本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，涉及一种搬运装置、晶圆加工设备及晶圆共心调整方法。搬运装置包括搬运组件、多组能量检测组件和多组对中调节组件，搬运组件能够将环切后的晶圆从上游工位搬运至解胶工作台，多组能量检测组件在解胶工作台的上方以解胶工作台为圆心呈圆周间隔排布，多组能量检测组件围成的圆周与晶圆环形切割道的圆周大小相同，能量检测组件用于检测UV灯照射的UV能量，多组对中调节组件在搬运组件上围绕晶圆呈圆周间隔排布，对中调节组件能够推动晶圆相对解胶工作台移动，以使各个能量检测组件均能够检测到UV能量，保证晶圆与解胶工作台共心。晶圆加工设备及晶圆共心调整方法应用上述搬运装置，保证晶圆与解胶工作台共心。作台共心。作台共心。
【技术实现步骤摘要】
一种搬运装置、晶圆加工设备及晶圆共心调整方法
[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种搬运装置、晶圆加工设备及晶圆共心调整方法。
技术介绍
[0002]在半导体制造中，晶圆往往需要减薄以提高器件的性能，晶圆减薄后还需要对晶圆边缘的支撑环进行切割去除。晶圆减薄工艺包括太鼓(Taiko)减薄工艺，太鼓减薄工艺为对晶圆的中间区域进行减薄，晶圆的边缘区域不减薄而作为支撑环，当完成对晶圆中间区域的减薄后，需要在晶圆上对支撑环进行切割，使得支撑环与晶圆之间产生环形切割道，由于晶圆的背面贴附有UV膜，支撑环被环切后仍会粘附在UV膜上，需要利用晶圆加工设备上的搬运装置将环切后的晶圆从上游工位搬运至解胶工作台，从而对粘附在UV膜上支撑环进行解胶，以便于从UV膜上分离支撑环。
[0003]解胶工作台的下方设置有UV灯，当搬运装置将晶圆放置到解胶工作台上时，解胶工作台仅承载中间减薄区域的晶圆，晶圆外周上的环形切割道和支撑环均伸出解胶工作台，使得解胶工作台下方的UV灯恰好能够照射环形切割道和支撑环部位粘贴的UV膜，从而降低UV膜的粘性，便于实现支撑环与UV膜的分离。现有的搬运装置在搬运晶圆的过程，由于机台组装误差或长期工作后的磨损误差，搬运装置将环切后的晶圆放置在解胶工作台上时，难以确保晶圆与解胶工作台共心，使得部分环形切割道和支撑环部位粘贴的UV膜受到解胶工作台的遮挡，无法接受UV灯的照射，无法实现解胶，降低了对支撑环的解胶效果，影响后续在UV膜上分离支撑环，并且在分离支撑环的过程中容易损伤支撑环。
[0004]因此，亟需专利技术一种搬运装置、晶圆加工设备及晶圆共心调整方法，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种搬运装置、晶圆加工设备及晶圆共心调整方法，以使环切后的晶圆精准放置在解胶工作台上，保证晶圆与解胶工作台共心，提高对支撑环的解胶效果。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种搬运装置，包括：搬运组件，所述搬运组件能够将环切后的晶圆从上游工位搬运至解胶工作台；多组能量检测组件，位于所述解胶工作台的上方，多组所述能量检测组件以所述解胶工作台为圆心呈圆周间隔排布，并且多组所述能量检测组件围成的圆周与环切后所述晶圆的环形切割道的圆周大小相同，所述能量检测组件被配置为检测位于所述解胶工作台下方的UV灯透过所述环形切割道照射的UV能量；以及多组对中调节组件，设置在所述搬运组件上，多组所述对中调节组件围绕环切后的所述晶圆呈圆周间隔排布，多组所述对中调节组件能够根据各个所述能量检测组件的能
量检测结果推动环切后的所述晶圆相对所述解胶工作台移动，以使各个所述能量检测组件均能够检测到所述UV能量。
[0007]作为优选方案，所述对中调节组件包括：连接板，设置在所述搬运组件上；第一驱动件，设置在所述连接板上；以及调节卡爪，所述第一驱动件能够驱动所述调节卡爪推动环切后的所述晶圆相对所述解胶工作台移动，以使环切后的所述晶圆与所述解胶工作台共心。
[0008]作为优选方案，所述对中调节组件位于所述解胶工作台的上方，多组所述能量检测组件对应设置在各个所述连接板上；或多组所述能量检测组件设置在所述解胶工作台上方的盖板上。
[0009]作为优选方案，所述搬运装置还包括：压力检测组件，每组所述调节卡爪上均设置有所述压力检测组件，所述压力检测组件被配置为检测所述调节卡爪与水平载台之间的压力值；以及水平调节组件，每组所述第一驱动件上均设置有所述水平调节组件，所述水平调节组件能够根据所述压力检测组件检测的所述压力值调节所述调节卡爪与所述水平载台的间距，以使多组所述调节卡爪所处的工作面与所述水平载台的承载面相平行。
[0010]作为优选方案，所述水平调节组件包括：安装板，设置在所述第一驱动件上；第二驱动件，设置在所述安装板上，所述第二驱动件的输出端与所述调节卡爪相连接，所述第二驱动件能够根据所述压力检测组件检测的所述压力值驱动所述调节卡爪朝靠近或远离所述水平载台的方向移动。
[0011]作为优选方案，所述水平调节组件还包括：导向件，所述导向件包括滑动连接的导轨以及滑块，所述导轨设置在所述安装板上，并且沿所述第二驱动件驱动所述调节卡爪移动的方向延伸，所述滑块设置在所述调节卡爪上。
[0012]作为优选方案，所述搬运组件包括：搬运件，所述对中调节组件设置在所述搬运件上；以及吸盘，设置在所述搬运件上，所述搬运件能够带动所述吸盘运动，以使所述吸盘吸附环切后的所述晶圆从所述上游工位搬运至所述解胶工作台。
