一种真空镀膜机的镀膜腔制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的镀膜腔，包括腔体，所述腔体包括立式的中间腔体，中间腔体的底部固定有用于安装镀膜机的坩埚和电子枪的下腔体，中间腔体的顶部固定有用于自转架的上腔体，中间腔体的侧面设置有用于连接冷却腔室的冷却管接头，中间腔体的内壁上还可拆卸固定有若干块防护板，各防护板覆盖所述镀膜腔的整个内壁，所述镀膜腔的内壁和防护板之间还设置有电加热板，所述中间腔体的侧壁上设置有检修门。该真空镀膜机的镀膜腔能够在真空形成的过程中进行辅助加热，使镀膜腔内尽可能的干燥，同时对镀膜腔的内壁起到很好的防护。同时对镀膜腔的内壁起到很好的防护。同时对镀膜腔的内壁起到很好的防护。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的镀膜腔


[0001]本技术涉及一种镀膜腔，尤其涉及一种真空镀膜机上的镀膜腔。

技术介绍

[0002]真空镀膜机是半导体材料制作过程中一种常用的设备，目前主要有电子束蒸发法，其主要原理是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基片移动，在基底上凝结形成薄膜的方法。电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发。电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，蒸发热效率高、束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。
[0003]例如专利号为202021011689.5公开了一种电子束蒸发台蒸发工艺腔体，这个腔体连接冷泵用来制冷提供真空，冷泵提供真空的原理是：冷泵的冷板温度降低，水份和气体就会附着在冷板上而冷凝成液态，此时冷板周围的气体减少，由于压差的作用，其他地方的气体会陆续向冷板移动，最终将整个腔体内的气体和水份都冷凝成液体，使其内部达到所需的真空度，然而结构存在以下缺点：
[0004]1、目前的这个工艺腔体在进行真空镀膜时，腔体的内壁上也都会镀上金属膜层，而工艺腔体的内部就会比较脏，难清理；
[0005]2、目前的这种工艺腔体是通过一个冷泵抽气管道连接，因此，当内部温度非常低，可能导致工艺腔体内部的一些水份会附着在一些隐藏的角落而不会被抽吸走，这样在进行蒸发时，这些水份就又会气化而直接影响真空镀膜的质量。

