一种排风结构及除胶机制造技术

本实用新型专利技术提供一种排风结构及除胶机，所述除胶机包括保护壳和设置在所述保护壳内的钟形罩，所述排风结构包括：进风开口和设置在所述保护壳外的排风风管接口；其中，所述排风风管接口的进气口贯通所述保护壳顶部；所述排风风管接口内包括数个垂直设置的子排风接口；所述进风开口周向的设置在所述保护壳侧壁底部，且贯通所述保护壳；所述进风开口经由所述保护壳内壁与所述钟形罩外壁之间的间隙与所述排风风管接口连通。本实用新型专利技术提供的排风结构及除胶机可以均匀的冷却所述钟形罩，避免所述钟形罩因高温产生颗粒掉落，从而有效的提升设备使用率，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种排风结构及除胶机


[0001]本技术涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种排风结构及除胶机。

技术介绍

[0002]在半导体制造去胶工艺中，除胶机的真空腔平台是由2个功能模块组合而成：工艺模块和真空锁。除胶机的工艺腔里有6个硅片承载台，每个硅片承载台上可以放置1枚硅片。腔体中的旋转机械手臂将硅片在各承载台上传送。第一个硅片承载台的上方是灯泡加热装置。第2
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6个硅片承载台上设有独立的射频源。在第二到第六个硅片承载台上方各有一个射频源。工艺过程中采用电感耦合方式产生等离子体。工艺气体通过分气盘进入钟形罩，钟形罩外侧设置电感线圈。在高频电场(13.56MHz)作用下，线圈产生感应磁场，工艺气体通过线圈时产生次极感应电流，以等离子体型式释放出能量。钟形罩为石英材质，具有良好的耐腐蚀性。通常情况下没有工艺损耗，只有使用特定工艺时需要在年保时更换。气体进入钟形罩时，一个圆形、边缘开孔的分气盘将气体均匀分散至钟形罩外侧。当除胶机达到5KW的功率，射频源工作时温度可以达到317℃。
[0003]参见附图1，图1为现有技术设计的排风结构俯视图，从图中可以看出，仅有一个设置在六边形集风罩200中的现有排风接口100，同时，在射频源四周安装有风扇用于将外部空气吸入。排出的热气通过射频源侧面排至热排风管道。由于射频在射频线路尤其是射频线圈上产生高温，钟形罩靠近部分容易受到影响。钟形罩高温部分在腔体内侧刻蚀速度加快，形成掉落的颗粒，导致产品缺陷。增加昂贵的更换成本，降低设备的使用率。
[0004]因此，如何提供一种排风结构及除胶机，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种排风结构及除胶机，以解决现有技术存在的钟形罩的高温部分在腔体内侧刻蚀速度加快，形成掉落的颗粒，导致产品缺陷，增加昂贵的更换成本，降低设备的使用率的问题。
[0006]为了达到上述目的，本技术提供了一种排风结构，所述排风结构适用于除胶机，所述除胶机包括保护壳和设置在所述保护壳内的钟形罩，所述排风结构包括：进风开口和设置在所述保护壳外的排风风管接口；
[0007]其中，所述排风风管接口的进气口贯通所述保护壳顶部；
[0008]所述排风风管接口内包括数个垂直设置的子排风接口；
[0009]所述进风开口周向的设置在所述保护壳侧壁底部，且贯通所述保护壳；
[0010]所述进风开口经由所述保护壳内壁与所述钟形罩外壁之间的间隙与所述排风风管接口连通。
[0011]可选的，还包括排风装置，所述排风装置设置在所述排风风管接口的出气口上方。
[0012]可选的，所述排风装置的数量为一个，所述数个子排风接口位于所述排风装置在
垂直方向的投影范围内。
[0013]可选的，所述排风装置的数量与所述子排风接口的数量相同，每个所述排风装置对应设置在一个所述子排风接口上方。
[0014]可选的，所述排风装置包括：排风风扇。
[0015]可选的，所述进风开口形状包括：网格状进风开口。
[0016]可选的，还包括射频线圈，所述射频线圈缠绕在所述钟形罩侧壁外部，所述进风开口设置在所述射频线圈下方。
[0017]可选的，还包括数个射频反射器，所述射频反射器周向的设置在所述射频线圈上，所述子排风接口的数量与所述射频反射器的数量相同。
[0018]可选的，所述子排风接口的形状大小相同，且所述子排风接口的分布位置与所述射频反射器的分布位置相对应。
[0019]本技术还提供一种除胶机，包括上述任一项所述的排风结构。
[0020]与现有技术相比，本技术提供的一种排风结构及除胶机具有以下有益效果：
[0021]本技术提供的一种排风结构，所述排风结构适用于除胶机，所述除胶机包括保护壳和设置在所述保护壳内的钟形罩，所述排风结构包括：进风开口和设置在所述保护壳外的排风风管接口；其中，所述排风风管接口的进气口贯通所述保护壳顶部；所述排风风管接口内包括数个垂直设置的子排风接口；所述进风开口周向的设置在所述保护壳侧壁底部，且贯通所述保护壳；所述进风开口经由所述保护壳内壁与所述钟形罩外壁之间的间隙与所述排风风管接口连通。本技术提供的排风结构通过在所述保护壳的侧壁底部设置进风开口，以及顶部设置所述排风风管接口，且所述排风风管接口具有多个子排风接口，当外部冷风通过所述进风开口进入所述保护壳内后，所述冷风能够沿着所述钟形罩的外壁均匀的向上流动并进入所述排风风管接口。由此，所述冷风在向上流动的过程中能够均匀的冷却所述钟形罩，改善所述钟形罩的温度分布，避免所述钟形罩产生颗粒掉落，从而有效提升设备使用率，降低生产成本。
[0022]由于本技术提供的除胶机与本技术提供的所述排风结构属于同一专利技术构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此，不再一一赘述。
附图说明
[0023]图1为现有技术设计的排风结构俯视图；
[0024]图2为本技术一实施例提供的排风结构中排风风管接口俯视图；
[0025]图3为本技术一实施例提供的排风结构的正视图；
[0026]其中，100
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现有排风接口，200
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六边形集风罩，300
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排风装置，400
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排风风管接口，401
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子排风接口，500
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射频线圈，600
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进风开口，700
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钟形罩，800
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射频反射器，900
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保护壳。
具体实施方式
[0027]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。应当了解，说明书
附图并不一定按比例的显示本技术的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本技术某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本技术的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0028]在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
[0029]实施例一
[0030]本实施例提供了一种排风结构，参见附图2和附本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种排风结构，所述排风结构适用于除胶机，所述除胶机包括保护壳和设置在所述保护壳内的钟形罩，其特征在于，所述排风结构包括：进风开口和设置在所述保护壳外的排风风管接口；其中，所述排风风管接口的进气口贯通所述保护壳顶部；所述排风风管接口内包括数个垂直设置的子排风接口；所述进风开口周向的设置在所述保护壳侧壁底部，且贯通所述保护壳；所述进风开口经由所述保护壳内壁与所述钟形罩外壁之间的间隙与所述排风风管接口连通。2.如权利要求1所述的一种排风结构，其特征在于，还包括排风装置，所述排风装置设置在所述排风风管接口的出气口上方。3.如权利要求2所述的一种排风结构，其特征在于，所述排风装置的数量为一个，所述数个子排风接口位于所述排风装置在垂直方向的投影范围内。4.如权利要求2所述的一种排风结构，其特征在于，所述排风装置的数量与所述子排风接口的数量相同，每个所述排...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈长肖，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：