本实用新型专利技术公开一种半导体材料疲劳测试用自动夹持设备，包括两个固定架、两组液压杆和两个压力传感器，每组所述液压杆的顶端均与固定架的内顶壁固定连接，每组液压杆的输出端均固定连接有支撑板，每个支撑板的底面均固定连接有两个压缩弹簧，每组压缩弹簧的底端均共同固定连接有第一夹紧板。本实用新型专利技术通过设置有液压杆能够带动支撑板和第一夹紧板对半导体材料进行夹持，当第一夹紧板与半导体材料接触后，由于第一夹紧板继续向下的压力，能够推动检测柱向上运动，使检测柱进入压力传感器内部，可以得出夹持的具体压力，从而方便人们进行调整，起到能够精确控制夹持力度，防止由于夹持压力不可控，导致半导体材料出现损坏的作用。用。用。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料疲劳测试用自动夹持设备
[0001]本技术涉及半导体材料
，具体涉及一种半导体材料疲劳测试用自动夹持设备。
技术介绍
[0002]元素硅是最主要的半导体材料的制成原料，包括硅多晶、硅单晶、硅片、硅外延片和非晶硅薄膜等，可直接或间接用于制备半导体器件，由于半导体材料的应用场合不同，有时需要对半导体材料进行耐疲劳强度的测试，而在对半导体材料进行测试时为了防止半导体材料发生滑动，通常需要使用自动夹持设备对其进行固定，但自动夹持设备在使用过程中存在以下弊端：
[0003]传统的半导体材料疲劳测试用自动夹持设在使用时，只是使用简单的机械部件对其进行夹持，或者使用具有较高弹性的拨片进行夹持固定，不能无法适应不同厚度的半导体材料，而且由于无法精准的控制夹持力度，容易对半导体材料的表面造成划痕，影响半导体测量精度和数据收集的准确性。
[0004]由此可见，需要提供一种半导体材料疲劳测试用自动夹持设备。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种半导体材料疲劳测试用自动夹持设备，以解决只能使用简单结构对单一厚度的半导体材料进行夹持，且无法精准控制夹持力度，容易使半导体材料表面出现划痕压痕等，影响疲劳强度测试精准度的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术通过以下技术方案实现：
[0007]一种半导体材料疲劳测试用自动夹持设备，包括两个固定架、两组液压杆和两个压力传感器，每组所述液压杆的顶端均与固定架的内顶壁固定连接，每组所述液压杆的输出端均固定连接有支撑板，每个所述支撑板的底面均固定连接有两个压缩弹簧，每组所述压缩弹簧的底端均共同固定连接有第一夹紧板，每个所述压力传感器的底面均与每个支撑板的上表面固定连接，每个所述固定架的内底壁均固定连接有两个伸缩杆，每组所述伸缩杆的伸缩端均共同固定连接有第二夹紧板，每个所述支撑板的上表面均开设有检测通孔，每个所述第一夹紧板的上表面均固定连接有检测柱，每个所述检测柱的顶端均贯穿检测通孔并延伸至压力传感器的检测端。
[0008]进一步，所述固定架的下方放置有底座，所述底座的上表面开设有两组滑动槽，每组所述滑动槽的内部均滑动连接有滑动块，每组所述滑动块的上表面均与每个固定架的底面固定连接，两个所述固定架相互远离的一侧面均固定连接有握把。
[0009]进一步，每组所述液压杆的外表面均固定连接有加固块，每组所述加固块的上表面均与每个固定架的内顶壁固定连接。
[0010]进一步，每组所述伸缩杆的外表面均套设有缓冲弹簧，每组所述缓冲弹簧的底端均与每个固定架的内底壁固定连接，每组所述缓冲弹簧的上表面均与第二夹紧板的底面固
定连接。
[0011]进一步，每个所述第一夹紧板的底面和每个第二夹紧板的上表面均固定连接有缓冲垫板，每组所述缓冲垫板的外表面均呈齿状。
[0012]进一步，每组所述滑动槽的内底壁均固定连接有两个橡胶垫，每组所述橡胶垫相互远离的一侧面均与每组滑动槽的内侧壁固定连接。
[0013]进一步，所述底座的底面固定连接有两个安装板，每个所述安装板的正面均开设有安装通孔。
[0014]本技术的有益效果在于:
[0015]1.本技术通过设置有液压杆提供的动力能够带动支撑板和第一夹紧板对半导体材料进行夹持，当第一夹紧板与半导体材料相接触后，由于第一夹紧板继续向下的压力，能够推动检测柱向上运动，使检测柱进入压力传感器的内部，可以得出夹紧装置夹持的具体压力，从而方便人们进行调整，起到能够精确控制夹持力度，防止由于夹持压力不可控，导致半导体材料出现损坏的作用。
