一种硅片放置料框、插片设备制造技术

一种硅片放置料框，包括：包括：架体；以及置于所述架体内侧的夹棍和低杆；所述夹棍可沿所述架体宽度方向移动，以夹固所述硅片放置于所述低杆上，或松开所述硅片准备进行分片。本实用新型专利技术还提出一种采用该硅片放置料框的插片设备。本实用新型专利技术仅需控制推杆再通过限位块调整夹棍的转动角度，即可在清洗或转运过程中夹紧硅片立面，以使硅片稳定地立放在料框中，并可在需要插片时调整夹棍以松开硅片，达到分片的目的，整体结构简单且易于控制，清洗时清洗液回流通畅，亦可保证硅片放置稳定，也不会出现倒片，清洗效果好。清洗效果好。清洗效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片放置料框、插片设备


[0001]本技术属于硅片清洗设备
，尤其是涉及一种硅片放置料框及设有该硅片放置料框的插片设备。

技术介绍

[0002]清洗分片是整个硅片制作流程的关键环节之一，直接影响硅片清洗效果和硅片的成品率。现有硅片都是直接散放于清洗槽中，硅片斜靠于清洗槽的端部，无任何保护，在清洗过程中容易被冲碎；同时由于放置硅片的清洗槽结构的不合理，导致清洗液对硅片清洗不干净，清洗效果差。且在后续插片过程中，散放的硅片无法实现连续的分片。如何设计一种结构简单、旋转稳定可控且亦可夹装硅片的放料框，是提高硅片清洗效率的重要技术之一。

