本实用新型专利技术公开了一种发光二极管芯片的除尘装置，包括主体支架、电机、传送带、带轮、气嘴、气嘴支架、晶圆料盒、对射传感器和抽真空槽，气嘴位于气嘴支架上，对射传感器放置于主体支架前后端，晶圆放于料盒中，传送带下方设置抽真空槽。当料盒放置于前侧左右对射传感器中，传送带转动，使料盒向前传送，同时气嘴开始喷气，高速气体流穿过料盒，使料盒中每片芯片正反面上的灰尘、颗粒等吹落并通过传送带上的圆孔被传送带下方的抽真空槽抽走。避免由人工使用气枪清洁导致的清洁效率低下的问题，同时避免作业人员操作设备加工芯片时产生由于芯片粘有灰尘，颗粒等影响设备运行等影响生产效率的问题。率的问题。率的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种发光二极管芯片的除尘装置
[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种发光二极管芯片的除尘装置。
技术介绍
[0002]LED(Light Emitting Diode，发光二极管)具有体积小、寿命长、功耗低等优点，目前被广泛应用于汽车信号灯、交通信号灯、显示屏以及照明设备。
[0003]在制作LED时，需要先制作出外延片，然后将外延片进行涂布、匀胶、光刻、显影等流程制作成LED芯片。在制作过程中，LED芯片上难免会形成一定的污染，因此在进行LED芯片的生产过程中需要对LED芯片进行除尘清洗。
[0004]目前LED芯片通常采用人工的方式进行除尘清洗，除尘清洗效率低。
技术实现思路
[0005]本技术针对现有技术的缺点，设计了一种发光二极管芯片的除尘装置，能够提高LED芯片的清洗效率。
[0006]本技术公开的技术方案如下：一种发光二极管芯片的除尘装置，包括主体支架，主体支架上安装有传送带，还包括气嘴支架，气嘴支架位于传送带的上方，气嘴支架上安装有若干个向传送带喷气的气嘴，至少一组对射传感器放置或固定安装在主体支架的前端，传送带上具有若干个均匀分布的圆孔，传送带的下方安装有抽真空槽，抽真空槽固定在主体支架，抽真空槽连接排风管。
[0007]在上述方案的基础上，作为优选，气嘴支架有若干个，且在前后方向上间隔设置。
[0008]在上述方案的基础上，作为优选，驱动所述的传送带传动的电机位于所述主体支架右侧，气嘴支架的两端固定于主体支架左右两侧。
[0009]在上述方案的基础上，作为优选，每个气嘴支架上安装有多个气嘴，多个所述的气嘴在气嘴支架的长度方向上均匀分布。
[0010]在上述方案的基础上，作为优选，电机传动连接带动传送带运动的带轮。
[0011]在上述方案的基础上，作为优选，电机轴与主动轮传动连接，主动轮通过V带与从动轮连接，从动轮与带轮固定在同一轴上。
[0012]在上述方案的基础上，作为优选，所述电机通过螺栓与固定板连接，固定板与主体支架外侧固定连接。
[0013]在上述方案的基础上，作为优选，传送带由棉或麻织品的衬布用橡胶加以胶合成而成的皮带。
[0014]在上述方案的基础上，作为优选，气嘴为特氟龙材质。
[0015]在上述方案的基础上，作为优选，主体支架上安装有透明材质的防尘罩。
[0016]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0017]通过在主体支架上安装两组对射传感器，当作业人员将装有芯片的料盒放入导轨前端的传送带处，此时对射传感器感应到有料盒，电机转动带动传送带运动，气嘴支架上的
气嘴开始喷氮气，当传送带上的料盒经过气嘴下方时，高速的气体流吹出气体清洁料盒中芯片的正反两侧的灰尘等杂物，同时主体支架下方的负压真空带走从传送带上吹落的灰尘。此除尘装置避免由人工使用气枪清洁导致的清洁效率低下的问题，同时避免作业人员操作设备加工芯片时产生由于芯片粘有灰尘，颗粒等影响设备运行等影响生产效率的问题。
附图说明
[0018]图1是本专利技术实施例提供的一种发光二极管芯片的清洗装置的结构示意图；
[0019]图2是本专利技术实施例提供的一种电机带动带轮的结构示意图；
[0020]图3是本专利技术实施例提供的一种传送带的结构示意图；
