真空转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空转移装置，应用于真空室中，包括：制冷装置，设于真空室内；放置台，设于真空室内，包括第一位移台和样品台，第一位移台与样品台连接，用于驱动样品台移动，样品台用于承载第一样品；转移台，设于真空室内，包括第二位移台和转移臂，第二位移台与转移臂连接，用于驱动转移臂移动，转移臂用于转移第二样品，并使第二样品与第一样品相贴合；显微镜，位于真空室外，并正对样品台。本实用新型专利技术的真空转移装置能够在低温环境下对第一样品进行转移。一样品进行转移。一样品进行转移。

【技术实现步骤摘要】
真空转移装置


[0001]本技术涉及微纳米加工
，尤其涉及一种真空转移装置。

技术介绍

[0002]将不同的二维材料进行堆叠组合，可以人工创造出诸多自然界不存在的结构，存在诸多新奇的物理现象。现有的二维材料光学转移方法大多在大气环境或者手套箱内实施，并且实验的环境温度也高于室温。
[0003]然而，较高温度环境下进行的光学转移方法，无法适应活泼性高，易变性的样品。

技术实现思路

[0004]本技术旨在解决现有技术中存在的技术问题。为此，本技术提出一种真空转移装置，能够在低温环境下对二维材料进行转移。
[0005]根据本技术的第一方面实施例的真空转移装置，包括：真空室；制冷装置，设于所述真空室内；放置台，设于所述真空室内，包括第一位移台和样品台，所述第一位移台与所述样品台连接，用于驱动所述样品台移动，所述样品台用于承载第一样品；转移台，设于所述真空室内，包括第二位移台和转移臂，所述第二位移台与所述转移臂连接，用于驱动所述转移臂移动，所述转移臂用于转移第二样品，并使所述第二样品与所述第一样品相贴合；显微镜，位于所述真空室外，并正对所述样品台。
[0006]根据本技术实施例的真空转移装置，至少具有如下有益效果：通过在真空室中设置制冷装置用于对真空室进行制冷，并通过导温件对放置台中的样品台进行制冷，使得放置于样品台上的第一样品能够处于低温状态，通过放置台中的第一位移台对样品台在X方向、Y方向以及Z方向进行移动，以驱动第一样品移动至预定位置，从而与转移台中的转移臂上的第二样品进行相对准，同时转移台中的第二位移台也对转移臂在X方向、Y方向以及Z方向进行移动，以使得转移臂上的第二样品和样品台上的第一样品相对准，并通过位于真空室外的显微镜进行观察，使得第一样品和第二样品能够得到更精确的对准，从而完成材料的转移，保证了材料转移的稳定性和精度。
[0007]根据本技术的一些实施例，还包括导温件，设于所述真空室内，连接于所述制冷装置和所述样品台之间，用于对所述样品台进行制冷。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述放置台还包括隔热台，所述隔热台设于所述样品台和所述第一位移台之间。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述放置台还包括加热器，所述加热器设于所述样品台内，用于对所述样品台进行加热。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述转移台还包括压电位移台，连接于所述转移臂和所述第二位移台之间，用于驱动所述转移臂升降。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述转移臂包括玻璃板和连接件，所述玻璃板通过所述连接件和所述压电位移台连接。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述导温件与所述制冷装置可拆卸连接。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述真空室设有收容腔，所述收容腔与外界环境相连通，所述真空室上开设有通孔，所述真空转移装置还包括透光件，所述透光件封装所述通孔，所述显微镜设于所述收容腔内并正对所述透光件。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述制冷装置包括制冷台以及与所述制冷台相连通的冷源流入管和冷源流出管，所述冷源流入管用于向所述制冷台中流入冷源，所述冷源流出管用于流出所述制冷台中的冷源。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述真空室还包括惰性气体入口，所述惰性气体入口用于通入惰性气体。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0018]图1为本技术实施例的真空转移装置的结构示意图。
[0019]附图标记：
[0020]真空转移装置100；
[0021]制冷装置110、制冷台111、冷源流入管112、冷源流出管113；
[0022]放置台120、第一位移台121、样品台122、隔热台123、加热器124；
[0023]导温件130；
[0024]转移台140、第二位移台141、转移臂142、玻璃板1421、连接件1422、压电位移台143、载物台144、支撑座145；
[0025]显微镜150；
[0026]真空室200；
[0027]收容腔210；
[0028]真空抽口220；
[0029]惰性气体入口230；
[0030]透光件300。
具体实施方式
[0031]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0032]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0033]在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、
小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0034]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0035]本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0036]请参阅图1，为本技术实施例提供的真空转移装置100，包括制冷装置110、放置台120、转移台140、显微镜150以及真空室200。
[0037]其中，制冷装置110设于真空室200内，用于提供低温环境；放置台120设于真空室200内，包括第一位移台121和样品台122，第一位移台121与样品台122连接，用于驱动样品台122在移动，样品台122用于放置第一样品；转移台140包括第二位移台141和转移臂142，第二位移台141与转移臂142连接，用于驱动转移臂142移动，转移臂142用于转移第二样品，并使第二样品与第一样品相贴合；显微镜150位于真空室200外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空转移装置，其特征在于，包括：真空室；制冷装置，设于所述真空室内；放置台，设于所述真空室内，包括第一位移台和样品台，所述第一位移台与所述样品台连接，用于驱动所述样品台移动，所述样品台用于承载第一样品；转移台，设于所述真空室内，包括第二位移台和转移臂，所述第二位移台与所述转移臂连接，用于驱动所述转移臂移动，所述转移臂用于转移第二样品，并使所述第二样品与所述第一样品相贴合；显微镜，位于所述真空室外，并正对所述样品台。2.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，还包括导温件，设于所述真空室内，连接于所述制冷装置和所述样品台之间，用于对所述样品台进行制冷。3.根据权利要求2所述的真空转移装置，其特征在于，所述导温件与所述制冷装置可拆卸连接。4.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述放置台还包括隔热台，所述隔热台设于所述样品台和所述第一位移台之间。5.根据权利要求1所述的真空转移装置，其特征在于，所述放置台还包括加热器，所述加热器设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立源，史刚，吴超，陈千雪，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：新型
国别省市：