技术实现思路

[0006]本技术所要解决的技术问题是：提供一种真空镀膜机的镀膜腔，该真空镀膜机的镀膜腔能够在真空形成的过程中进行辅助加热，使镀膜腔内尽可能的干燥，同时对镀膜腔的内壁起到很好的防护。
[0007]为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种真空镀膜机的镀膜腔，包括腔体，所述腔体包括立式的中间腔体，所述中间腔体的底部固定有用于安装镀膜机的坩埚和电子枪的下腔体，所述中间腔体的顶部固定有用于自转架的上腔体，所述中间腔体的侧面设置有用于连接冷却腔室的冷却管接头，所述中间腔体的内壁上还可拆卸固定有若干块防护板，各防护板覆盖所述镀膜腔的整个内壁，所述镀膜腔的内壁和防护板之间还设置有电加热板，所述中间腔体的侧壁上设置有检修门。
[0008]作为一种优选的方案，所述镀膜腔的内壁上设置有若干个连接螺柱，每个电加热板和防护板上均设置有与连接螺柱对应的安装孔，所述连接螺柱贯穿电加热板和防护板上的所述安装孔后并通过螺母压紧。
[0009]作为一种优选的方案，所述的镀膜腔的侧壁上还设置有安装腔室，所述安装腔室
上固定有冷头和与冷头相连接的冷凝板，所述冷凝板处于安装腔室内，所述安装腔室上滑动安装有将安装腔室封堵或打开的封堵防护板，该封堵防护板由开闭动力装置驱动。
[0010]作为一种优选的方案，所述检修门铰接于所述镀膜腔的外壁上，所述检修门上设置有观察视镜，所述检修门上还设置有操作窗口，所述检修门上铰接有将操作窗口关闭或打开的操作门。
[0011]作为一种优选的方案，所述下腔体包括下封板和底板，所述下封板位于底板的上方且两者通过支撑螺柱连接，所述坩埚和电子枪设置于底板和下封板之间，该下封板上设置有与坩埚位置对应的逸出孔，所述底板可拆卸固定于中间腔体的下端。
[0012]作为一种优选的方案，所述中间腔室或上腔室的侧壁上还设置有用于氮气供应系统联通的破空管接口。
[0013]采用了上述技术方案后，本技术的效果是：由于该镀膜腔包括腔体，所述腔体包括立式的中间腔体，所述中间腔体的底部固定有用于安装镀膜机的坩埚和电子枪的下腔体，所述中间腔体的顶部固定有用于自转架的上腔体，所述中间腔体的侧面设置有用于连接冷却腔室的冷却管接头，所述中间腔体的内壁上还可拆卸固定有若干块防护板，各防护板覆盖所述镀膜腔的整个内壁，所述镀膜腔的内壁和防护板之间还设置有电加热板，所述中间腔体的侧壁上设置有检修门，该镀膜腔首先利用防护板，可以对内壁进行防护，避免蒸发过程中金属蒸气直接接触内壁，这样清理更方便，同时防护板也留给了电加热板足够的安装空间，电加热板可以对镀膜腔内进行加热，加热的过程中会对冷凝在角落中的水份加热，使其变成水蒸气，这样镀膜腔抽真空时水蒸气更容易被抽出，彻底的使镀膜腔内的真空度满足要求，同时还能保持足够的干燥，使真空镀膜的效果更稳定。
[0014]又由于所述镀膜腔的内壁上设置有若干个连接螺柱，每个电加热板和防护板上均设置有与连接螺柱对应的安装孔，所述连接螺柱贯穿电加热板和防护板上的所述安装孔后并通过螺母压紧，采用该结构可以方便安装和拆卸防护板和电加热板。
[0015]又由于所述的镀膜腔的侧壁上还设置有安装腔室，所述安装腔室上固定有冷头和与冷头相连接的冷凝板，所述冷凝板处于安装腔室内，所述安装腔室上滑动安装有将安装腔室封堵或打开的封堵防护板，该封堵防护板由开闭动力装置驱动，由于还设置了安装腔室，可以方便冷凝板的安装，而冷凝板与冷头相连，在形成真空的过程中，封堵防护板会打开，这样，使安装腔室打开，冷凝板就能够起作用，从而直接对镀膜腔内进行冷却，镀膜腔内的水分和气体就会与冷凝板接触而液化，而冷却腔室也是连接冷泵的，因此，冷凝板配合冷泵可以更快速的形成真空。
[0016]又由于所述检修门铰接于所述镀膜腔的外壁上，所述检修门上设置有观察视镜，所述检修门上还设置有操作窗口，所述检修门上铰接有将操作窗口关闭或打开的操作门，因此，检修或者清理防护板时可以打开检修门进行操作，而操作门则可以方便补充坩埚内的靶材。
[0017]又由于所述下腔体包括下封板和底板，所述下封板位于底板的上方且两者通过支撑螺柱连接，所述坩埚和电子枪设置于底板和下封板之间，该下封板上设置有与坩埚位置对应的逸出孔，所述底板可拆卸固定于中间腔体的下端，采用上述的结构，首先，坩埚和电子枪可以有效的被防护，同时，可以将底板与中间腔体拆卸，从而可以整体将上封板、底板、坩埚和电子枪一起取下，方便对电子枪、坩埚进行维护检修。
附图说明
[0018]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0019]图1是本技术实施例的结构立体图；
[0020]图2是本技术实施例的另一个角度的立体图；
[0021]图3是隐藏了上腔体的俯视图；
[0022]图4是图3在A
‑
A处的剖视图；
[0023]图5是旋转90
°
后的图3在B
‑
B处的剖视图；
[0024]图6是坩埚和电子枪安装于底板时的立体图；
[0025]附图中：1.中间腔体；2.上腔体；3.下腔体；4.安装腔室；5.冷却管接头；6.检修门；7.观察视镜；8.破空管接口；9.冷头；10.开闭动力装置； 11.操作门；12.封堵防护板；13.冷凝板；14.防护板；15.电加热板；16. 连接螺柱；17.底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的镀膜腔，包括腔体，其特征在于：所述腔体包括立式的中间腔体，所述中间腔体的底部固定有用于安装镀膜机的坩埚和电子枪的下腔体，所述中间腔体的顶部固定有用于自转架的上腔体，所述中间腔体的侧面设置有用于连接冷却腔室的冷却管接头，所述中间腔体的内壁上还可拆卸固定有若干块防护板，各防护板覆盖所述镀膜腔的整个内壁，所述镀膜腔的内壁和防护板之间还设置有电加热板，所述中间腔体的侧壁上设置有检修门。2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的镀膜腔，其特征在于：所述镀膜腔的内壁上设置有若干个连接螺柱，每个电加热板和防护板上均设置有与连接螺柱对应的安装孔，所述连接螺柱贯穿电加热板和防护板上的所述安装孔后并通过螺母压紧。3.如权利要求2所述的一种真空镀膜机的镀膜腔，其特征在于：所述的镀膜腔的侧壁上还设置有安装腔室，所述安装腔室上固定有冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨涛，陆瑞珠，
申请(专利权)人：江苏晋誉达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：