一种等离子刻蚀机夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种等离子刻蚀机夹具包括底板；所述横向对齐装置滑动安装在底板表面；所述压平装置底部与底板固定连接；所述斜向对齐装置滑动安装在底板表面；本实用新型专利技术通过在装置内部设置有横向对齐装置、压平装置和斜向对齐装置，通过转动控制杆，能够同时带动横向对齐装置、压平装置和斜向对齐装置同时运动，从四个面快速的将放置在中间的硅片进行夹紧，同时将硅片边缘进行平整对齐，夹紧速度快效率高；斜向对齐装置在夹紧完后会通过倾斜的方形滑槽自动恢复到原先位置，将硅片一侧打开，方便将硅片取出。方便将硅片取出。方便将硅片取出。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀机夹具


[0001]本技术属于等离子刻蚀机配件
，更具体地说，特别涉及一种等离子刻蚀机夹具。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀，是一种现代化的硅片生产设备，如太阳能电池硅片，电脑硅片等，太阳能电池硅片实际上是一个面积比较大的非线性PN结，需要将扩散工序中形成的硅边缘PN结去除，去除的过程需要夹具保持硅片之间的贴合度以及整齐度，叠放不整齐容易造成产品质量出现问题。
[0003]基于上述，传统的等离子刻蚀机的夹具只有单一的夹紧作用，需要单独使用玻璃片对硅片边缘进行辅助平整，操作较为麻烦，费时费力，同时平整效果也较差，平整过后的硅片拿取也较为费力。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种等离子刻蚀机夹具，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种等离子刻蚀机夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的传统的等离子刻蚀机的夹具只有单一的夹紧作用，需要单独使用玻璃片对硅片边缘进行辅助平整，操作较为麻烦，费时费力，同时平整效果也较差，平整过后的硅片拿取也较为费力问题。
[0006]本技术一种等离子刻蚀机夹具的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0007]一种等离子刻蚀机夹具，包括底板；所述底板整体为长方体结构，且底板顶部固定设置有一组方形固定板；横向对齐装置，所述横向对齐装置滑动安装在底板表面；
[0008]压平装置，所述压平装置底部与底板固定连接；
[0009]斜向对齐装置，所述斜向对齐装置滑动安装在底板表面。
[0010]进一步所述横向对齐装置包括：
[0011]控制杆，控制杆通过转轴旋转安插在底板内部开设的滑槽内；
[0012]辅助滑动板A，辅助滑动板A通过螺纹孔与控制杆滑动连接。
[0013]进一步所述横向对齐装置还包括：
[0014]支撑架，支撑架底部与辅助滑动板A固定连接；
[0015]对齐板A，对齐板A底部与辅助滑动板A固定连接，且对齐板A一侧与支撑架固定连接。
[0016]进一步所述压平装置包括：
[0017]辅助滑动杆，辅助滑动杆整体为表面开设有T形滑槽的长方体结构，且辅助滑动杆底部与底板固定连接；
[0018]下压杆，下压杆一端滑动安插在辅助滑动杆开设的T形滑槽内。
[0019]进一步所述压平装置还包括：
[0020]挤压板，挤压板顶部与两组下压杆固定连接；
[0021]转动杆，转动杆底部通过转轴旋转插入到底板内部的滑槽内，转动杆底部通过锥齿轮与控制杆旋转连接，且转动杆顶部通过螺纹孔与下压杆滑动连接。
[0022]进一步所述斜向对齐装置包括：
[0023]辅助滑动板B，辅助滑动板B滑动安装在底板表面开设的倾斜的方形滑槽内；
[0024]对齐板B，对齐板B底部与辅助滑动板B固定连接。
[0025]进一步所述斜向对齐装置还包括：
[0026]固定杆，固定杆固定安装在底板开设的方形槽内，且固定杆与辅助滑动板B滑动连接；
[0027]收紧绳，收紧绳一端与辅助滑动板B固定连接，且收紧绳另外一端与控制杆固定连接。
