一种采用龙门结构的无振动XY运动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种采用龙门结构的无振动XY运动平台，包括大底板、移动龙门组件、Y轴动力组件、Y轴移动模组、X轴动力组件和X轴移动模组；Y轴移动模组设在大底板的中部，移动龙门组件设在Y轴移动模组的上方，移动龙门组件与Y轴移动模组柔性连接；Y轴动力组件位于移动龙门组件的一侧，Y轴动力组件与大底板固定连接，Y轴动力组件与移动龙门组件的侧表面柔性连接；X轴动力组件设在移动龙门组件上，X轴移动模组设在Y轴移动模组上，X轴动力组件与X轴移动模组柔性连接。本发明专利技术能够最大程度地消除X轴电机、Y轴电机及齿轮齿条产生的振动对扫描平台的影响，从而避免扫描平台在移动时振动，提高了扫描图像的清晰度及检测准确性。了扫描图像的清晰度及检测准确性。了扫描图像的清晰度及检测准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种采用龙门结构的无振动XY运动平台


[0001]本专利技术属于电镜扫描仪
，具体涉及一种采用龙门结构的无振动XY运动平台。

技术介绍

[0002]目前电镜扫描仪所采用的XY运动平台，其Y轴电机通过齿轮齿条或丝杆方式直接驱动Y轴移动模组，其X轴电机位于Y轴移动模组之上，并且X轴电机也通过齿轮齿条或丝杆方式直接驱动X轴移动模组(即玻片扫描部分)。
[0003]此类结构缺点是：X轴电机、Y轴电机及齿轮齿条产生的振动将直接通过机械结构传导至前端扫描部分(即玻片扫描部分)，从而导致扫描平台在移动时振动，进而导致扫描图像模糊，严重影响检测准确性。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的缺陷，本专利技术旨在提供一种采用龙门结构的无振动XY运动平台，尽可能地消除扫描平台移动时的振动。
[0005]为解决上述技术问题，实现上述技术效果，本专利技术通过以下技术方案实现：
[0006]一种采用龙门结构的无振动XY运动平台，包括大底板、移动龙门组件、Y轴动力组件、Y轴移动模组、X轴动力组件和X轴移动模组；所述Y轴移动模组设置在所述大底板的上表面中部，所述移动龙门组件可移动地架设在所述Y轴移动模组的上方，所述移动龙门组件的移动方向与所述Y轴移动模组的移动方向相同，且所述移动龙门组件与所述Y轴移动模组柔性连接；所述Y轴动力组件位于所述移动龙门组件的一侧，所述Y轴动力组件与所述大底板固定连接，所述Y轴动力组件与所述移动龙门组件的侧表面柔性连接；所述X轴动力组件设置在所述移动龙门组件上，所述X轴移动模组设置在所述Y轴移动模组上，所述X轴动力组件与所述X轴移动模组柔性连接。
[0007]进一步的，所述大底板设置在前后两个底板支架上，且前后两个所述底板支架之间连接有加强筋。
[0008]进一步的，所述移动龙门组件包括龙门横梁板、龙门推块左立柱、龙门推块右立柱、龙门Y轴右导轨、龙门Y轴右导轨底板、龙门Y轴右导轨滑块和龙门Y轴右导轨滑块固定板；所述龙门推块右立柱的上端与所述龙门横梁板右端的下表面固定连接，所述龙门推块右立柱的下端通过所述龙门Y轴右导轨滑块固定板设置有所述龙门Y轴右导轨滑块，所述龙门Y轴右导轨通过所述龙门Y轴右导轨底板固定在所述大底板上表面的右侧，所述龙门Y轴右导轨滑块与所述龙门Y轴右导轨滑动连接，所述龙门推块左立柱的上端与所述龙门横梁板左端的下表面固定连接，所述龙门推块左立柱的下端用于与所述Y轴动力组件柔性连接，所述龙门横梁板的上表面用于安装所述X轴移动模组，所述龙门横梁板的前、后侧面用于与所述Y轴移动模组柔性连接。
