用于机械手抓手清洗的槽体结构以及清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了用于机械手抓手清洗的槽体结构以及清洗设备，槽体结构包括：底座、安装在底座上的至少一个清洗槽、以及设于清洗槽中的进水管，底座安装有对清洗槽进行水平调节的水平调节组件。清洗槽设有喷洗区，清洗时机械手抓手位于喷洗区中，进水管排布有若干个对准喷洗区的喷水口。清洗槽的槽口上方安装有吹气管组件，吹气管组件包括：排布有吹气口的两个吹气管，两个吹气管的吹气口相对设置，且两个吹气管之间设有间距形成允许机械手抓手活动穿过的干燥区。本实用新型专利技术可通过水平调节组件及时对清洗槽的水平状态进行调整，利用喷水口向抓手喷水以冲洗机械手抓手的残留药液，喷水压力大，清洗速度快且效果好。清洗速度快且效果好。清洗速度快且效果好。

【技术实现步骤摘要】
用于机械手抓手清洗的槽体结构以及清洗设备


[0001]本技术涉及半导体加工
，尤其涉及用于机械手抓手清洗的槽体结构以及清洗设备。

技术介绍

[0002]在自动湿法清洗设备中，使用机械手搬运料件，将要清洗的料件送入所需要的清洗槽中。清洗槽中根据不同的工艺需求，放入酸或碱或有机物或水。由于机械手抓手会频繁的进入不同的清洗药液中，这样会带来以下影响：
[0003]1、机械手抓手会一直带有化学品残液，存在安全隐患；
[0004]2、机械手抓手的残液会使各清洗槽之间产生“交叉污染”；
[0005]3、带残液的机械手会在工艺的最后阶段污染料件以及承载料件的载体。
[0006]现有技术中已出现对机械手抓手进行清洗的清洗槽，但清洗槽大多通过焊接或者设置腰孔与外槽进行固定连接，若外槽本身不平整或者焊接时没有焊平整，则会导致清洗槽不在一个水平状态，不仅清洗效果在日积月累的使用中变差，而且由于自身重力的影响，清洗槽可能会越来越倾斜，如果不能对清洗槽的水平状态进行及时调整，极有可能导致机械手抓手在下降过程中与清洗槽存在干涉，发生设备损坏等情况。

