一种镀膜机的蒸发源盖板制造技术

本实用新型专利技术涉及一种镀膜机的蒸发源盖板，属于镀膜机技术领域。盖板包括平板、承载件和衬套，平板一侧设置有矩形槽，矩形槽内设置有承载件，承载件内设置有衬套，衬套一侧设置有开口。本实用新型专利技术结构简单，操作方便，有效的解决膜料污染和膜料卡坩埚的问题，同时降低了成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机的蒸发源盖板


[0001]本技术涉及一种镀膜机的蒸发源盖板，属于镀膜机


技术介绍

[0002]光学镀膜技术从问世以来得到快速的发展，镀膜的方式更加多样化，从成膜形态来说可以分为液体镀膜和气体镀膜两种。气体镀膜分为PVD和CVD两种，PVD一般又分为蒸发、溅射、离子镀等。电子束蒸发属于蒸发的一种，其具有成膜速率快，蒸镀灵活，成本相对较低等优点，在镀膜行业中被广泛的应用到各种领域，如光学、电子学、半导体、汽车、手机和工艺品等领域。
[0003]电子束镀膜机的蒸发源上方一般都会装有盖板，主要作用是为了防止膜料被污染。为了满足蒸镀多种膜料的使用要求，坩埚台常被设计成多点位式结构。常规的盖板在镀膜过程中存在以下问题：1、盖板与坩埚之间的间隙太小，有些膜料蒸镀时发生形变凸起，造成坩埚台旋转时被卡住；盖板与坩埚台的间隙太大，镀膜时相邻坩埚点位中的膜料会相互污染。2、盖板是一个整体结构，上面有一个便于蒸发膜料的倒锥型口。随着打磨次数增加，倒锥型口的尺寸会逐渐增大，最终将无法完全遮挡蒸镀时的坩埚点位，导致污染相邻点位的膜料，需要定期整体更换盖板。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供一种镀膜机的蒸发源盖板，结构简单，操作方便，有效的解决膜料污染和膜料卡坩埚的问题，同时降低了成本。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]一种镀膜机的蒸发源盖板，包括平板、承载件和衬套，平板一侧设置有矩形槽，矩形槽内设置有承载件，承载件内设置有衬套，衬套一侧设置有开口。
[0007]优选的，承载件一侧设置有弧形开口，弧形开口与衬套开口重合。
[0008]优选的，衬套内侧为倒圆锥型，外侧为圆柱型。
[0009]进一步优选的，衬套上边缘设置有凸沿，方便安装在承载件上。
[0010]优选的，承载件一侧设置有连接杆，连接杆通过固定件连接有轴。
[0011]进一步优选的，固定件包括2个固定块，2个固定块一侧均设置有半圆弧形开口，2个固定块螺栓连接，通过2个半圆弧形开口闭合来夹紧轴。
[0012]优选的，矩形槽内环绕设置有台阶，方便承载安装承载件。
[0013]上述镀膜机的蒸发源盖板的使用方法，操作步骤如下：
[0014](1)将轴安装在镀膜机的气缸上，通过气缸的运动调整轴的升降高度，转动坩埚前，升高轴，从而抬高衬套；
[0015](2)清理坩埚，并添加磨料；
[0016](3)降低轴的高度，使衬套落在坩埚台的坩埚点位上，进行镀膜。
[0017]本技术的有益效果在于：
[0018]1、本技术提供一种镀膜机的蒸发源盖板，结构简单，操作方便，有效的解决膜料污染和膜料卡坩埚的问题，同时降低了成本。
[0019]2、本技术蒸发源处的衬套磨损严重时，只需要更换衬套即可，无需更换整个盖板，成本大幅度降低。
附图说明
[0020]图1本技术的结构示意图。
[0021]图2为本技术的平板结构示意图。
[0022]图3为本技术的承载件结构示意图。
[0023]图4为本技术的衬套结构示意图。
[0024]图5为本技术的连接杆结构示意图。
[0025]图6为本技术的固定件结构示意图。
[0026]图7为本技术的轴结构示意图。
[0027]图中：1、平板；2、承载件；3、衬套；4、连接杆；5、固定件；6、轴；7、坩埚台；
[0028]11、台阶；12、槽；
[0029]21、台阶；22、槽；23、螺纹孔；24、弧形开口；
[0030]31、凸沿；
[0031]41、螺纹孔；
[0032]51、槽；52、螺纹孔；53、螺纹孔；54、半圆弧形开口；55、通孔。
具体实施方式
[0033]下面通过实施例并结合附图对本技术做进一步说明，但不限于此。
[0034]实施例1：
[0035]如图1
‑
7所示，本实施例提供一种镀膜机的蒸发源盖板，包括平板1、承载件2和衬套3，平板1一侧设置有矩形槽，矩形槽内设置有承载件2，承载件2内设置有衬套3，衬套3一侧设置有开口，整体为不闭合状态，开口可以更好的聚焦电子。
[0036]承载件2一侧设置有弧形开口24，弧形开口24与衬套开口重合，衬套开口开在弧形开口内，如图1所示。
[0037]衬套3内侧为倒圆锥型，外侧为圆柱型。倒圆锥型是为了不影响蒸发角度，外侧圆柱型是为了放置到坩埚台的坩埚点位上。
[0038]承载件2一侧设置有连接杆4，连接杆4通过固定件5连接有轴6，承载件2上设置有槽22，槽22内设置有螺纹孔23，平板上设置有槽12，连接杆4为长条形，通过螺栓置于槽22和槽12内。
[0039]固定件5包括2个固定块，2个固定块一侧均设置有半圆弧形开口54，2个固定块螺栓连接，通过2个半圆弧形开口闭合来夹紧轴。1个固定块上设置有槽51，槽51内设置有螺纹孔52，连接杆4通过螺栓置于槽51内。
[0040]上述镀膜机的蒸发源盖板的使用方法，操作步骤如下：
[0041](1)将轴安装在镀膜机的气缸上，通过气缸的运动调整轴的升降高度，转动坩埚前，升高轴，从而抬高衬套；
[0042](2)清理坩埚，并添加磨料；
[0043](3)降低轴的高度，使衬套落在坩埚台7的坩埚点位上，进行镀膜，通过调整衬套高度避免了传统工艺中出现的的盖板与坩埚间隙太大或太小的问题。
[0044]实施例2：
[0045]一种镀膜机的蒸发源盖板，结构如实施例1所述，不同之处在于，衬套3上边缘设置有凸沿31，方便安装在承载件上。
[0046]实施例3：
[0047]一种镀膜机的蒸发源盖板，结构如实施例1所述，不同之处在于，矩形槽内环绕设置有台阶11，承载件上环绕设置有台阶21，通过台阶11和台阶21配合安装承载件。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，包括平板、承载件和衬套，平板一侧设置有矩形槽，矩形槽内设置有承载件，承载件内设置有衬套，衬套一侧设置有开口。2.如权利要求1所述的镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，承载件一侧设置有弧形开口，弧形开口与衬套开口重合。3.如权利要求1所述的镀膜机的蒸发源盖板，其特征在于，衬套内侧为倒圆锥型，外侧为圆柱型。4.如权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷方军，崔庆尚，苏建，于传帅，司劲男，
申请(专利权)人：山东华光光电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：