一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括底板，所述底板的顶端安装有蒸镀箱，且所述蒸镀箱一侧的外壁上安装有真空泵，所述蒸镀箱一侧的外壁上安装有气泵，且所述气泵的输出端安装有主气管，所述底板顶端的一侧安装有控制箱，所述蒸镀箱的底部安装有蒸发源，所述蒸镀箱的内壁上滑动安装有挡板，所述蒸镀箱的顶部安装有加热器，所述蒸镀箱一侧的内壁上安装有基板，所述蒸镀箱的两内侧壁上皆安装有膜厚计，所述蒸镀箱一侧的内壁上固定有固定板。本实用新型专利技术不仅避免源材料蒸镀厚度不均的现象，提高金属薄膜的蒸镀良品率，还提升金属薄膜的蒸镀效率，减少金属薄膜在蒸镀过程中出现褶皱的现象。在蒸镀过程中出现褶皱的现象。在蒸镀过程中出现褶皱的现象。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备


[0001]本技术涉及金属薄膜蒸镀
，具体为一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。

技术介绍

[0002]蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，其中薄膜电容器在加工时需要针对内部所需的薄膜进行蒸镀，形成金属化薄膜，从而保证薄膜的特性符合薄膜电容器的生产要求。
[0003]现今市场上的此类蒸镀设备种类繁多，基本可以满足人们的使用需求，但是依然存在一定的不足之处，现有的此类蒸镀设备在使用过程中，气化后的蒸发原材料多堆积在金属薄膜的中间部位，导致金属薄膜的蒸镀厚度不一，降低了金属薄膜的制备质量，并且现有蒸镀设备中的金属薄膜易褶皱以及弯曲，需要前期充分的铺平金属薄膜，导致金属薄膜的蒸镀效率比较低，降低了蒸镀设备的加工效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，以解决上述
技术介绍
中提出蒸镀设备蒸发源气相沉底厚度不一以及金属薄膜易出现褶皱的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括底板，所述底板的顶端安装有蒸镀箱，且所述蒸镀箱一侧的外壁上安装有真空泵，所述蒸镀箱一侧的外壁上安装有气泵，且所述气泵的输出端安装有主气管，所述底板顶端的一侧安装有控制箱，所述蒸镀箱的底部安装有蒸发源，所述蒸镀箱的内壁上滑动安装有挡板，所述蒸镀箱的顶部安装有加热器，所述蒸镀箱一侧的内壁上安装有基板，所述蒸镀箱的两内侧壁上皆安装有膜厚计，所述蒸镀箱一侧的内壁上固定有固定板，且所述固定板设置有两组，固定板的表面开设有张紧结构，所述固定板的两侧外壁上皆固定有支板，所述蒸镀箱一侧的外壁上安装有控制面板，控制面板内部单片机的输出端分别与真空泵和气泵的输入端电性连接。
[0006]优选的，所述蒸镀箱的顶端固定有副气管,副气管与主气管的一端相互连接，所述副气管的两端皆安装有连通管。
[0007]优选的，所述蒸镀箱顶部的两侧皆固定有固定套，且所述固定套的内部安装有导通管，所述导通管的两端皆安装有U型管，U型管与连通管相互连接。
[0008]优选的，所述支板表面的两侧皆转动安装有主张紧辊，且所述主张紧辊共设有八组，所述蒸镀箱一侧的外壁上安装有电机,电机的输出端与其中一组主张紧辊的一端相互连接。
[0009]优选的，所述张紧结构的内部包括固定座，所述固定座的背面与固定板的表面固定连接。
[0010]优选的，所述固定座的底端活动安装有电动推杆，所述固定板的底端固定有连接板。
[0011]优选的，所述连接板的表面滑动安装有滑动座，且所述滑动座的表面转动安装有副张紧辊。
[0012]优选的，所述滑动座的顶端与电动推杆的活塞杆底端活动连接。
[0013]优选的，所述导通管的底端安装有等间距的分流管，且所述分流管的底端安装有蒸镀喷头。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备不仅避免源材料蒸镀厚度不均的现象，提高金属薄膜的蒸镀良品率，还提升金属薄膜的蒸镀效率，减少金属薄膜在蒸镀过程中出现褶皱的现象；
[0015](1)通过设置有气泵和导通管等配合的结构，工作人员通过气泵工作，则气泵将气体依次通过主气管、副气管等泵入导通管的内部，通过多组分流管进行气体分流处理，使得气体通过蒸镀喷头喷出，从而混合蒸镀箱内部的蒸发源材料，使得蒸发源材料气化更加均匀，从而均匀的气相沉积在主张紧辊、副张紧辊缠绕的金属薄膜上，避免源材料蒸镀厚度不均的现象，提高金属薄膜的蒸镀良品率；
[0016](2)通过设置有主张紧辊和电机等配合的结构，电机带动主张紧辊进行转动，此时主张紧辊带动金属薄膜进行转动，多组主张紧辊对金属薄膜进行张紧、支撑，从而使得薄膜充分、均匀的沉积源材料，提升金属薄膜的蒸镀效率；