技术实现思路

[0007]为了解决现有技术中存在的缺陷，本技术提出用于机械手抓手清洗的槽体结构以及清洗设备，该槽体结构设置有对清洗槽进行水平调节的水平调节组件，水平调节组件结构简单且操作方便，工作人员可及时对清洗槽的水平状态进行调整，提高机械手抓手的清洗效果以及设备的使用寿命。
[0008]本技术采用的技术方案是，设计用于机械手抓手清洗的槽体结构，包括：底座以及安装在底座上的至少一个清洗槽、以及设于清洗槽中的进水管，底座安装有对清洗槽进行水平调节的水平调节组件。
[0009]在一实施例中，水平调节组件包括：至少一个调节螺丝、以及套在调节螺丝上的锁紧螺母，底座的边角设有与调节螺丝相配合的螺孔。
[0010]进一步的，清洗槽设有用于清洗机械手抓手的喷洗区，清洗时机械手抓手位于喷洗区中，进水管排布有若干个对准机械手抓手的喷水口。
[0011]进一步的，清洗槽的槽口上方安装有吹气管组件，吹气管组件包括：排布有吹气口的两个吹气管，两个吹气管的吹气口相对设置，且两个吹气管之间设有间距形成允许机械手抓手活动穿过的干燥区。
[0012]进一步的，清洗槽的槽底设有排水口，排水口连接有排水管，排水口或排水管安装有排水阀。其中，排水阀在机械手抓手从喷洗区上移至干燥区时被打开，进水管停止向喷洗区喷水；排水阀在机械手抓手上移至离开干燥区时被关闭，进水管开启向喷洗区喷水。
[0013]进一步的，吹气管吹出的气体为氮气。
[0014]进一步的，清洗槽的槽口设有溢流边，清洗槽的外围设有隔槽；进水管在清洗过程中持续向喷洗区喷水，以使清洗槽内的液体不断从溢流边溢出，清洗槽内溢出的液体落入隔槽中。
[0015]本技术还提出了清洗设备，包括：用于搬运料件进行清洗的机械手、用于清洗料件的料件清洗槽、用于清洗机械手抓手的抓手清洗槽，该抓手清洗槽采用上述的槽体结构。
[0016]进一步的，机械手抓手在喷洗区和/或干燥区的范围内上下运动一定时间。
[0017]进一步的，机械手每次搬运料件进入料件清洗槽之后均移动至抓手清洗槽清洗抓手。
[0018]与现有技术相比，本技术主要有以下有益效果：
[0019]1、底座安装有水平调节组件，通过水平调节组件对清洗槽进行水平调节，提高机械手抓手的清洗效果以及设备的使用寿命；
[0020]2、设计清洗机械手抓手的清洗槽，清洗时进水管的喷水口对准抓手喷水，利用水压冲洗抓手上的残留药液，加快清洗速度，优化清洗效果；
[0021]3、吹气管向外吹出氮气以干燥机械手抓手，防止空气中的杂质粘附在潮湿的机械手抓手上；
[0022]4、机械手抓手在喷洗区和干燥区内上下运动，以便更好的清洗和干燥机械手抓手。
附图说明
[0023]下面结合实施例和附图对本技术进行详细说明，其中：
[0024]图1是本技术中槽体结构的立体示意图；
[0025]图2是本技术中槽体结构的横截面示意图；
[0026]图3是本技术中槽体结构的侧面示意图；
[0027]图4是图3的A
‑
A剖面示意图；
[0028]图5是本技术中槽体结构的俯视示意图；
[0029]图6是本技术中清洗设备的内部示意图；
[0030]其中，图中主要标记：
[0031]1、底座；11、固定螺丝；12、调节螺丝；13、锁紧螺母；2、清洗槽；21、喷洗区；22、溢流边；23、排水口；3、进水管；31、喷水口；4、抓手；5、吹气管组件；51、吹气管；52、干燥区；6、排水管；10、抓手清洗槽；100、清洗设备。
具体实施方式
[0032]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0033]由此，本说明书中所指出的一个特征将用于说明本技术的一个实施方式的其中一个特征，而不是暗示本技术的每个实施方式必须具有所说明的特征。此外，应当注意的是本说明书描述了许多特征。尽管某些特征可以组合在一起以示出可能的系统设计，
但是这些特征也可用于其他的未明确说明的组合。由此，除非另有说明，所说明的组合并非旨在限制。
[0034]下面结合附图以及实施例对本技术的原理进行详细说明。
[0035]如图1至3所示，槽体结构包括：底座1、至少一个清洗槽2、以及设于清洗槽2中的进水管3等，清洗槽2安装在底座1上，清洗槽2与底座1之间的连接可以采用焊接或者螺丝固定。底座1的边角设有固定螺丝11，安装时通过底座1的固定螺丝11固定在对应工位的底板上。为了保证清洗槽处于水平状态，底座1还安装有水平调节组件，通过水平调节组件对清洗槽2进行水平调节。
[0036]在一实施例中，水平调节组件包括：多个调节螺丝12、以及每个调节螺丝均套有锁紧螺母13，底座1的边角设有与调节螺丝12相配合的螺孔，调节螺丝12向下穿过螺孔，锁紧螺母13位于螺孔的上方，安装时通过向上或向下转动调节螺丝12调整底座1与底板之间的距离，以保证清洗槽2的溢流边22位于同一平面内，转动锁紧螺母13使其与底座1相抵，将调节螺母12锁定在当前高度，再转动固定螺丝11将清洗槽2固定在底板上。调整清洗槽2的水平状态时，先转动固定螺丝11松开清洗槽2，再转动锁紧螺母13松开调节螺丝12，然后按照安装时的动作调整并固定清洗槽2。
[0037]如图1、2所示，每个清洗槽2均喷洗区21，清洗时机械手抓手4位于该喷洗区21中，进水管3排布有多个喷水口31，喷水口31对准机械手抓手4，喷水口31喷出纯净水对机械手抓手4进行清洗。由于喷水口31直接对准抓手4喷水，液体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于机械手抓手清洗的槽体结构，包括：底座（1）以及安装在所述底座（1）上的至少一个清洗槽（2）、以及设于所述清洗槽（2）中的进水管（3），其特征在于，所述底座（1）安装有对所述清洗槽（2）进行水平调节的水平调节组件。2.根据权利要求1所述的槽体结构，其特征在于，所述水平调节组件包括：至少一个调节螺丝（12）、以及至少一个套在所述调节螺丝（12）上的锁紧螺母（13），所述底座的边角设有与所述调节螺丝（12）相配合的螺孔。3.根据权利要求1或2所述的槽体结构，其特征在于，所述清洗槽（2）设有喷洗区（21），清洗时所述机械手抓手（4）位于所述喷洗区（21）中，所述进水管（3）排布有若干个对准所述机械手抓手（4）的喷水口（31）。4.根据权利要求3所述的槽体结构，其特征在于，所述清洗槽（2）的槽口上方安装有吹气管组件（5），所述吹气管组件（5）包括：排布有吹气口的两个吹气管（51），所述两个吹气管（51）的吹气口相对设置，且所述两个吹气管（51）之间设有间距，允许所述机械手抓手（4）活动穿过的干燥区（52）。5.根据权利要求4所述的槽体结构，其特征在于，所述清洗槽（2）的槽底设有排水口（23），所述排水口（23）连接有排水管（6），所述排水口（23）或所述排水管（6）安装有排水阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，陈雷，成旭，李雄朋，申斌，谈丽文，邱瑞，饶相松，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：新型
国别省市：