本实用新型专利技术专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，涂胶显影机包括作业平台、安装于作业平台的吸盘和涂胶装置。喷嘴锁定装置包括动力机构和锁定机构。动力机构安装于作业平台。锁定机构包括一基座和多个锁定支架，基座安装于工装载具的一侧，多个锁定支架均铰接于基座，且每一锁定支架和基座的铰接处均设有一弹性件。锁定支架在弹性件的作用下对接与其相对应的喷嘴，以将喷嘴锁定于工装载具；及动力机构用于对接任一锁定支架，以驱动锁定支架脱离于喷嘴。本实用新型专利技术能够有效确保涂胶显影机在运行的过程中，喷嘴能够始终处于稳固的状态，不会轻易从工装载具上脱离，从而能够在很大程度上提高对晶圆涂胶的稳定性。很大程度上提高对晶圆涂胶的稳定性。很大程度上提高对晶圆涂胶的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置
[0001]本技术涉及半导体制造
，尤指一种用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置。
技术介绍
[0002]在半导体器件制造和先进封装工艺中，光刻工艺是指在基板上，如半导体晶圆上依次经过光刻胶涂敷、曝光、显影等处理，将光刻掩膜板上设计好的图案转移到基板表面膜层中的过程。光刻胶涂敷过程中，通过在基板表面涂敷光刻胶液并对所涂敷的光刻胶液进行加热处理形成光刻胶膜层，然后再通过曝光显影工艺在基板表面的光刻胶层中形成规定的图案结构。
[0003]在现有的涂胶显影机领域，通常是在一载板上设置多个工位，然后将多个用于对晶圆喷涂不同类型胶水的喷嘴依次放置于工位上。根据具体喷涂类型选择相对应的喷嘴以对晶圆进行涂胶程序。然而，喷嘴是直接放置于工位上的，当涂胶显影机在运行的过程中，喷嘴很容易因受到震动或其它外力作而导致胶水的溅射，甚至直接从工位上脱离，从而影响涂胶进程及给在场的工作人员带来安全隐患。
[0004]因此，基于现有技术中存在的缺陷，如有有效确保涂胶显影机在运行的过程中，喷嘴能够始终处于稳固地状态，不会轻易脱离于工位，一直是本领域普通技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是提供一种用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，能够有效确保涂胶显影机在运行的过程中，在喷嘴锁定装置的作用下，喷嘴能够始终处于稳固的状态，不会轻易从工装载具上脱离，从而在很大程度上提高了对晶圆涂胶的稳定性。
[0006]本技术提供的技术方案如下：
[0007]一种用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，所述涂胶显影机包括作业平台、安装于所述作业平台的吸盘和涂胶装置，所述吸盘用于吸附晶圆，所述涂胶装置包括相对于所述作业平台滑动的工装载具和多个并列设于所述工装载具，以对晶圆进行涂胶的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴锁定装置包括：
[0008]动力机构和锁定机构；
[0009]所述动力机构安装于所述作业平台；
[0010]所述锁定机构包括一基座和多个锁定支架；
[0011]所述基座安装于所述工装载具的一侧，多个所述锁定支架均铰接于所述基座，且每一所述锁定支架和所述基座的铰接处均设有一弹性件；
[0012]其中，所述锁定支架和所述喷嘴一一对应设置，所述锁定支架在所述弹性件的作用下对接与其相对应的所述喷嘴，以将所述喷嘴锁定于所述工装载具；及所述动力机构用于对接任一所述锁定支架，以驱动所述锁定支架脱离于所述喷嘴。
