本发明专利技术公开一种承载装置及检测设备，其中，该承载装置包括承载盘,所述承载盘包括外缘区域和由所述外缘区域包围的中部区域，所述外缘区域设有支撑台，所述支撑台设有高于所述中部区域的上表面的吸附面，所述外缘区域还设有出口位于所述吸附面的吸附孔，所述中部区域设有气孔，所述气孔用于和压力供给装置相连通，使用状态下，待测试样的外缘部分吸附固定于所述吸附面。上述承载装置的承载盘的外缘区域设有支撑台，支撑台通过负压吸附的方式对待测试样的外缘部分进行吸附固定，这样，可以更好地保证待测试样在检测过程中的平稳性，尤其是在高速运动过程中的平稳性，能够较大程度地克服待测试样固定不可靠对检测结果造成的影响。响。响。
【技术实现步骤摘要】
一种承载装置及检测设备
[0001]本专利技术涉及检测设备
，具体涉及一种承载装置及检测设备。
技术介绍
[0002]目前，市场上存在一种晶圆的背面研磨工艺，这项工艺在对晶圆进行研磨时，保留晶圆外围约3mm左右的边缘部分，只对晶圆内部进行研磨薄型化，可以减少晶圆的翘曲，并能够大大降低对于后续工序的传送要求及破片风险，可满足厚度小于100微米的超薄晶圆的加工需求。
[0003]在对上述晶圆进行承载时，要求晶圆的正反面均不能与承载装置相接触，以防止污染晶圆，但是，悬空放置的减薄晶圆的平稳性较差，会影响光学检测的准确性。
[0004]因此，如何提供一种方案，以克服或者缓解上述缺陷，仍是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是提供一种承载装置及检测设备，其中，该承载装置的边缘区域通过吸附固定待测试样的边缘，待测试样的平稳性更好，有利于保证检测结果的准确性。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种承载装置，包括承载盘所述承载盘包括外缘区域和由所述外缘区域包围的中部区域，所述外缘区域设有支撑台，所述支撑台设有高于所述中部区域的上表面的吸附面，所述外缘区域的所述吸附面设有吸附孔，所述中部区域设有气孔，所述气孔用于和压力供给装置相连通，待测试样的外缘部分吸附固定于所述吸附面。
[0007]区别于
技术介绍
，本专利技术实施例所提供承载装置的承载盘的外缘区域设有支撑台，支撑台设有吸附面和吸附孔，吸附孔可以与负压供给装置相连通，以通过负压吸附的方式对待测试样的外缘部分进行吸附固定，这样，可以更好地保证待测试样在检测过程中的平稳性，尤其是在高速运动过程中的平稳性，能够较大程度地克服待测试样固定不可靠对检测结果造成的影响。
[0008]可选地，所述支撑台包括在周向上间隔设置的若干分台部，至少部分所述分台部设有所述吸附孔。
[0009]可选地，所述支撑台为多孔陶瓷板，所述吸附孔为微孔。
[0010]可选地，所述承载盘包括基盘体，所述支撑台可拆卸地安装于所述基盘体。
[0011]可选地，所述气孔包括正压气孔，所述压力供给装置包括正压供给装置，所述正压气孔用于和所述正压供给装置相连通；和/或，所述气孔包括负压气孔，所述压力供给装置包括负压供给装置，所述负压气孔用于和所述负压供给装置相连通。
[0012]可选地，所述承载盘设有压力供给气路，所述气孔与所述压力供给气路相连通。
[0013]可选地，所述压力供给气路包括至少一条气路通道，所述气路通道的轴向两端中的至少一端为敞口端，所述敞口端用于和所述压力供给装置相连通，或者，所述敞口端通过
堵头封堵。
[0014]可选地，所述气路通道的数量为多个，各所述气路通道均相连通；所述压力供给气路还包括压力供给孔，所述压力供给孔与至少一个所述气路通道直接连通。
[0015]可选地，所述中心区域设有槽体，还包括至少部分位于所述槽体内的孔板，所述孔板与所述槽体的槽底壁间隙设置，所述孔板与所述槽体的槽底壁、槽侧壁围合形成所述压力供给气路的气路通道，所述孔板设有若干所述气孔。
[0016]可选地，所述孔板为多孔陶瓷板，设置于所述孔板的所述气孔为微孔。
[0017]可选地，还包括夹持机构，所述夹持机构包括若干夹持部件，各所述夹持部件均能够与所述待测试样的外周壁沿径向相抵，以对所述待测试样进行夹持固定。
[0018]可选地，至少一个所述夹持部件为能够在径向上进行调节的可调夹持部件。
[0019]可选地，所述可调夹持部件包括基台、弹性部件和移动夹持部，所述移动夹持部与所述基台滑动连接，所述弹性部件与所述移动夹持部相作用，以驱使所述移动夹持部夹紧所述待测试样。
[0020]可选地，所述可调夹持部件还包括驱动件，所述驱动件与所述基台传动连接，用于驱使所述基台进行径向位移。
[0021]可选地，所述夹持部件、所述支撑台的材质为防静电材料。
[0022]可选地，，所述承载盘设有至少一个开口，所述开口被配置为用于容纳机械手。
[0023]可选地，所述承载盘设有旋转连接件。
[0024]本专利技术还提供一种检测设备，包括承载装置，所述承载装置为上述的承载装置。
[0025]由于上述的承载装置已经具备如上的技术效果，那么，具有该承载装置的检测设备亦当具备相类似的技术效果，故在此不作赘述。