[0016]2.本技术通过设置有压缩弹簧配合第一夹持板和支撑板，能够对半导体产品进行夹持的同时，利用压缩弹簧的弹力，能够吸收一部分压力，防止压力过大对半导体产品造成伤害，而且由于压缩弹簧具有一定的伸缩空间，所以能够对不同厚度的半导体材料进行夹持，起到提高自动夹持设备夹持范围的作用。
[0017]3.本技术通过设置有伸缩杆配合第二夹紧板和固定架，能够进一步缓解过大的压力，保证了半导体材料在夹持时的完整性，并且配合缓冲弹簧，能够进一步增加夹持装置的夹持范围，无需工作人员因为不同厚度的半导体材料频繁更换夹持设备，起到有效降低测试成本的作用。
[0018]简而言之，本申请技术方案利用压力传感器收集具体压力数据，便于人们精准的调整夹持的力度，能够对半导体材料进行稳定夹持的同时，不对其本身造成伤害，而且通过压缩弹簧、伸缩杆和缓冲弹簧，能够有效提高夹持装置的夹持范围。
[0019]本技术的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本技术的实践中得到教导。本技术的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
[0020]图1为本技术固定架正视图的结构示意图；
[0021]图2为本技术固定架侧视图的结构示意图；
[0022]图3为本技术底座侧视图剖视图的结构示意图；
[0023]图4为本技术支撑板侧视图剖视图的结构示意图；
[0024]图中：1、固定架；2、缓冲弹簧；3、伸缩杆；4、安装板；5、安装通孔；6、缓冲垫板；7、握把；8、第一夹紧板；9、加固块；10、液压杆；11、第二夹紧板；12、压缩弹簧；13、底座；14、检测柱；15、压力传感器；16、支撑板；17、滑动槽；18、滑动块；19、橡胶垫；20、检测通孔。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0026]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0028]在本技术的上述描述中，需要说明的是，术语“一侧”、“另一侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]此外本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体材料疲劳测试用自动夹持设备，包括两个固定架(1)、两组液压杆(10)和两个压力传感器(15)，其特征在于：每组所述液压杆(10)的顶端均与固定架(1)的内顶壁固定连接，每组所述液压杆(10)的输出端均固定连接有支撑板(16)，每个所述支撑板(16)的底面均固定连接有两个压缩弹簧(12)，每组所述压缩弹簧(12)的底端均共同固定连接有第一夹紧板(8)，每个所述压力传感器(15)的底面均与每个支撑板(16)的上表面固定连接，每个所述固定架(1)的内底壁均固定连接有两个伸缩杆(3)，每组所述伸缩杆(3)的伸缩端均共同固定连接有第二夹紧板(11)，每个所述支撑板(16)的上表面均开设有检测通孔(20)，每个所述第一夹紧板(8)的上表面均固定连接有检测柱(14)，每个所述检测柱(14)的顶端均贯穿检测通孔(20)并延伸至压力传感器(15)的检测端。2.根据权利要求1所述的一种半导体材料疲劳测试用自动夹持设备，其特征在于：所述固定架(1)的下方放置有底座(13)，所述底座(13)的上表面开设有两组滑动槽(17)，每组所述滑动槽(17)的内部均滑动连接有滑动块(18)，每组所述滑动块(18)的上表面均与每个固定架(1)的底面固定连接，两个所述固定架(1)相互远离的一侧面...
【专利技术属性】
技术研发人员：邢小亮，
申请(专利权)人：无锡世百德微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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