[0013]本专利中，通过将基座固定于工装载具的一侧，且将多个锁定支架沿基座的长度方向间隔铰接于基座上，使得锁定支架和喷嘴一一对应匹配设置。如此，每一锁定支架在弹性件的弹力作用下抵接与其相对应的喷嘴，以将喷嘴锁定于工装载具。当涂胶显影机在运行的过程中，即使喷嘴受到剧烈的震动，喷嘴在锁定支架的定位作用下也不会脱离于工装载具，从而在很大程度上防止了胶水的溅射，进而提高了对晶圆涂胶的稳定性。当喷嘴需要对晶圆进行涂胶时，可将所需涂胶的喷嘴输送至正对于动力机构的位置，动力机构运行，以对接于该喷嘴对应的锁定支架，并提供锁定支架与弹性件相反的作用力，使得锁定支架脱离于喷嘴，以实现喷嘴能够从工装载具上取出。
[0014]进一步优选地，所述动力机构包括一动力件和一压扣件；所述动力件安装于所述作业平台，所述压扣件驱动连接于所述动力件的驱动端；及所述锁定支架包括一承接臂、一抵块和一卡扣件；所述承接臂铰接于所述基座，所述抵块和所述卡扣件分别安装于所述承接臂的相对两端，且所述抵块和所述卡扣件的延伸方向相反；其中，所述卡扣件用于和所述喷嘴相对接配合，所述抵块用于和所述压扣件相对接配合。
[0015]进一步优选地，所述压扣件包括一压扣本体、一延伸块和一转轮；所述压扣本体对接于所述动力件的驱动端；所述延伸块安装于所述压扣本体朝向所述喷嘴的一侧；其中，所述延伸块内设有一转动槽，所述转轮安装于所述转动槽内，用于和所述抵块相对接配合。
[0016]进一步优选地，所述动力件包括一安装于所述作业平台的的气缸本体和驱动连接于所述气缸本体的两驱动轴，两所述驱动轴均向上设置，所述压扣本体安装于两所述驱动轴的自由端。
[0017]进一步优选地，所述卡扣件用于对接所述喷嘴一端的两侧分别设有一扣位；每一所述扣位均包括呈垂直设置的一横面抵接部和一纵面抵接部，所述横面抵接部用于抵接所述喷嘴的上端面，所述纵面抵接部用于抵接所述喷嘴的侧壁面。
[0018]进一步优选地，所述基座呈一条型板状结构，且延伸至所述工装载具长度方向的两端；所述基座背对所述工装载具的一端面设有多个固定块，且多个所述固定块沿所述基座的长度方向间隔设置；其中，每一所述固定块均开设有一第一轴孔，且多个所述固定块的第一轴孔均位于同一轴线上；及每两相邻的所述固定块之间均安装有一所述承接臂，且每一所述承接臂对应于所述第一轴孔的位置均开设有一第二轴孔，一销轴依次穿设多个呈交错分布的第一轴孔和第二轴孔，以将多个所述承接臂铰接于所述基座；及每一所述承接臂和所述基座的铰接处均设有一所述弹性件。
[0019]进一步优选地，所述弹性件为弹簧；及每一所述承接臂对应于所述销轴的位置均开设有一通槽，所述弹簧位于所述通槽内，且套设于所述销轴上；其中，所述弹簧具有第一端部和第二端部；所述通槽背对于所述基座的一端设有一抵片，所述第一端部抵接于所述抵片，所述第二端部抵接于所述基座的端面，以提供所述卡扣件朝向所述喷嘴一侧转动的弹力。
[0020]进一步优选地，所述工装载具沿其长度方向间隔设有若干用于放置所述喷嘴的工位；每一所述工位的四角处均设有一限位块；当所述喷嘴放置于所述工位时，四所述限位块分别抵接于所述喷嘴底部的四角处，以限制所述喷嘴的横向移动。
[0021]进一步优选地，所述涂胶装置还包括一滑动座和一驱动组件；所述滑动座和所述驱动组件均安装于所述作业平台；所述驱动组件驱动连接于所述工装载具；所述滑动座的
上端设有一滑轨，所述工装载具的底端设有相适配的滑槽；所述滑槽和所述滑轨相滑动配合，在所述驱动组件的驱动下，所述工装载具带动所述喷嘴沿所述滑轨进行往返运动。
[0022]进一步优选地，所述涂胶显影机还包括一喷嘴夹持装置；所述喷嘴夹持装置安装于所述作业平台，用于夹取任一所述喷嘴，以将所述喷嘴输送至所述吸盘的上方位置，以对吸附于所述吸盘上的晶圆进行涂胶，及在涂胶结束后，将所述喷嘴送回至初始位置。
[0023]本技术的技术效果在于：
