一种硅部件用刻蚀治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅部件用刻蚀治具，包括用于放置硅部件的下盘、可拆卸设于所述下盘上受自身重力将硅部件抵顶于所述下盘上并可受外力转动于所述下盘上的带有刻蚀孔的上盘、设于所述上盘与所述下盘之间在上盘受外力转动至预定位置时固定上盘位置的固定装置。转动至预定位置时固定上盘位置的固定装置。转动至预定位置时固定上盘位置的固定装置。

【技术实现步骤摘要】
一种硅部件用刻蚀治具


[0001]本技术涉及刻蚀治具领域，具体涉及一种硅部件用刻蚀治具。

技术介绍

[0002]刻蚀，是硅部件制造过程中的工艺。通过化学刻蚀的方式去除粗加工过程中产生的微小机械损伤层，使硅部件表面更加圆滑，同时，用于去除产品表面残留的细微金属颗硅部件粒，确保产品表面洁净度。
[0003]在对硅部件进行刻蚀作业时，常规刻蚀治具操作及搬运有一定危险性，且固定方式不合理，无法确保刻蚀作业时硅部件表面得到均匀的腐蚀。

技术实现思路

[0004]因此，针对上述的问题，本技术提出一种硅部件用刻蚀治具。
[0005]为实现上述目的，本技术的技术方案是提供了一种硅部件用刻蚀治具，包括用于放置硅部件的下盘、可拆卸设于所述下盘上受自身重力将硅部件抵顶于所述下盘上并可受外力转动于所述下盘上的带有刻蚀孔的上盘、设于所述上盘与所述下盘之间在上盘受外力转动至预定位置时固定上盘位置的固定装置。
[0006]进一步改进的是：所述固定装置包括至少一个设于所述下盘外周侧的连接座、设于所述上盘外周侧用于与所述连接座卡合的连接头。
[0007]进一步改进的是：所述连接座下端面设有用于将刻蚀治具支撑起的支撑柱。
[0008]进一步改进的是：所述连接座上端面设有用于在与另一个刻蚀治具叠放时与另一个刻蚀治具的支撑柱插接的叠放槽。
[0009]进一步改进的是：所述下盘上设有与硅部件配合将硅部件定位于下盘上的定位装置。
[0010]进一步改进的是：所述定位装置包括设于所述下盘上与硅部件配合将硅部件定位于所述下盘上的至少一根定位销。
[0011]进一步改进的是：所述定位销的数量大于一根，数根定位销呈圆环状设置于所述下盘上。
[0012]进一步改进的是：其中一个或多个所述连接头上设有用于解除所述连接头与所述连接座卡合的拉环。
[0013]进一步改进的是：所述上盘包括可拆卸设于所述下盘上受自身重力将硅部件抵顶于所述下盘上并可受外力转动于所述下盘上的带有刻蚀孔的上盘主体、设于所述上盘主体上位于刻蚀孔外周侧用于与硅部件配合的环形槽。
[0014]进一步改进的是：所述下盘上设有两个用于搬运刻蚀治具时便于手部握持的把手，所述下盘上与所述把手相对位置设有用于在搬运刻蚀治具时避让手部的避让区。
[0015]本技术所述的一种硅部件用刻蚀治具，具有以下有益效果：
[0016]1、本技术通过设置上盘与下盘，并通过在上盘与下盘之间设置固定装置，使
得硅部件被上盘与下盘夹持，，使得工人在刻蚀作业过程中搬运刻蚀治具时防止了硅部件在刻蚀治具上滑脱，保证了搬运过程的安全性。
[0017]2、本技术通过设置通过设置把手，使得硅部件装于刻蚀治具上工人在搬运刻蚀治具时工人可以更好的握持刻蚀治具，保证了搬运过程的平稳性，避免了硅部件出现磕碰，同时还设置避让区，使得工人可以更好的握持把手，防止工人手部握持把手时与下盘磕碰而影响搬运刻蚀治具时的平稳性，进一步保证了硅部件的安全。
[0018]3、本技术通过在连接头上拉环45，通过拉拽拉环将连接头与连接座的卡合状态接触，使得解除过程更加省力，为工人提供了便利，加强了工作效率。
[0019]4、本技术通过在连接座下端面设置支撑柱，通过支撑柱将刻蚀治具撑起远离工作台，便于工人从工作台上将刻蚀治具抬起搬运；同时在连接座上端面设置叠放槽44，使得多个刻蚀治具在叠放时通过叠放槽与另一个刻蚀治具的支撑柱插接，保证了叠放时的稳定性，防止叠放多个刻蚀治具时刻蚀治具倒塌而对硅部件造成损坏。
附图说明
[0020]图1为硅部件的结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例中下盘的俯视结构示意图；
[0022]图3为本技术实施例中上盘的俯视结构示意图；
[0023]图4为本技术实施例中上盘的仰视结构示意图；