技术实现思路

[0003]本技术提出一种硅片放置料框、插片设备，解决了现有清洗放置槽因结构设计不合理导致清洗效果差、容易碎片的技术问题，结构设计简单且适合清洗工序中的各种设备，自动化程度高且硅片清洗效果好。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种硅片放置料框，包括：
[0006]架体；以及
[0007]置于所述架体内侧的夹棍和低杆；
[0008]所述夹棍可沿所述架体宽度方向移动，以夹固所述硅片放置于所述低杆上，或松开所述硅片准备进行分片。
[0009]进一步的，所述夹棍被置于其外侧的推杆上的限位块推动，以使所述夹棍从初始的开口朝外设置的斜向位置至竖直设置的直面位置往复移动。
[0010]进一步的，所述推杆固设于所述架体底部的立柱上，所述推杆与所述立柱铰接设置。
[0011]进一步的，在每个所述推杆两端均设有与其连接的斜块，所述斜块下端与所述架体底部连接，所述斜块受力驱动所述推杆朝靠近或远离所述架体中间方向移动。
[0012]进一步的，所述夹棍和所述低杆均沿所述架体的长度方向并行设置；
[0013]所述夹棍和所述低杆均相对于所述架体长度轴线对称设置。
[0014]进一步的，所述夹棍为片状板条结构，在所述夹棍外壁包裹一弹性结构的防护套直接与所述硅片接触。
[0015]并在所述夹棍外壁包裹一弹性结构的防护套直接与所述硅片接触。
[0016]进一步的，所述低杆悬空固设于所述架体底部，用于支撑所述硅片底面。
[0017]进一步的，在所述架体的任一端部设有用于防止所述硅片倾斜的挡板，所述挡板竖直地固设于所述低杆上方并置于所述夹棍内侧。
[0018]进一步的，在所述架体两侧端部均配设有用于抓取定位的钩柱。
[0019]一种插片设备，采用如上所述的一种硅片放置料框。
[0020]采用本技术设计的一种硅片放置料框及采用该硅片放置料框的插片装置，仅需控制推杆再通过限位块调整夹棍的转动角度，即可在清洗或转运过程中夹紧硅片立面，以使硅片稳定地立式放置在料框中，并可在需要插片时调整夹棍以松开硅片，达到分片的目的，结构简单且易于控制，清洗时清洗液回流通畅，亦可保证硅片放置稳定，也不会出现倒片，清洗效果好。
附图说明
[0021]图1是本技术一实施例的一种硅片放置料框的立体图。
[0022]图中：
[0023]10、架体
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
20、夹棍
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
30、低杆
[0024]40、片腔
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
50、推杆
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
60、斜块
[0025]70、立柱
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
80、挡板
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
90、钩柱
[0026]100、限位块
具体实施方式
[0027]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。
[0028]本实施例提出一种硅片放置料框，如图1所示，包括架体10以及置于架体10内侧的夹棍20和低杆30，其中，所有夹棍20和低杆30围成用于放置硅片的片腔40；夹棍20可沿片腔40的宽度方向移动，缩小片腔40的宽度以夹固硅片立放于低杆30上，或扩大片腔40的宽度以松开硅片进行分片。这一料框结构，在清洗时，可使硅片稳定地、集中地立式放置在片腔40内，且不会影响其整体硅片的质量并可将硅片完整地浸入水液中；当插片时，通过调整夹棍20的宽度以放开硅片，使硅片可持续地被移走进行分片。
[0029]具体地，在本实施例中，为了最大限度地简化结构，在保证硅片放置的稳定的基础上设置两个夹棍20和两个低杆30，所有夹棍20和低杆30均沿架体10的长度方向并行、间隙设置，且夹棍20和低杆30均相对于架体10的长度轴线对称设置。这一结构有利于载有硅片的承载料框浸入水液中浸泡，使硅片四周都有空隙被水液充满，并使在硅片承载料框上升时水液能及时从各间隙内溢出，保证硅片不被冲裂或冲走；在提高其结构强度，同时还可降低水液溢流的阻力。
[0030]夹棍20被置于其外侧的推杆50推动沿架体10的宽度方向左右移动；夹棍20为一定宽度的片状板条结构，在夹棍20的外壁包裹一弹性结构的防护套直接与硅片接触，目的是保护硅片，避免直接对硅片的夹紧造成硅片的裂片，同时还可避免金属板条直接与硅片接触而造成硅片被金属杂质污染，影响其参数。在放置硅片时，硅片可沿片腔40高度方向被夹棍20外侧的防护套的内壁导入片腔40内，并随后被夹棍20和低杆30围夹固定。
[0031]推杆50固设于架体10底部的立柱70上，并相对于立柱70可旋转移动，在推杆50上固设有限位块100，限位块100与推杆50是倾斜连接设置，限位块100直接与夹棍20固定连接，从而推杆50通过限位块100与夹棍20铰接设置。推杆50的初始位置是在远离片腔40的一侧设置，此时夹棍20为倾斜朝外设置的结构，当推杆50向片腔40中心轴线移动时，推杆50通
过限位块100推动夹棍20至硅片立面处竖直设置，从而使夹棍20的内壁面与硅片立面全面接触，进而完全夹紧硅片使其立方在片腔40内。这种结构可进一步保证夹棍20工作的稳定性，而且还可降低整体结构的生产成本，提高夹棍20工作的灵活度和精准度。
[0032]在每个推杆50的两端均设有与其连接的斜块60，斜块60的下端与架体10的底部连接，斜块60受力驱动推杆50相向旋转，推杆50通过限位块100带动夹棍20旋转以使夹棍20从倾斜向外的结构逐步变成竖直向下的结构，以朝靠近片腔40的中间方向移动，以完成对硅片的夹紧。当斜块60受力驱动推杆相背旋转时，推杆50通过限位块100调整夹棍20推杆50通过限位块100带动夹棍20旋转以使夹棍20从竖直向下的结构逐步向外扩大形成倾斜向外的结构，以朝远离片腔40的中间方向移动。
[0033]在每个推杆50上至少设有两组可调整夹棍20角度的限位块100，限位块100包括两个紧贴相邻设置的斜块，两个斜块与夹棍20接触的面为错位设置的结构，以调整夹棍20倾斜或直立位置，斜块远离夹棍20的一端均套固于推杆50上。错位设置的斜块设置的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片放置料框，其特征在于，包括：架体；以及置于所述架体内侧的夹棍和低杆；所述夹棍可沿所述架体宽度方向移动，以夹固所述硅片放置于所述低杆上，或松开所述硅片准备进行分片。2.根据权利要求1所述的一种硅片放置料框，其特征在于，所述夹棍被置于其外侧的推杆上的限位块推动，以使所述夹棍从初始的开口朝外设置的斜向位置至竖直设置的直面位置往复移动。3.根据权利要求2所述的一种硅片放置料框，其特征在于，所述推杆固设于所述架体底部的立柱上，所述推杆与所述立柱铰接设置。4.根据权利要求2或3所述的一种硅片放置料框，其特征在于，在每个所述推杆两端均设有与其连接的斜块，所述斜块下端与所述架体底部连接，所述斜块受力驱动所述推杆朝靠近或远离所述架体中间方向移动。5.根据权利要求4所述的一种硅片放置料框，其特征在于，所述夹棍和所述低杆均沿所述架体的长度方向并行设置；所述夹棍和所述低杆均相对于所述架体长度...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，耿名强，杨骅，姚长娟，赵晓光，尹擎，杨鹏，杨杰，高洁，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：