本实用新型专利技术提供了一种用于角度校正的固晶臂及固晶装置，该固晶臂包括摆臂、上下移动驱动装置、上下移动动子、角度旋转装置、中空旋转轴、吸嘴，上下移动驱动装置安装在摆臂上，上下移动驱动装置用于驱动上下移动动子进行上下移动，角度旋转装置安装在上下移动动子上，角度旋转装置与中空旋转轴相连，角度旋转装置用于驱动中空旋转轴进行旋转，吸嘴与所述中空旋转轴相连。本实用新型专利技术的有益效果是：本实用新型专利技术采用双摆臂同时旋转工作，且两摆臂的上下运动和旋转运动分开控制，不仅避免了摆臂的返空行程，使贴合效率翻倍，还可对晶圆或芯片的角度偏差进行修正，达到快速精准转移的目的，且双摆臂的扭矩相互抵消，大大增加了固晶运动过程的稳定性。过程的稳定性。过程的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种用于角度校正的固晶臂及固晶装置
[0001]本技术涉及固晶
，尤其涉及一种用于角度校正的固晶臂及固晶装置。
技术介绍
[0002]在固晶
中，摆臂上安装有吸嘴，摆臂在晶圆环和基板之间移动，摆臂摆动到晶圆环位置，通过吸嘴吸取晶圆环上的晶圆完成取晶动作，然后摆臂摆动到基板位置，通过吸嘴将晶圆固晶到基板上，但是，晶圆环上的某个晶圆的角度可能是有偏差的，即某个晶圆的角度与其他晶圆角度不同，这就导致了晶固到基板上的晶圆角度也出现了偏差，影响产品质量。
[0003]综上，目前的固晶装置无法对晶圆的角度偏差进行校正，致使贴合精度不高。
技术实现思路
[0004]本技术提供了一种用于角度校正的固晶臂，包括摆臂、上下移动驱动装置、上下移动动子、角度旋转装置、中空旋转轴、吸嘴，所述上下移动驱动装置安装在所述摆臂上，所述上下移动驱动装置与所述上下移动动子相连，所述上下移动驱动装置用于驱动所述上下移动动子进行上下移动，所述角度旋转装置安装在所述上下移动动子上，所述角度旋转装置与所述中空旋转轴相连，所述角度旋转装置用于驱动所述中空旋转轴进行旋转，所述吸嘴与所述中空旋转轴相连。
[0005]作为本技术的进一步改进，所述中空旋转轴设有真空通道，所述真空通道与所述吸嘴连通。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述角度旋转装置为电机。
[0007]本专利技术还提供了一种包括所述固晶臂的固晶装置，该固晶装置还包括旋转驱动装置、旋转驱动轴，所述旋转驱动装置与所述旋转驱动轴相连，所述旋转驱动装置用于驱动所述旋转驱动轴进行旋转，所述固晶臂为两个，所述旋转驱动轴与两个所述固晶臂的摆臂相连，两个所述摆臂分别位于所述旋转驱动轴的左右两侧。
[0008]作为本技术的进一步改进，该固晶装置还包括第一摆臂固定座、第二摆臂固定座，所述第一摆臂固定座和所述第二摆臂固定座分别安装于所述旋转驱动轴的左右两侧，一个固晶臂的摆臂与所述第一摆臂固定座相连，另一个固晶臂的摆臂与所述第二摆臂固定座相连。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述旋转驱动装置为电机。
[0010]作为本技术的进一步改进，该固晶装置还包括相机，通过相机对吸嘴上的晶圆或芯片进行拍照，根据拍照照片计算晶圆或芯片的角度偏差值来控制吸嘴旋转从而对晶圆或芯片进行角度校正。
[0011]本技术的有益效果是：本技术采用双摆臂同时旋转工作，且两摆臂的上下运动和旋转运动分开控制，不仅避免了摆臂的返空行程，使贴合效率翻倍，还可对晶圆或
芯片的角度偏差进行修正，达到快速精准转移的目的，且双摆臂的扭矩相互抵消，大大增加了固晶运动过程的稳定性。
附图说明
[0012]图1是本技术的结构示意图。
具体实施方式
[0013]如图1所示，本技术公开了一种用于角度校正的固晶臂，包括摆臂2、上下移动驱动装置、上下移动动子21、角度旋转装置3、中空旋转轴31、吸嘴32，所述上下移动驱动装置安装在所述摆臂2上，所述上下移动驱动装置与所述上下移动动子21相连，所述上下移动驱动装置用于驱动所述上下移动动子21进行上下移动，所述角度旋转装置3安装在所述上下移动动子21上，所述角度旋转装置3与所述中空旋转轴31相连，所述角度旋转装置3用于驱动所述中空旋转轴31进行旋转，所述吸嘴32与所述中空旋转轴31相连。
[0014]所述中空旋转轴31设有真空通道，所述真空通道与所述吸嘴32连通。
[0015]所述角度旋转装置3优选为电机。