[0028]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0029]本技术通过在装置内部设置有横向对齐装置、压平装置和斜向对齐装置，通过转动控制杆，能够同时带动横向对齐装置、压平装置和斜向对齐装置同时运动，从四个面快速的将放置在中间的硅片进行夹紧，同时将硅片边缘进行平整对齐，夹紧速度快效率高，并且四面同时运动，能够快速且准确的对硅片边缘进行平整，顶部压平装置也能够同时对硅片进行下压，防止硅片之间出现缝隙，影响产品质量，斜向对齐装置在夹紧完后会通过倾斜的方形滑槽自动恢复到原先位置，将硅片一侧打开，方便将硅片取出。
附图说明
[0030]图1是本技术的轴侧结构示意图。
[0031]图2是本技术的分解结构示意图。
[0032]图3是本技术的横向对齐装置轴侧结构示意图。
[0033]图4是本技术的斜向对齐装置分解结构示意图。
[0034]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0035]1、底板；
[0036]2、横向对齐装置；
[0037]201、控制杆；202、辅助滑动板A；203、支撑架；204、对齐板A；
[0038]3、压平装置；
[0039]301、辅助滑动杆；302、下压杆；303、挤压板；304、辅助滑动杆；
[0040]4、斜向对齐装置；
[0041]401、辅助滑动板B；402、对齐板B；403、固定杆；404、收紧绳。
具体实施方式
[0042]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0043]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关
系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0044]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0045]实施例：
[0046]如附图1至附图4所示：
[0047]本技术提供一种等离子刻蚀机夹具，包括底板1；底板1整体为长方体结构，且底板1顶部固定设置有一组方形固定板；横向对齐装置2，横向对齐装置2数量设置为两组，且横向对齐装置2滑动安装在底板1表面；压平装置3，压平装置3数量设置为两组，且压平装置3底部与底板1固定连接；斜向对齐装置4，斜向对齐装置4数量设置为两组，且斜向对齐装置4滑动安装在底板1表面。
[0048]如图3所示，横向对齐装置2包括：
[0049]控制杆201，控制杆201通过转轴旋转安插在底板1内部开设的滑槽内，通过转动控制杆201能够起到带动横向对齐装置2、压平装置3与斜向对齐装置4滑动的作用；辅助滑动板A202，辅助滑动板A202整体为中部开设有圆形螺纹孔的T形结构，且辅助滑动板A202通过螺纹孔与控制杆201滑动连接；支撑架203，支撑架203整体为直角三角形结构，且支撑架203底部与辅助滑动板A202固定连接，直本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机夹具，其特征在于：包括底板(1)；所述底板(1)整体为长方体结构，且底板(1)顶部固定设置有一组方形固定板；横向对齐装置(2)，所述横向对齐装置(2)滑动安装在底板(1)表面；压平装置(3)，所述压平装置(3)底部与底板(1)固定连接；斜向对齐装置(4)，所述斜向对齐装置(4)滑动安装在底板(1)表面。2.如权利要求1所述一种等离子刻蚀机夹具，其特征在于：所述横向对齐装置(2)包括：控制杆(201)，控制杆(201)通过转轴旋转安插在底板(1)内部开设的滑槽内；辅助滑动板A(202)，辅助滑动板A(202)通过螺纹孔与控制杆(201)滑动连接。3.如权利要求2所述一种等离子刻蚀机夹具，其特征在于：所述横向对齐装置(2)还包括：支撑架(203)，支撑架(203)底部与辅助滑动板A(202)固定连接；对齐板A(204)，对齐板A(204)底部与辅助滑动板A(202)固定连接，且对齐板A(204)一侧与支撑架(203)固定连接。4.如权利要求1所述一种等离子刻蚀机夹具，其特征在于：所述压平装置(3)包括：辅助滑动杆(301)，辅助滑动杆(301)整体为表面开设有T形滑槽的长方体结构，且辅助滑动杆(301)底部与底板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：程书萌，刘婷婷，
申请(专利权)人：苏州芯德瑞思电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：