一种用于晶圆清洗设备的速干机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆清洗设备的速干机构，其可简化操作流程，提高操作的便捷性，同时提高加工效率；包括超声波清洗机、翻转电机、固定架、连接架、连接轴、清洗架、电热鼓风机、连接管、第一出风管、第二出风管和两组均流盘，超声波清洗机内设有隔板，隔板将超声波清洗机内部分隔成左侧的清洗腔和右侧的烘干腔，翻转电机固定安装在超声波清洗机前端，翻转电机的输出端设有驱动轴，驱动轴转动安装在超声波清洗机内，驱动轴位于隔板上方，固定架和驱动轴固定连接，连接架通过连接轴转动安装在固定架上，清洗架顶端和连接架底端固定连接，清洗架的四周和底端均设有滤网，电热鼓风机的输出端设有连接管。接管。接管。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆清洗设备的速干机构


[0001]本技术涉及晶圆加工的
，特别是涉及一种用于晶圆清洗设备的速干机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]现有的晶圆在加工后，一般由超声波清洗机对其进行清洗，清洗完成后，再将晶圆取出，放入电热箱内，通过电热鼓风机进行烘干即可。然而这种操作方式流程比较复杂，操作不便捷，导致加工效率较低。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种可简化操作流程，提高操作的便捷性，同时提高加工效率的用于晶圆清洗设备的速干机构。
[0005]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，包括超声波清洗机、翻转电机、固定架、连接架、连接轴、清洗架、电热鼓风机、连接管、第一出风管、第二出风管和两组均流盘，超声波清洗机内设有隔板，隔板将超声波清洗机内部分隔成左侧的清洗腔和右侧的烘干腔，翻转电机固定安装在超声波清洗机前端，翻转电机的输出端设有驱动轴，驱动轴转动安装在超声波清洗机内，驱动轴位于隔板上方，固定架和驱动轴固定连接，连接架通过连接轴转动安装在固定架上，清洗架顶端和连接架底端固定连接，清洗架的四周和底端均设有滤网，电热鼓风机的输出端设有连接管，连接管安装在超声波清洗机右端，第一出风管和第二出风管分别与连接管的前后两端连通，第一出风管和第二出风管分别穿过超声波清洗机的烘干腔内，两组均流盘分别与第一出风管和第二出风管连通，每组均流盘上均设有多组出风孔。
[0006]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括滤篮，滤篮放置在清洗架内。
[0007]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括两组把手，两组把手分别固定安装在滤篮顶端。
[0008]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括两组把套，两组把套分别固定套设在两组把手上。
[0009]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括两组滑套，两组滑套分别固定安装在固定架的两组插孔内。
[0010]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括两组卡块，两组卡块分别固定安装在超声波清洗机的前后两端，第一出风管和第二出风管分别与两组卡块卡装。
[0011]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括四组加强杆，四组加强
杆分别固定安装在连接架和清洗架之间。
[0012]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，所述第一出风管、第二出风管和均流盘均采用不锈钢材质制作。
[0013]与现有技术相比本技术的有益效果为：首先超声波清洗机的清洗腔内装满清洗液，超声波清洗机对放置在清洗架内的晶圆进行超声波清洗，清洗完成后启动翻转电机，传动带动驱动轴转动，并带动固定架转动，使固定架转动到超声波清洗机的烘干腔内上方，同时带动清洗架移动到烘干腔内，在连接轴的作用下，清洗架始终保持垂直状态，当固定架移动到水平方向时，清洗架正好位于两组均流盘之间，此时启动电热鼓风机，热空气通过连接管进入第一出风管和第二出风管内，之后分别从多组出风孔排出，并吹向清洗架，对清洗架内的晶圆进行快速烘干，烘干完成后，将晶圆从清洗架内取出即可，通过上述设置，可简化操作流程，提高操作的便捷性，同时提高加工效率。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构示意图；
[0015]图2是图1的剖面结构示意图；
[0016]图3是图1的俯视结构示意图；
[0017]图4是清洗架和滤网等连接的左视剖面结构示意图；