附图说明
[0026]图1为本专利技术所提供承载装置的一种具体实施方式的俯视图；
[0027]图2为本专利技术所提供承载装置的一种具体实施方式的侧视图；
[0028]图3为基盘体的剖视图；
[0029]图4为夹持部件的结构示意图。
[0030]图1-4中的附图标记说明如下：
[0031]1承载盘、1a外缘区域、1b中部区域、11基盘体、111气孔、112压力供给气路、112a气路通道、112b堵头、112c压力供给孔、113槽体、114孔板、115开口、12支撑台、121吸附面、122吸附孔、13旋转连接件；
[0032]2夹持部件、21基台、211滑轨、22弹性部件、23移动夹持部、24驱动件。
具体实施方式
[0033]为了使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步的详细说明。
[0034]本文中所述“若干”是指数量不确定的多个，通常为两个以上；且当采用“若干”表示某几个部件的数量时，并不表示这些部件在数量上的相互关系。
[0035]请参考图1-4，图1为本专利技术所提供承载装置的一种具体实施方式的俯视图，图2为
本专利技术所提供承载装置的一种具体实施方式的侧视图，图3为基盘体的剖视图，图4为夹持部件的结构示意图。
[0036]如图1-3所示，本专利技术提供一种承载装置，包括承载盘1，该承载盘1包括外缘区域1a和由外缘区域1a包围的中部区域1b，外缘区域1a设有支撑台12，支撑台12设有高于中部区域1a的上表面的吸附面121，外缘区域1a的吸附面121还设有吸附孔122，中部区域1b设有气孔111，气孔111用于和压力供给装置(图中未示出)相连通，使用状态下，待测试样的外缘部分吸附固定于吸附面121。
[0037]区别于
技术介绍
，本专利技术实施例所提供承载装置的承载盘1的外缘区域1a设有支撑台12，支撑台12设有吸附面121和吸附孔122，吸附孔122可以与负压供给装置相连通，以通过负压吸附的方式对待测试样的外缘部分进行吸附固定，这样，可以更好地保证待测试样在检测过程中的平稳性，尤其是在高速运动过程中的平稳性，能够较大程度地克服待测试样固定不可靠对检测结果造成的影响。
[0038]上述负压供给装置具体可以为负压源、抽风机等，上述吸附孔122的数量一般可以为多个，此时，各吸附孔122均可以配置相互独立的负压供给装置，或者，也可以采用各吸附孔122中的至少部分相连通、并共用同一负压供给装置的方案，以减少负压供给装本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种承载装置，包括承载盘(1)，其特征在于，所述承载盘(1)包括外缘区域(1a)和由所述外缘区域(1a)包围的中部区域(1b)，所述外缘区域(1a)设有支撑台(12)，所述支撑台(12)设有高于所述中部区域(1a)的上表面的吸附面(121)，所述外缘区域(1a)的所述吸附面(121)设有吸附孔(122)，所述中部区域(1b)设有气孔(111)，所述气孔(111)用于和压力供给装置相连通，待测试样的外缘部分吸附固定于所述吸附面(121)。2.根据权利要求1所述承载装置，其特征在于，至少所述支撑台(12)的上端部包括在周向上间隔设置的若干分台部，至少部分所述分台部设有所述吸附孔(122)。3.根据权利要求1所述承载装置，其特征在于，所述支撑台(12)为多孔陶瓷板，所述吸附孔(122)为微孔。4.根据权利要求1所述承载装置，其特征在于，所述承载盘(1)包括基盘体(11)，所述支撑台(12)可拆卸地安装于所述基盘体(11)。5.根据权利要求1所述承载装置，其特征在于，所述气孔(111)包括正压气孔，所述压力供给装置包括正压供给装置，所述正压气孔用于和所述正压供给装置相连通；和/或，所述气孔(111)包括负压气孔，所述压力供给装置包括负压供给装置，所述负压气孔用于和所述负压供给装置相连通。6.根据权利要求1所述承载装置，其特征在于，所述承载盘(1)设有压力供给气路(112)，所述气孔(111)与所述压力供给气路(112)相连通。7.根据权利要求6所述承载装置，其特征在于，所述压力供给气路(112)包括至少一条气路通道(112a)，所述气路通道(112a)的轴向两端中的至少一端为敞口端，所述敞口端用于和所述压力供给装置相连通，或者，所述敞口端通过堵头(112b)封堵。8.根据权利要求7所述承载装置，其特征在于，所述气路通道(112a)的数量为多个，各所述气路通道(112a)均相连通；所述压力供给气路(112)还包括压力供给孔(112c)，所述压力供给孔(112c)与至少一个所述气路通道(112...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海卫，张鹏斌，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。