[0024]图5为本技术实施例中固定装置的结构示意图。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0026]参考图2至图5所示，一种硅部件用刻蚀治具，包括如图2所示的用于放置硅部件的下盘2，所述下盘2上设有与硅部件配合将硅部件定位于下盘2上的定位装置，如图1所示，硅部件包括硅部件本体1和若干个开设于所述硅部件本体1上的定位孔11，若干个定位孔11呈圆环状设置于所述硅部件本体1上，所述定位装置包括设于所述下盘2上与硅部件的定位孔11配合将硅部件定位于所述下盘2上的至少一根定位销21，在本技术实施例中所述定位销21的数量大于一根，数根定位销21呈圆环状设置于所述下盘上，呈圆环状设置的数根定位销21的圆心与所述下盘中心同轴；
[0027]所述下盘2上设有两个用于搬运刻蚀治具时便于手部握持的把手22，通过设置把手22使得硅部件装于刻蚀治具上工人在搬运刻蚀治具时保证搬运过程的平稳性，避免了硅部件出现磕碰，并且所述下盘2上与所述把手22相对位置设有用于在搬运刻蚀治具时避让手部的避让区23，使得工人可以更好的握持把手，防止工人手部握持把手时与下盘2磕碰而影响搬运刻蚀治具时的平稳性；
[0028]一种硅部件用刻蚀治具，还包括如图3至图4所示的可拆卸设于所述下盘2上受自身重力将硅部件抵顶于所述下盘2上并可受外力转动于所述下盘2上的带有刻蚀孔31的上盘，所述上盘包括可拆卸设于所述下盘2上受自身重力将硅部件抵顶于所述下盘2上并可受
外力转动于所述下盘2上的带有刻蚀孔31的上盘主体32、设于所述上盘主体32上位于刻蚀孔31外周侧用于与硅部件配合的环形槽33；
[0029]一种硅部件用刻蚀治具，如图2至图5所示还包括设于所述上盘与所述下盘2之间在上盘受外力转动至预定位置时固定上盘2位置的固定装置，所述固定装置包括至少一个设于所述下盘2外周侧的连接座41、设于所述上盘外周侧用于与所述连接座41卡合的连接头42；
[0030]硅部件定位放置于下盘2上后，在放置上盘时将上盘的环形槽33对准硅部件放置，此时上盘受自身重力将硅部件抵顶于所述下盘2上，并且在受外力时可以硅部件为转动中心转动，当上盘转动到预定位置时位于上盘上的连接头42与位于下盘2上的连接座41卡合，通过连接座41与连接头42的卡合将上盘固定于下盘2上，使得硅部件被上盘与下盘2夹持，防止了硅部件在刻蚀治具上滑脱；
[0031]其中一个或多个所述连接头42上设有用于解除所述连接头42与所述连接座41卡合的拉环45，通过拉拽位于连接头42上的拉环45，将连接头42与连接座41的卡合状态接触，使得解除过程更加省力；
[0032]所述连接座41下端面设有用于将刻蚀治具支撑起的支撑柱43，通过支撑柱43将刻蚀治具撑起远离工作台，便于工人从工作台上将刻蚀治具抬起搬运；同时所述连接座41上端面设有用于在与另一个刻蚀治本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅部件用刻蚀治具，其特征在于：包括用于放置硅部件的下盘、可拆卸设于所述下盘上受自身重力将硅部件抵顶于所述下盘上并可受外力转动于所述下盘上的带有刻蚀孔的上盘、设于所述上盘与所述下盘之间在上盘受外力转动至预定位置时固定上盘位置的固定装置。2.根据权利要求1所述的一种硅部件用刻蚀治具，其特征在于：所述固定装置包括至少一个设于所述下盘外周侧的连接座、设于所述上盘外周侧用于与所述连接座卡合的连接头。3.根据权利要求2所述的一种硅部件用刻蚀治具，其特征在于：所述连接座下端面设有用于将刻蚀治具支撑起的支撑柱。4.根据权利要求3所述的一种硅部件用刻蚀治具，其特征在于：所述连接座上端面设有用于在与另一个刻蚀治具叠放时与另一个刻蚀治具的支撑柱插接的叠放槽。5.根据权利要求1所述的一种硅部件用刻蚀治具，其特征在于：所述下盘上设有与硅部件配合将硅部件定位于下盘上的定位装置。6.根据权利要求5所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘连胜，潘一鸣，王莉莉，
申请(专利权)人：福建精工半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：