本实用新型专利技术专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，涂胶显影机包括用于吸附晶圆的吸盘和用于对晶圆进行涂胶的喷嘴组件。喷嘴组件包括多个呈并列设置的喷嘴，喷嘴夹持装置包括夹持机构和调节机构。夹持机构具有一夹持部，每一喷嘴均设有一和夹持部相限位配合的对接部。调节机构驱动连接于夹持机构远离夹持部的一端。其中，调节机构用于驱动夹持部对接于任一喷嘴的对接部，并将喷嘴输送至吸盘的上方位置，以对吸附于吸盘上的晶圆进行涂胶，及在涂胶结束后，将喷嘴送回至初始位置。本实用新型专利技术提供的用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，能够大大提高喷嘴在使用过程中的稳定性，从而实现对吸附于吸盘上的晶圆进行精准涂胶。现对吸附于吸盘上的晶圆进行精准涂胶。现对吸附于吸盘上的晶圆进行精准涂胶。
【技术实现步骤摘要】
用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置
[0001]本技术涉及半导体制造
，尤指一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置。
技术介绍
[0002]在半导体器件制造和先进封装工艺中，光刻工艺是指在基板上，如半导体晶圆上依次经过光刻胶涂敷、曝光、显影等处理，将光刻掩膜板上设计好的图案转移到基板表面膜层中的过程。光刻胶涂敷过程中，通过在基板表面涂敷光刻胶液并对所涂敷的光刻胶液进行加热处理形成光刻胶膜层，然后再通过曝光显影工艺在基板表面的光刻胶层中形成规定的图案结构。
[0003]现有通常的做法是通过人工操作喷嘴来对准于吸盘上的晶圆进行涂胶程序，然而，由于该种涂胶方式很容易因为工作人员的失误或者因长时间工作而导致的手部疲劳致使喷嘴在喷胶过程中出现位置上的偏移或者晃动，使得晶圆表层的胶水涂覆不均匀，以影响晶圆的良品率。
[0004]基于此，市场上出现了通过设置夹持臂来夹取工装上的喷嘴，并将喷嘴输送至邻近于吸盘的位置以对晶圆进行涂胶。然而，机械臂是通过人工控制的，其具体的运动路径存在人为的主观性，因此很容易致使喷嘴和晶圆的位置出现误差，如此会导致涂胶效果变差。且夹持臂在夹持喷嘴的过程中，两者连接的稳固性不强，很容易致使喷嘴从夹持臂上脱落，从而影响涂胶进程，甚至带来安全隐患。
[0005]因此，基于现有技术中存在的缺陷，如何有效提高喷嘴在使用过程中的稳定性，以确保喷嘴能够对吸附于吸盘上的晶圆进行精准涂胶，一直是本领域普通技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0006]本技术的目的是提供一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，能够大大提高喷嘴在使用过程中的稳定性，从而实现对吸附于吸盘上的晶圆进行精准涂胶。
[0007]本技术提供的技术方案如下：
[0008]一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，所述涂胶显影机包括用于吸附晶圆的吸盘和用于对所述晶圆进行涂胶的喷嘴组件，所述喷嘴组件包括多个呈并列设置的喷嘴，所述喷嘴夹持装置包括：
[0009]夹持机构，具有一夹持部；
[0010]每一所述喷嘴均设有一和所述夹持部相限位配合的对接部；
[0011]调节机构，驱动连接于所述夹持机构远离所述夹持部的一端；
[0012]其中，所述调节机构用于驱动所述夹持部对接于任一所述喷嘴的对接部，并将所述喷嘴输送至所述吸盘的上方位置，以对吸附于所述吸盘上的晶圆进行涂胶，及在涂胶结束后，将所述喷嘴送回至初始位置。
[0013]本专利中，喷嘴组件上的多个喷嘴可用于喷涂不同类型的胶水，且每一喷嘴均能够从喷嘴组件上单独取放，以供选取。通过在每一喷嘴上均设置一对接部，然后通过调节机构驱动夹持机构运动，使得夹持部能够精准地实现和对接部的限位配合，以实现对喷嘴的夹取。然后通过调节机构定向地将该喷嘴输送至吸盘的上方位置，以对晶圆进行涂胶。通过将调节机构设置为定向输送方式可精准地将喷嘴输送至涂胶位置，不会存在位置的偏差。在涂胶结束后，调节机构进而将涂胶后的喷嘴定向地输送至喷嘴组件上预设的位置。本专利通过夹持部和对接部的精准配合，能够大大提高夹持机构和喷嘴的对接强度，使得喷嘴不会轻易从夹持机构上脱落，从而可大大提高喷嘴在使用过程中的稳定性，以实现对吸附于吸盘上的晶圆进行精准涂胶。
[0014]进一步优选地，所述夹持机构还具有一机械臂；
[0015]所述机械臂的一端驱动连接于所述调节机构，其另一端设有所述夹持部。
[0016]进一步优选地，所述夹持部包括一第一气缸和两夹爪；
[0017]所述第一气缸安装于所述机械臂的端部；
[0018]两所述夹爪驱动连接于所述第一气缸，且相对设置；
[0019]在所述第一气缸的驱动下，两所述夹爪发生相对或相背运动；
[0020]及所述对接部包括一开设于所述喷嘴的限位槽；
[0021]当两所述夹爪延伸至所述限位槽内时，所述第一气缸驱动两所述夹爪发生相对或相背运动，以实现两所述夹爪和所述限位槽的对接和分离。
[0022]进一步优选地，两所述夹爪远离所述第一气缸的一端均设有一限位凸台，及
[0023]所述限位槽包括一开设于所述喷嘴上端面的第一槽体和一开设于所述第一槽体底部，且和所述第一槽体相连通的第二槽体；
