷却液输出口；所述油泵驱动油介质由进油管通过油泵、连接软管和第一接口进入板式换热器后，经过与流经板式换热器的冷却液换热后从第二接口排出板式换热器，以完成换热。2.根据权利要求1所述的单晶电磁场冷却测温机构，其特征在于：所述进油管上设有用于检测进油管内油介质压力的油流继电器。3.根据权利要求1所述的单晶电磁场冷却测温机构，其特征在于：所述进油管上设有用于检测进油管内油介质温度的测温传...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢秉钊，张晓光，陈国帅，蒙建华，
申请(专利权)人：抚顺赛瑞特环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：