[0018]附图中标记：1、超声波清洗机；2、隔板；3、翻转电机；4、驱动轴；5、固定架；6、连接架；7、连接轴；8、清洗架；9、滤网；10、电热鼓风机；11、连接管；12、第一出风管；13、第二出风管；14、均流盘；15、出风孔；16、滤篮；17、把手；18、把套；19、滑套；20、卡块；21、加强杆。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0020]如图1至图4所示，本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，包括超声波清洗机1、翻转电机3、固定架5、连接架6、连接轴7、清洗架8、电热鼓风机10、连接管11、第一出风管12、第二出风管13和两组均流盘14，超声波清洗机1内设有隔板2，隔板2将超声波清洗机1内部分隔成左侧的清洗腔和右侧的烘干腔，翻转电机3固定安装在超声波清洗机1前端，翻转电机3的输出端设有驱动轴4，驱动轴4转动安装在超声波清洗机1内，驱动轴4位于隔板2上方，固定架5和驱动轴4固定连接，连接架6通过连接轴7转动安装在固定架5上，清洗架8顶端和连接架6底端固定连接，清洗架8的四周和底端均设有滤网9，电热鼓风机10的输出端设有连接管11，连接管11安装在超声波清洗机1右端，第一出风管12和第二出风管13分别与连接管11的前后两端连通，第一出风管12和第二出风管13分别穿过超声波清洗机1的烘干腔内，两组均流盘14分别与第一出风管12和第二出风管13连通，每组均流盘14上均设有多组出风孔15；首先超声波清洗机1的清洗腔内装满清洗液，超声波清洗机1对放置在清洗架8内的晶圆进行超声波清洗，清洗完成后启动翻转电机3，传动带动驱动轴4转动，并带动固定架5转动，使固定架5转动到超声波清洗机1的烘干腔内上方，同时带动清洗架8移动到烘干腔内，在连接轴7的作用下，清洗架8始终保持垂直状态，当固定架5移动到水平方向时，清洗架8正好位于两组均流盘14之间，此时启动电热鼓风机10，热空气通过连接管11进
入第一出风管12和第二出风管13内，之后分别从多组出风孔15排出，并吹向清洗架8，对清洗架8内的晶圆进行快速烘干，烘干完成后，将晶圆从清洗架8内取出即可，通过上述设置，可简化操作流程，提高操作的便捷性，同时提高加工效率。
[0021]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括滤篮16，滤篮16放置在清洗架8内；通过设置滤篮16，可将晶圆放入滤篮16内，便于晶圆的取放。
[0022]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括两组把手17，两组把手17分别固定安装在滤篮16顶端；通过设置把手17，便于将滤篮16从清洗架8中拎出，提高便利性。
[0023]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括两组把套18，两组把套18分别固定套设在两组把手17上；通过设置把套18，可增大把手17的摩擦，防止手滑，提高稳定性。
[0024]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速干机构，还包括两组滑套19，两组滑套19分别固定安装在固定架5的两组插孔内；通过设置滑套19，提高连接轴7转动的顺畅性，防止卡顿。
[0025]本技术的一种用于晶圆清洗设备的速本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆清洗设备的速干机构，其特征在于，包括超声波清洗机(1)、翻转电机(3)、固定架(5)、连接架(6)、连接轴(7)、清洗架(8)、电热鼓风机(10)、连接管(11)、第一出风管(12)、第二出风管(13)和两组均流盘(14)，超声波清洗机(1)内设有隔板(2)，隔板(2)将超声波清洗机(1)内部分隔成左侧的清洗腔和右侧的烘干腔，翻转电机(3)固定安装在超声波清洗机(1)前端，翻转电机(3)的输出端设有驱动轴(4)，驱动轴(4)转动安装在超声波清洗机(1)内，驱动轴(4)位于隔板(2)上方，固定架(5)和驱动轴(4)固定连接，连接架(6)通过连接轴(7)转动安装在固定架(5)上，清洗架(8)顶端和连接架(6)底端固定连接，清洗架(8)的四周和底端均设有滤网(9)，电热鼓风机(10)的输出端设有连接管(11)，连接管(11)安装在超声波清洗机(1)右端，第一出风管(12)和第二出风管(13)分别与连接管(11)的前后两端连通，第一出风管(12)和第二出风管(13)分别穿过超声波清洗机(1)的烘干腔内，两组均流盘(14)分别与第一出风管(12)和第二出风管(13)连通，每组均流盘(14)上均设有多组出风孔(15)。2.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：文卫成，李兴，文维德，
申请(专利权)人：上海芯昂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：