[0013]一种晶圆加工设备，包括如上所述的搬运装置。
[0014]一种晶圆共心调整方法，应用如上所述的搬运装置对环切后的所述晶圆在所述解胶工作台上进行共心调整，包括如下步骤：开启UV灯；判断各个所述能量检测组件是否均能够检测到所述UV灯发射的UV能量；若存在未检测到所述UV能量的能量检测组件，则多组所述对中调节组件根据各个所述能量检测组件的能量检测结果推动环切后的所述晶圆相对所述解胶工作台移动，直至各个所述能量检测组件均能够检测到所述UV能量。
[0015]作为优选方案，若各个所述能量检测组件均能够检测到所述UV能量，则闭合所述UV灯。
[0016]本专利技术的有益效果：本专利技术提供了一种搬运装置，该搬运装置包括搬运组件、多组能量检测组件和多组对中调节组件，搬运组件能够将环切后的晶圆从上游工位搬运至解胶工作台，多组能量检测组件在解胶工作台的上方以解胶工作台为圆心呈圆周间隔排布，多组能量检测组件围成的圆周与晶圆环形切割道的圆周大小相同，能量检测组件用于检测位于解胶工作台下方的UV灯透过环形切割道照射的UV能量，多组对中调节组件在搬运组件上围绕晶圆呈圆周间隔排布，对中调节组件能够推动晶圆相对解胶工作台移动，以使各个能量检测组件均能够检测到UV能量，从而保证晶圆与解胶工作台共心，保证支撑环的各个部位均能实现解胶，提高了UV灯的解胶效果，便于在后续过程中分离支撑环，避免支撑环在分离过程中破损。
[0017]本专利技术还提供了一种晶圆加工设备，通过应用上述搬运装置，保证了晶圆与解胶工作台共心，保证支撑环的各个部位均能实现解胶，提高了UV灯的解胶效果，便于在后续过程中分离支撑环，避免支撑环在分离过程中破损。
[0018]本专利技术还提供了一种晶圆共心调整方法应用，通过应用上述搬运装置对环切后的晶圆在解胶工作台上进行共心调整，保证晶圆与解胶工作台共心，保证支撑环的各个部位均能实现解胶，提高了UV灯的解胶效果，便于在后续过程中分离支撑环，避免支撑环在分离过程中破损。
附图说明
[0019]图1是本专利技术实施例提供的部分搬运装置的俯视图；图2是本专利技术实施例提供的搬运装置的结构示意图一；图3是本专利技术实施例提供的搬运装置的结构示意图二；图4是本专利技术实施例提供的晶圆共心调整方法的流程图。
[0020]图中：100、搬运装置；200、晶圆；201、环形切割道；202、支撑环；300、解胶工作台；400、UV灯；500、水平载台；600、U本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种搬运装置，其特征在于，包括：搬运组件（1），所述搬运组件（1）能够将环切后的晶圆（200）从上游工位搬运至解胶工作台（300）；多组能量检测组件（3），位于所述解胶工作台（300）的上方，多组所述能量检测组件（3）以所述解胶工作台（300）为圆心呈圆周间隔排布，并且多组所述能量检测组件（3）围成的圆周与环切后所述晶圆（200）的环形切割道（201）的圆周大小相同，所述能量检测组件（3）被配置为检测位于所述解胶工作台（300）下方的UV灯（400）透过所述环形切割道（201）照射的UV能量；以及多组对中调节组件（2），设置在所述搬运组件（1）上，多组所述对中调节组件（2）围绕环切后的所述晶圆（200）呈圆周间隔排布，多组所述对中调节组件（2）能够根据各个所述能量检测组件（3）的能量检测结果推动环切后的所述晶圆（200）相对所述解胶工作台（300）移动，以使各个所述能量检测组件（3）均能够检测到所述UV能量。2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述对中调节组件（2）包括：连接板（21），设置在所述搬运组件（1）上；第一驱动件（22），设置在所述连接板（21）上；以及调节卡爪（23），所述第一驱动件（22）能够驱动所述调节卡爪（23）推动环切后的所述晶圆（200）相对所述解胶工作台（300）移动，以使环切后的所述晶圆（200）与所述解胶工作台（300）共心。3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述对中调节组件（2）位于所述解胶工作台（300）的上方，多组所述能量检测组件（3）对应设置在各个所述连接板（21）上；或多组所述能量检测组件（3）设置在所述解胶工作台（300）上方的盖板上。4.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置还包括：压力检测组件（4），每组所述调节卡爪（23）上均设置有所述压力检测组件（4），所述压力检测组件（4）被配置为检测所述调节卡爪（23）与水平载台（500）之间的压力值；以及水平调节组件（5），每组所述第一驱动件（22）上均设置有所述水平调节组件（5），所述水平调节组件（5）能够根据所述压力检测组件（4）检测的所述压力值调节所述调节卡爪（2...
【专利技术属性】
技术研发人员：高阳，葛凡，张宁宁，周鑫，蔡国庆，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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