[0009]进一步的，所述Y轴动力组件包括Y轴动力组件底板、Y轴电机、Y轴圆柱齿轮、Y轴电
机抱块、Y轴电机支架、Y轴电机底座、龙门Y轴左导轨、龙门Y轴左导轨滑块、Y轴齿条、Y轴齿条固定板和Y轴软垫推块；所述Y轴动力组件底板与所述大底板的左侧固定连接，所述龙门Y轴左导轨设置在所述Y轴动力组件底板上，且所述龙门Y轴左导轨与所述所述龙门Y轴右导轨平行，所述龙门Y轴左导轨滑块可滑动地设置在所述龙门Y轴左导轨上，所述Y轴齿条固定板固定在所述龙门Y轴左导轨滑块上，所述Y轴齿条固定板通过所述Y轴软垫推块与所述龙门推块左立柱的下端连接，所述Y轴齿条设置在所述Y轴齿条固定板上，所述Y轴电机底座同样设置在所述Y轴动力组件底板上，所述Y轴电机底座依次通过所述Y轴电机支架和所述Y轴电机抱块设置有所述Y轴电机，所述Y轴圆柱齿轮设置在所述Y轴电机的输出轴上，所述Y轴圆柱齿轮与所述Y轴齿条啮合。
[0010]进一步的，所述Y轴动力组件底板为下沉式底板，所述Y轴动力组件底板上表面的边缘设置有一圈挡边，所述Y轴动力组件底板的上表面在所述挡边的包围下形成下沉槽，所述龙门Y轴左导轨和所述Y轴电机底座均设置在所述下沉槽内，同时，所述大底板上开设有用于避让所述Y轴动力组件的避让孔，所述Y轴动力组件底板位于所述避让孔的下方，且所述Y轴动力组件底板的挡边与所述大底板的下表面固定连接。
[0011]进一步的，所述Y轴移动模组包括扫描区固定底板、Y轴滑动区下底座、Y轴滑动区下底座中间靠板、Y轴滑动区上顶板、Y轴滑动区上顶板顶丝板、交叉滚柱导轨、X轴滑动扫描区底板和龙门推块，所述扫描区固定底板与所述大底板固定连接，所述Y轴滑动区下底座设置在所述扫描区固定底板的中部，所述Y轴滑动区下底座中间靠板设置在所述Y轴滑动区下底座的中部，所述Y轴滑动区上顶板通过两组所述交叉滚柱导轨与所述Y轴滑动区下底座滑动连接，两组所述交叉滚柱导轨分别贴设在所述Y轴滑动区下底座中间靠板的左右两侧，所述Y轴滑动区下底座中间靠板两侧精磨，以保证两组所述交叉滚柱导轨的安装精度，其中，两组所述交叉滚柱导轨的内侧导轨均与所述Y轴滑动区下底座固定连接，两组所述交叉滚柱导轨的外侧导轨与所述Y轴滑动区上顶板固定连接，所述Y轴滑动区上顶板与所述Y轴滑动区下底座中间靠板不接触，所述Y轴滑动区上顶板下表面的左右两端分别设置有一块所述Y轴滑动区上顶板顶丝板，两块所述Y轴滑动区上顶板顶丝板分别贴设在两组所述交叉滚柱导轨的外侧，所述Y轴滑动区上顶板顶丝板受力变形时，不会导致所述Y轴滑动区上顶板变形，所述X轴滑动扫描区底板和所述龙门推块分别设置在所述Y轴滑动区上顶板上表面的前部和后部，所述X轴滑动扫描区底板和所述龙门推块之间形成用于容纳所述龙门横梁板的嵌槽，所述龙门横梁板安装在所述嵌槽内时，所述龙门横梁板的前后两侧分别通过对应的橡胶软垫与所述X轴滑动扫描区底板和所述龙门推块连接，且所述龙门横梁板的下表面与所述所述Y轴滑动区上顶板上表面不接触，以达到减小X轴电机、Y轴电机的振动传导至所述X轴滑动扫描区底板的目的。