[0016]目前行业中对晶圆或芯片进行转移贴合时，多采用单悬臂旋转固晶，此方法由于摆臂存在一个返空的行程，致使贴合效率不高，且悬臂在旋转过程中产生的扭矩无法消除。
[0017]为了解决现有技术中的这一问题，本实用新还公开了一种包括所述固晶臂的固晶装置，该固晶装置还包括旋转驱动装置1、旋转驱动轴11，所述旋转驱动装置1与所述旋转驱动轴11相连，所述旋转驱动装置1用于驱动所述旋转驱动轴11进行旋转，所述固晶臂为两个，所述旋转驱动轴11与两个所述固晶臂的摆臂2相连，两个所述摆臂2分别位于所述旋转驱动轴11的左右两侧。
[0018]该固晶装置还包括第一摆臂固定座12、第二摆臂固定座13，所述第一摆臂固定座12和所述第二摆臂固定座13分别安装于所述旋转驱动轴11的左右两侧，一个固晶臂的摆臂2与所述第一摆臂固定座12相连，另一个固晶臂的摆臂2与所述第二摆臂固定座13相连。
[0019]所述旋转驱动装置1优选为电机。
[0020]该固晶装置还包括相机，通过相机对吸嘴32上的晶圆或芯片进行拍照，根据拍照照片计算晶圆或芯片的角度偏差值来控制吸嘴32旋转从而对晶圆或芯片进行角度校正。
[0021]为了描述方便，我们将两个固晶臂分别称为第一固晶臂和第二固晶臂。
[0022]工作时，在取晶位设有第一相机、顶针、晶圆环，晶圆环上放置有多个元器件，该元器件可以是晶圆或芯片，为了描述方便，我们以晶圆进行举例说明，在取晶位，晶圆环在第一相机的引导下，将晶圆准确移动至第一相机确定的拾取位置后，第一固晶臂的摆臂2摆动至取晶位，通过上下移动驱动装置和上下移动动子21使吸嘴32向下移动到设定位置，顶针从下方将晶圆环上的晶圆顶到吸嘴32上，从而完成取晶动作；取晶后，通过上下移动驱动装置和上下移动动子21使吸嘴32向上移动到设定位置，然后通过旋转驱动装置1和旋转驱动轴11使摆臂2摆动至固晶位，在固晶位设有第二相机和载台，载台上安装有基板，在第二相机的引导下，载台移动至固晶位置，通过上下移动驱动装置和上下移动动子21使吸嘴32向下移动到设定位置，将吸嘴32上的晶圆固晶至基板上，从而完成固晶动作；在取晶后至固晶前的这段时间内，通过相机对吸嘴32上的晶圆或芯片进行拍照，根据拍照照片计算晶圆或
芯片的角度偏差值来控制吸嘴32旋转从而对晶圆或芯片进行角度校正。
[0023]在第一固晶臂在固晶位进行固晶动作的同时，第二固晶臂已摆动至取晶位进行取晶动作，在第一固晶臂的固晶动作和第二固晶臂的取晶动作完成后，通过旋转驱动装置1驱动所述旋转驱动轴11旋转，使一固晶臂进行取晶动作和第二固晶臂进行固晶动作，如此周而复始，两个固晶臂交互，实现连续的取晶与固晶的轮换，从而达到快速固晶的效果。
[0024]以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所作的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只局限于这些说明。对于本技术所属
的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于角度校正的固晶臂，其特征在于：包括摆臂(2)、上下移动驱动装置、上下移动动子(21)、角度旋转装置(3)、中空旋转轴(31)、吸嘴(32)，所述上下移动驱动装置安装在所述摆臂(2)上，所述上下移动驱动装置与所述上下移动动子(21)相连，所述上下移动驱动装置用于驱动所述上下移动动子(21)进行上下移动，所述角度旋转装置(3)安装在所述上下移动动子(21)上，所述角度旋转装置(3)与所述中空旋转轴(31)相连，所述角度旋转装置(3)用于驱动所述中空旋转轴(31)进行旋转，所述吸嘴(32)与所述中空旋转轴(31)相连。2.根据权利要求1所述的固晶臂，其特征在于：所述中空旋转轴(31)设有真空通道，所述真空通道与所述吸嘴(32)连通。3.根据权利要求1所述的固晶臂，其特征在于：所述角度旋转装置(3)为电机。4.一种包括权利要求1至3任一项所述固晶臂的固晶装置，其特征在于：该固晶装置还包括旋转驱动装置(1)、旋转驱动轴(11)，所述旋转驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾逸，吴勇，
申请(专利权)人：深圳市卓兴半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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