一种干式无油两级真空泵制造技术

本实用新型专利技术涉及一种干式无油两级真空泵，包括壳体、底座、齿轮箱、电机、一对螺杆转子和一对罗茨转子；壳体安装在底座上，壳体正面开设有吸气口，壳体背面开设有排气口，壳体内部空腔分为相互连通的罗茨转子腔和螺杆转子腔，罗茨转子腔靠近且连通吸气口，螺杆转子腔靠近且连通排气口，一对罗茨转子呈立式地安装在罗茨转子腔中，一对螺杆转子呈立式地安装在螺杆转子腔中；齿轮箱安装在壳体顶端，电机通过齿轮箱驱动一对螺杆转子和一对罗茨转子同步转动。本干式无油两级真空泵的壳体内集成安装有一对螺杆转子和一对罗茨转子，具有体积小的优点，且同时极大提升了真空泵的抽速和极限真空度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种干式无油两级真空泵


[0001]本技术涉及真空泵
，具体地讲，涉及一种干式无油两级真空泵。

技术介绍

[0002]干式螺杆真空泵是利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合。
[0003]罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体实现抽气的真空泵，压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。
[0004]通常在电工、电子、 镀膜、冶炼、热处理、干燥、蒸馏、制药、化工、军工、航天等行业，特别是要求无油蒸汽污染的半导体行业以及含有大量水蒸汽及少量粉尘的抽气场合为了提高抽气速度和极限真空度，螺杆真空泵会与罗茨真空泵串联组成机组使用，同时配有管路、阀门、机架等。此种机组内部需要多个连接器件且体积较大，安装繁琐，制造成本高，因此，有必要对其进行改进和优化。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理的、集成度高，体积小，使用安装简单的干式无油两级真空泵。
[0006]本技术解决上述问题所采用的技术方案是：一种干式无油两级真空泵，包括壳体、底座、齿轮箱和电机，其特征在于：还包括一对螺杆转子和一对罗茨转子；所述壳体安装在底座上，壳体正面开设有吸气口，壳体背面开设有排气口，壳体内部空腔分为相互连通的罗茨转子腔和螺杆转子腔，所述罗茨转子腔靠近且连通吸气口，所述螺杆转子腔靠近且连通排气口，所述一对罗茨转子呈立式地安装在罗茨转子腔中，所述一对螺杆转子呈立式地安装在螺杆转子腔中；所述齿轮箱安装在壳体顶端，所述电机通过齿轮箱驱动一对螺杆转子和一对罗茨转子同步转动。
[0007]优选的，所述一对螺杆转子包括相互啮合的主动螺杆转子和从动螺杆转子，所述一对罗茨转子包括相互啮合的主动罗茨转子和从动罗茨转子，所述主动螺杆转子、从动螺杆转子、主动罗茨转子和从动罗茨转子四者的转动轴线相平行。
[0008]优选的，在主动螺杆转子、从动螺杆转子、主动罗茨转子和从动罗茨转子四者的两端分别设置有油封组件和轴承，四者通过轴承安装在壳体中。
[0009]优选的，所述齿轮箱内布置有一号齿轮传动副和二号齿轮传动副，所述一号齿轮传动副和二号齿轮传动副均包括一对啮合传动的齿轮，其中一号齿轮传动副中的两个齿轮分别安装在一对螺杆转子的上端，二号齿轮传动副中的两个齿轮分别安装在一对罗茨转子的上端；所述电机通过联轴器与主动螺杆转子上端连接，并在主动螺杆转子上端安装有一号带轮，在主动罗茨转子的上端安装二号带轮，所述一号带轮和二号带轮通过同步带传动连接。
[0010]优选的，所述排气口处安装有消音器。
[0011]优选的，所述电机安装在齿轮箱上。
[0012]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：
[0013]1、本干式无油两级真空泵的壳体内集成安装有一对螺杆转子和一对罗茨转子，具有体积小的优点，且同时极大提升了真空泵的抽速和极限真空度；
[0014]2、壳体、一对螺杆转子和一对罗茨转子采取立式安装结构，各支撑件受力更加合理，拆卸清洗方便；
[0015]3、一对螺杆转子和一对罗茨转子的端部均安装有油封，实现腔体之间的密封达到干净无油的目的。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本技术实施例的立体结构示意图。
[0018]图2是图1中去掉底座、壳体、齿轮箱外壳和消音器后的内部结构示意图。