[0012]进一步的，所述Y轴移动模组还包括一个Y轴光栅组件，所述Y轴光栅组件由Y轴光栅尺、用于读取所述Y轴光栅尺的Y轴光栅尺编码器、Y轴光栅尺编码器支架、Y轴光栅尺编码器支架底座和零位磁铁组成，所述Y轴光栅尺和所述零位磁铁均贴设在所述Y轴滑动区上顶板的右侧面，且所述零位磁铁位于所述Y轴光栅尺的前部下方，所述Y轴光栅尺编码器支架底座设置在所述Y轴滑动区下底座上表面的右侧，所述Y轴光栅尺编码器支架设置在所述Y轴光栅尺编码器支架底座上，所述Y轴光栅尺编码器设置在所述Y轴光栅尺编码器支架上，且所述Y轴光栅尺编码器位于所述Y轴光栅尺的右侧。
[0013]进一步的，所述Y轴移动模组还包括一个Y轴光耦限位组件，所述Y轴光耦限位组件由两个Y轴光耦限位开关、分别用于触发两个所述Y轴光耦限位开关的两片Y轴光耦挡片和Y轴光耦限位开关安装板组成，所述Y轴光耦限位开关安装板设置在所述Y轴滑动区下底座上表面的左侧，两个所述Y轴光耦限位开关分别设置在所述Y轴光耦限位开关安装板的前后两端，两片所述Y轴光耦挡片分别设置在所述Y轴滑动区上顶板的左侧面。
[0014]进一步的，所述X轴动力组件包括X轴动力组件底板、X轴电机、X轴圆柱齿轮、X轴电机抱块、X轴电机支架、X轴电机底座、X轴一级导轨、X轴一级导轨滑块、X轴齿条、X轴齿条固定板和X轴软垫固定块；所述X轴动力组件底板与所述龙本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采用龙门结构的无振动XY运动平台，其特征在于：包括大底板(1)、移动龙门组件(2)、Y轴动力组件(3)、Y轴移动模组(4)、X轴动力组件(5)和X轴移动模组(6)；所述Y轴移动模组(4)设置在所述大底板(1)的上表面中部，所述移动龙门组件(2)可移动地架设在所述Y轴移动模组(4)的上方，所述移动龙门组件(2)的移动方向与所述Y轴移动模组(4)的移动方向相同，且所述移动龙门组件(2)与所述Y轴移动模组(4)柔性连接；所述Y轴动力组件(3)位于所述移动龙门组件(2)的一侧，所述Y轴动力组件(3)与所述大底板(1)固定连接，所述Y轴动力组件(3)与所述移动龙门组件(2)的侧表面固定连接；所述X轴动力组件(5)设置在所述移动龙门组件(2)上，所述X轴移动模组(6)设置在所述Y轴移动模组(4)上，所述X轴动力组件(5)与所述X轴移动模组(6)柔性连接。2.根据权利要求1所述的采用龙门结构的无振动XY运动平台，其特征在于：所述移动龙门组件(2)包括龙门横梁板(201)、龙门推块左立柱(202)、龙门推块右立柱(203)、龙门Y轴右导轨(204)、龙门Y轴右导轨底板(205)、龙门Y轴右导轨滑块(206)和龙门Y轴右导轨滑块固定板(207)；所述龙门推块右立柱(203)的上端与所述龙门横梁板(201)右端的下表面固定连接，所述龙门推块右立柱(203)的下端通过所述龙门Y轴右导轨滑块固定板(207)设置有所述龙门Y轴右导轨滑块(206)，所述龙门Y轴右导轨(204)通过所述龙门Y轴右导轨底板(205)固定在所述大底板(1)上表面的右侧，所述龙门Y轴右导轨滑块(206)与所述龙门Y轴右导轨(204)滑动连接，所述龙门推块左立柱(202)的上端与所述龙门横梁板(201)左端的下表面固定连接，所述龙门推块左立柱(202)的下端用于与所述Y轴动力组件(3)固定连接，所述龙门横梁板(201)的上表面用于安装所述X轴移动模组(6)，所述龙门横梁板(201)的前、后侧面用于与所述Y轴移动模组(4)柔性连接。3.