[0024]本专利中，通过将基座固定于工装载具的一侧，且将多个锁定支架沿基座的长度方向间隔铰接于基座上，使得锁定支架和喷嘴一一对应匹配设置。如此，每一锁定支架在弹性件的弹力作用下抵接与其相对应的喷嘴，以将喷嘴锁定于工装载具。当涂胶显影机在运行的过程中，即使喷嘴受到剧烈的震动，喷嘴在锁定支架的定位作用下也不会脱离于工装载具，从而在很大程度上防止了胶水的溅射，进而提高了对晶圆涂胶的稳定性。当喷嘴需要对晶圆进行涂胶时，可将所需涂胶的喷嘴输送至正对于动力机构的位置，动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，所述涂胶显影机包括作业平台、安装于所述作业平台的吸盘和涂胶装置，所述吸盘用于吸附晶圆，所述涂胶装置包括相对于所述作业平台滑动的工装载具和多个并列设于所述工装载具，以对晶圆进行涂胶的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴锁定装置包括：动力机构和锁定机构；所述动力机构安装于所述作业平台；所述锁定机构包括一基座和多个锁定支架；所述基座安装于所述工装载具的一侧，多个所述锁定支架均铰接于所述基座，且每一所述锁定支架和所述基座的铰接处均设有一弹性件；其中，所述锁定支架和所述喷嘴一一对应设置，所述锁定支架在所述弹性件的作用下对接与其相对应的所述喷嘴，以将所述喷嘴锁定于所述工装载具；及所述动力机构用于对接任一所述锁定支架，以驱动所述锁定支架脱离于所述喷嘴。2.根据权利要求1所述的用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，其特征在于，所述动力机构包括一动力件和一压扣件；所述动力件安装于所述作业平台，所述压扣件驱动连接于所述动力件的驱动端；及所述锁定支架包括一承接臂、一抵块和一卡扣件；所述承接臂铰接于所述基座，所述抵块和所述卡扣件分别安装于所述承接臂的相对两端，且所述抵块和所述卡扣件的延伸方向相反；其中，所述卡扣件用于和所述喷嘴相对接配合，所述抵块用于和所述压扣件相对接配合。3.根据权利要求2所述的用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，其特征在于，所述压扣件包括一压扣本体、一延伸块和一转轮；所述压扣本体对接于所述动力件的驱动端；所述延伸块安装于所述压扣本体朝向所述喷嘴的一侧；其中，所述延伸块内设有一转动槽，所述转轮安装于所述转动槽内，用于和所述抵块相对接配合。4.根据权利要求3所述的用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，其特征在于，所述动力件包括一安装于所述作业平台的气缸本体和驱动连接于所述气缸本体的两驱动轴，两所述驱动轴均向上设置，所述压扣本体安装于两所述驱动轴的自由端。5.根据权利要求2所述的用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，其特征在于，所述卡扣件用于对接所述喷嘴一端的两侧分别设有一扣位；每一所述扣位均包括呈垂直设置的一横面抵接部和一纵面抵接部，所述横面抵接部用于抵接所述喷嘴的上端面，所述纵面抵接部用于抵接所述喷嘴的侧壁面。6.根据权利要求2
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5任一项所述的用于涂胶显影机...
【专利技术属性】
技术研发人员：金浩天，孙游，
申请(专利权)人：上海众鸿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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