[0019]附图标记说明：
[0020]壳体1；吸气口100；
[0021]齿轮箱2；底座3；消音器4；电机5；联轴器6；
[0022]一号齿轮传动副70；二号齿轮传动副71；
[0023]一号带轮8；轴承9；油封组件10；
[0024]主动螺杆转子110；从动螺杆转子111；
[0025]同步带12；二号带轮13；
[0026]主动罗茨转子140；从动罗茨转子141。
具体实施方式
[0027]下面结合附图并通过实施例对本技术作进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0028]实施例。
[0029]参见图1至图2。
[0030]本实施例中公开了一种干式无油两级真空泵，包括壳体1、齿轮箱2、底座3、消音器4、电机5和一对螺杆转子和一对罗茨转子。
[0031]本实施例中，壳体1安装在底座3上，壳体1正面开设有吸气口100，壳体背面开设有排气口，消音器4安装在排气口处。壳体1内部空腔分为相互连通的罗茨转子腔和螺杆转子腔，罗茨转子腔靠近且连通吸气口100，螺杆转子腔靠近且连通排气口，一对罗茨转子呈立式地安装在罗茨转子腔中，一对螺杆转子呈立式地安装在螺杆转子腔中，齿轮箱2安装在壳体1顶端，电机5安装在齿轮箱2上，电机5通过齿轮箱2驱动一对螺杆转子和一对罗茨转子同步转动。立式安装结构使各支撑件受力更加合理，拆卸清洗方便。本干式无油两级真空泵的
壳体1内集成安装有一对螺杆转子和一对罗茨转子，具有体积小的优点，且同时极大提升了真空泵的抽速和极限真空度。
[0032]具体地讲，本实施例中，一对螺杆转子包括相互啮合的主动螺杆转子110和从动螺杆转子111，一对罗茨转子包括相互啮合的主动罗茨转子140和从动罗茨转子141，主动螺杆转子110、从动螺杆转子111、主动罗茨转子140和从动罗茨转子141四者的转动轴线相平行。在主动螺杆转子110、从动螺杆转子111、主动罗茨转子140和从动罗茨转子141四者的两端分别设置有油封组件10和轴承9，四者通过轴承9安装在壳体1中，油封组件10实现腔体之间的密封达到干净无油的目的。
[0033]本实施例中，齿轮箱2内布置有一号齿轮传动副70和二号齿轮传动副71，一号齿轮传动副70和二号齿轮传动副71均包括一对啮合传动的齿轮，其中一号齿轮传动副70中的两个齿轮分别安装在一对螺杆转子的上端，二号齿轮传动副71中的两个齿轮分别安装在一对罗茨转子的上端。电机5通过联轴器6与主动螺杆转子110上端连接，并在主动螺杆转子110上端安装有一号带轮8，在主动罗茨转子140的上端安装二号带轮13，一号带轮8和二号带轮13通过同步带12传动连接。
[0034]本干式无油两级真空泵的工作过程是：电机5驱动主动螺杆转子110转动，主动螺杆转子110的转动一方面通过一号齿轮传动副70带动从动螺杆转子111同步转动，另一方面通过同步带12带动主动罗茨转子140同步转动，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式无油两级真空泵，包括壳体（1）、底座（3）、齿轮箱（2）和电机（5），其特征在于：还包括一对螺杆转子和一对罗茨转子；所述壳体（1）安装在底座（3）上，壳体（1）正面开设有吸气口（100），壳体背面开设有排气口，壳体（1）内部空腔分为相互连通的罗茨转子腔和螺杆转子腔，所述罗茨转子腔靠近且连通吸气口（100），所述螺杆转子腔靠近且连通排气口，所述一对罗茨转子呈立式地安装在罗茨转子腔中，所述一对螺杆转子呈立式地安装在螺杆转子腔中；所述齿轮箱（2）安装在壳体（1）顶端，所述电机（5）通过齿轮箱（2）驱动一对螺杆转子和一对罗茨转子同步转动。2.根据权利要求1所述的干式无油两级真空泵，其特征在于：所述一对螺杆转子包括相互啮合的主动螺杆转子（110）和从动螺杆转子（111），所述一对罗茨转子包括相互啮合的主动罗茨转子（140）和从动罗茨转子（141），所述主动螺杆转子（110）、从动螺杆转子（111）、主动罗茨转子（140）和从动罗茨转子（141）四者的转动轴线相平行。3.根据权利要求2所述的干式无油两级真空泵，其特征在于：在主...

【专利技术属性】
技术研发人员：余恒顺，俞育飞，吴晓云，
申请(专利权)人：杭州萨莫雷斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：