[0024]其中，所述第一气缸使两所述夹爪具有一收缩状态和一撑开状态；
[0025]于收缩状态时，两所述夹爪相互贴合，两所述限位凸台经所述第一槽体延伸至所述第二槽体内；所述第一气缸进而驱动两所述夹爪从收缩状态切换至撑开状态，以使两所述限位凸台抵接于所述第二槽体的侧边缘。
[0026]进一步优选地，所述第二槽体和所述第一槽体的连接处形成一呈台阶状的抵接部；
[0027]当两所述夹爪处于撑开状态时，两所述限位凸台的上端面抵顶于所述抵接部，以实现和所述喷嘴的固定。
[0028]进一步优选地，所述涂胶显影机还包括一作业平台；
[0029]所述吸盘、所述喷嘴组件及所述喷嘴夹持装置均安装于所述作业平台上；
[0030]其中，所述调节机构沿一第一方向将所述喷嘴朝向所述吸盘方向输送；
[0031]及所述作业平台上安装有一驱动机构；
[0032]所述驱动机构用于驱动所述喷嘴组件沿垂直于所述第一方向的第二方向进行往返运动。
[0033]进一步优选地，所述喷嘴组件和所述吸盘之间设有隔板。
[0034]进一步优选地，所述喷嘴组件还包括一用于承载多个所述喷嘴的工装载具；
[0035]所述工装载具设有和所述喷嘴的数量和轮廓相适配的安装工位；及
[0036]所述驱动机构包括一第一驱动电机和一驱动连接于所述第一驱动电机的第一传
动件，所述工装载具固定于所述第一传动件上，在所述第一驱动电机的驱动下，所述第一传动件用于带动所述工装载具和多个所述喷嘴沿所述第二方向进行往返运动。
[0037]进一步优选地，所述调节机构包括一横向调节组件和一纵向调节组件；
[0038]所述横向调节组件安装于所述作业平台上，所述纵向调节组件安装于所述横向调节组件上，所述夹持机构安装于所述纵向调节组件上；
[0039]其中，所述横向调节组件用于带动所述纵向调节组件和所述夹持机构沿所述第一方向进行往返运动；所述纵向调节组件用于带动所述夹持机构进行上下往返运动。
[0040]进一步优选地，所述横向调节组件包括一第二驱动电机和一驱动连接于所述第二驱动电机的第二传动件，所述纵向调节组件包括基座和安装于所述基座的第二气缸；
[0041]其中，所述基座固定于所述第二传动件上，所述夹持机构固定于所述第二气缸的驱动端，在所述第二驱动电机的驱动下，所述第二传动件带动所述基座、所述第二气缸和所述夹持机构沿第一方向进行往返运动，及所述第二气缸用于带动所述夹持机构进行上下往返运动。
[0042]本技术的技术效果在于：
[0043]本专利中，喷嘴组件上的多个喷嘴可用于喷涂不同类型的胶水，且每一喷嘴均能够从喷嘴组件上单独取放，以供本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，所述涂胶显影机包括用于吸附晶圆的吸盘和用于对所述晶圆进行涂胶的喷嘴组件，所述喷嘴组件包括多个呈并列设置的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴夹持装置包括：夹持机构，具有一夹持部；每一所述喷嘴均设有一和所述夹持部相限位配合的对接部；调节机构，驱动连接于所述夹持机构远离所述夹持部的一端；其中，所述调节机构用于驱动所述夹持部对接于任一所述喷嘴的对接部，并将所述喷嘴输送至所述吸盘的上方位置，以对吸附于所述吸盘上的晶圆进行涂胶，及在涂胶结束后，将所述喷嘴送回至初始位置。2.根据权利要求1所述的用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，其特征在于，所述夹持机构还具有一机械臂；所述机械臂的一端驱动连接于所述调节机构，其另一端设有所述夹持部。3.根据权利要求2所述的用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，其特征在于，所述夹持部包括一第一气缸和两夹爪；所述第一气缸安装于所述机械臂的端部；两所述夹爪驱动连接于所述第一气缸，且相对设置；在所述第一气缸的驱动下，两所述夹爪发生相对或相背运动；及所述对接部包括一开设于所述喷嘴的限位槽；当两所述夹爪延伸至所述限位槽内时，所述第一气缸驱动两所述夹爪发生相对或相背运动，以实现两所述夹爪和所述限位槽的对接和分离。4.根据权利要求3所述的用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，其特征在于，两所述夹爪远离所述第一气缸的一端均设有一限位凸台；及所述限位槽包括一开设于所述喷嘴上端面的第一槽体和一开设于所述第一槽体底部，且和所述第一槽体相连通的第二槽体；其中，所述第一气缸使两所述夹爪具有一收缩状态和一撑开状态；于收缩状态时，两所述夹爪相互贴合，两所述限位凸台经所述第一槽体延伸至所述第二槽体内；所述第一气缸进而驱动两所述夹爪从收缩状态切换至撑开状态，以使两所述限位凸台抵接于所述第二槽体的侧边缘。5.根据权利要求4所述的用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，其特征在于，所述第二槽体和所述第一槽体的连接处形成一呈台阶状的抵接部；当两所述夹爪处于撑开状态时，两所述限位凸台的上端面抵顶于所述抵接部，以实现...
【专利技术属性】
技术研发人员：金浩天，孙游，
申请(专利权)人：上海众鸿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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