[0017](3)通过设置有滑动座和滑动座等配合的结构，电动推杆推动滑动座以及副张紧辊下行，连接板对滑动座的滑动起到限位、导向的作用，此时副张紧辊对金属薄膜再次张紧，减少金属薄膜在蒸镀过程中出现褶皱的现象。
附图说明
[0018]图1为本技术的主视结构示意图；
[0019]图2为本技术的侧视剖面结构示意图；
[0020]图3为本技术的张紧结构结构示意图；
[0021]图4为本技术图2中A处放大结构示意图；
[0022]图5为本技术的U型管侧视结构示意图；
[0023]图中：1、底板；2、蒸镀箱；3、真空泵；4、控制面板；5、气泵；501、主气管；6、固定板；601、电机；7、支板；8、主张紧辊；9、蒸发源；10、挡板；11、控制箱；12、膜厚计；13、基板；14、加热器；15、副气管；16、张紧结构；1601、固定座；1602、电动推杆；1603、连接板；1604、滑动座；1605、副张紧辊；17、固定套；18、导通管；19、U型管；20、连通管；21、分流管；22、蒸镀喷头。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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5，本技术提供的一种实施例：一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括底板1，底板1的顶端安装有蒸镀箱2，且蒸镀箱2一侧的外壁上安装有真空泵3，
该真空泵3的型号可为FY
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1C，真空泵3使得蒸镀箱2呈真空，蒸镀箱2一侧的外壁上安装有气泵5，且气泵5的输出端安装有主气管501，蒸镀箱2的顶端固定有副气管15,副气管15与主气管501的一端相互连接，副气管15的两端皆安装有连通管20，底板1顶端的一侧安装有控制箱11，蒸镀箱2的底部安装有蒸发源9，蒸镀箱2的内壁上滑动安装有挡板10，蒸镀时再移开挡板10；
[0026]蒸镀箱2的顶部安装有加热器14，蒸镀箱2一侧的内壁上安装有基板13，在高真空状态下加热器14加热基板13，使基板13的表面吸附的气体脱附，然后经蒸镀箱2抽气排出真空室，有利于提高蒸镀箱2真空度、膜层纯度和膜基结合力；
[0027]蒸镀箱2顶部的两侧皆固定有固定套17，且固定套17的内部安装有导通管18，导通管18的底端安装有等间距的分流管21，且分流管21的底端安装有蒸镀喷头22，导通管18的两端皆安装有U型管19，U型管19与连通管20相互连接；
[0028]通过气泵5工作，则气泵5将气体依次通过主气管501、副气管15以及连通管20、U型管19泵入导通管18的内部，通过多组分流管21进行气体分流处，使得气体通过蒸镀喷头22喷出；
[0029]使得蒸发源材料气化更加均匀，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的顶端安装有蒸镀箱(2)，且所述蒸镀箱(2)一侧的外壁上安装有真空泵(3)，所述蒸镀箱(2)一侧的外壁上安装有气泵(5)，且所述气泵(5)的输出端安装有主气管(501)，所述底板(1)顶端的一侧安装有控制箱(11)，所述蒸镀箱(2)的底部安装有蒸发源(9)，所述蒸镀箱(2)的内壁上滑动安装有挡板(10)，所述蒸镀箱(2)的顶部安装有加热器(14)，所述蒸镀箱(2)一侧的内壁上安装有基板(13)，所述蒸镀箱(2)的两内侧壁上皆安装有膜厚计(12)，所述蒸镀箱(2)一侧的内壁上固定有固定板(6)，且所述固定板(6)设置有两组，固定板(6)的表面开设有张紧结构(16)，所述固定板(6)的两侧外壁上皆固定有支板(7)，所述蒸镀箱(2)一侧的外壁上安装有控制面板(4)，控制面板(4)内部单片机的输出端分别与真空泵(3)和气泵(5)的输入端电性连接。2.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱(2)的顶端固定有副气管(15),副气管(15)与主气管(501)的一端相互连接，所述副气管(15)的两端皆安装有连通管(20)。3.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱(2)顶部的两侧皆固定有固定套(17)，且所述固定套(17)的内部安装有导通管(18)，所述导通管(18)...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪祥久，杨启忠，周兵，陈占龙，
申请(专利权)人：昆山泓电隆泰电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：