[0021]图4是本专利技术实施例提供的一种气嘴及气嘴支架的结构示意图。
具体实施方式
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
[0023]图1
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4所示，该除尘装置包括主体支架10、电机20、带轮30、传送带40、气嘴50、气嘴支架51、晶圆料盒60、对射传感器70和抽真空槽80。
[0024]气嘴支架51左右两侧固定在主体支架10的左右两侧上，电机20位于主体支架10右侧，气嘴50位于气嘴支架51中间，主体支架10前后两端分别有一组对射传感器70。主体支架10中间有通过电机20带动的传送带40，传送带上具有若干个均匀分布的圆孔。
[0025]抽真空槽80位于传送带下方并固定在主体支架上，抽真空槽80的底部通过连接排风管道，排风管道另一边连接厂务负压排风。通过厂务端不断抽取槽内气压，使从传送带40上吹落的芯片灰尘被抽走通过排风管排出。
[0026]晶圆放于料盒中，当料盒60放置于前侧左右对射传感器70之间时，传送带40转动，使料盒60向前传送，同时气嘴50开始喷气，高速气流穿过料盒60，使料盒60中每片芯片正反面上的灰尘、颗粒等吹落。灰尘、颗粒等通过传送带上的圆孔被传送带下方的抽真空槽抽走。当到达主体支架后端位置，对射传感器感应到料盒时，传送带停止。
[0027]图2是本专利技术实提供的一种电机20带动传送带40运行的结构，电机20通过螺栓与固定板23连接，固定板23与主体支架10固定连接。电机20的输出轴与主动轮21传动连接，主动轮21通过V带24与从动轮22连接，从动轮22与带轮30在同一轴上，构成一个整体，通过电机20的转动带动带轮30的运动,从而带动传送带40的转动。
[0028]图4是本专利技术实施例提供的一种气嘴50喷气结构，气嘴50位于气嘴支架51上，气嘴50为特氟龙材质，气嘴有若干个，在气嘴支架的长度方向上均匀分布。
[0029]该除尘装置还可以在主体支架上方设置透明材质的防尘罩90，在清洗LED芯片的过程中，工作人员可以透过挡板观察除尘的情况并且防止灰尘等飞溅影响作业环境。
[0030]主体支架侧面还可增加启动开关71、急停按钮72，启动开关71可以用于控制除尘装置的启动，例如可以用于控制电机20、气嘴50、传感器70等启动，急停按钮72可以在紧急
状态下切断电源，保护人机安全。
[0031]应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种发光二极管芯片的除尘装置，包括主体支架（10），主体支架（10）上安装有传送带（40），其特征在于，还包括气嘴支架（51），气嘴支架（51）位于传送带（40）的上方，气嘴支架（51）上安装有若干个向传送带(40)喷气的气嘴（50），至少一组对射传感器（70）放置或固定安装在主体支架（10）的前端，传送带（40）上具有若干个均匀分布的圆孔，传送带（40）的下方安装有抽真空槽（80），抽真空槽（80）固定在主体支架（10），抽真空槽（80）连接排风管。2.根据权利要求1所述的发光二极管芯片的除尘装置，其特征在于，气嘴支架（51）有若干个，且在前后方向上间隔设置。3.根据权利要求2所述的发光二极管芯片的除尘装置，其特征在于，驱动所述的传送带（40）传动的电机（20）位于所述主体支架（10）右侧，气嘴支架(51)的两端固定于主体支架(10)左右两侧。4.根据权利要求2所述的发光二极管芯片的除尘装置，其特征在于，每个气嘴支架（51）上安装有多个气嘴（5...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐东，杨辉，潘超，倪瑞，
申请(专利权)人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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