根据权利要求2所述的采用龙门结构的无振动XY运动平台，其特征在于：所述Y轴动力组件(3)包括Y轴动力组件底板(301)、Y轴电机(302)、Y轴圆柱齿轮(303)、Y轴电机抱块(304)、Y轴电机支架(305)、Y轴电机底座(306)、龙门Y轴左导轨(307)、龙门Y轴左导轨滑块、Y轴齿条(308)、Y轴齿条固定板(309)和Y轴软垫推块(310)；所述Y轴动力组件底板(301)与所述大底板(1)的左侧固定连接，所述龙门Y轴左导轨(307)设置在所述Y轴动力组件底板(301)上，且所述龙门Y轴左导轨(307)与所述所述龙门Y轴右导轨(204)平行，所述龙门Y轴左导轨滑块可滑动地设置在所述龙门Y轴左导轨(307)上，所述Y轴齿条固定板(309)固定在所述龙门Y轴左导轨滑块上，所述Y轴齿条固定板(309)通过所述Y轴软垫推块(310)与所述龙门推块左立柱(202)的下端连接，所述Y轴齿条(308)设置在所述Y轴齿条固定板(309)上，所述Y轴电机底座(306)同样设置在所述Y轴动力组件底板(301)上，所述Y轴电机底座(306)依次通过所述Y轴电机支架(305)和所述Y轴电机抱块(304)设置有所述Y轴电机(302)，所述Y轴圆柱齿轮(303)设置在所述Y轴电机(302)的输出轴上，所述Y轴圆柱齿轮(303)与所述Y轴齿条(308)啮合。4.根据权利要求2所述的采用龙门结构的无振动XY运动平台，其特征在于：所述Y轴移动模组(4)包括扫描区固定底板(401)、Y轴滑动区下底座(402)、Y轴滑动区下底座中间靠板(403)、Y轴滑动区上顶板(404)、Y轴滑动区上顶板顶丝板(405)、交叉滚柱导轨(406)、X轴滑动扫描区底板(407)和龙门推块(408)，所述扫描区固定底板(401)与所述大底板(1)固定连接，所述Y轴滑动区下底座(402)设置在所述扫描区固定底板(401)的中部，所述Y轴滑动区下底座中间靠板(403)设置在所述Y轴滑动区下底座(402)的中部，所述Y轴滑动区上顶板
(404)通过两组所述交叉滚柱导轨(406)与所述Y轴滑动区下底座(402)滑动连接，两组所述交叉滚柱导轨(406)分别贴设在所述Y轴滑动区下底座中间靠板(403)的左右两侧，其中，两组所述交叉滚柱导轨(406)的内侧导轨均与所述Y轴滑动区下底座(402)固定连接，两组所述交叉滚柱导轨(406)的外侧导轨与所述Y轴滑动区上顶板(404)固定连接，所述Y轴滑动区上顶板(404)与所述Y轴滑动区下底座中间靠板(403)不接触，所述Y轴滑动区上顶板(404)下表面的左右两端分别设置有一块所述Y轴滑动区上顶板顶丝板(405)，两块所述Y轴滑动区上顶板顶丝板(405)分别贴设在两组所述交叉滚柱导轨(406)的外侧，所述X轴滑动扫描区底板(407)和所述龙门推块(408)分别设置在所述Y轴滑动区上顶板(404)上表面的前部和后部，所述X轴滑动扫描区底板(407)和所述龙门推块(408)之间形成用于容纳所述龙门横梁板(201)的嵌槽，所述龙门横梁板(201)安装在所述嵌槽内时，所述龙门横梁板(201)的前后两侧分别通过对应的橡胶软垫与所述X轴滑动扫描区底板(407)和所述龙门推块(408)连接，且所述龙门横梁板(201)的下表面与所述所述Y轴滑动区上顶板(404)上表面不接触。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷跃锋，付兰，钟雪，
申请(专利权)人：苏州丰泰医疗用品贸易有限公司，
类型：发明
国别省市：