高纯气体椭圆球形腔体缓冲器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，其包括椭圆球形腔体、高纯气体进口和高纯气体出口；所述椭圆球形腔体设置于缓冲器内，用于缓冲通入的高纯气体；所述高纯气体进口设置于缓冲器上，且通过进口管道将高纯气体导入所述椭圆球形腔体底部；所述高纯气体出口设置于所述缓冲器顶部，用于气体的排出。本实用新型专利技术通过改进其内部结构和进出气体方式，在首次使用时提高高纯气体从下至上流动的过程中排除椭圆球形腔体中其它杂质气体的速度，缩短了高纯气体的初次置换时间，减少了高纯气体的浪费。纯气体的浪费。纯气体的浪费。

【技术实现步骤摘要】
高纯气体椭圆球形腔体缓冲器


[0001]本技术涉及于化工机械领域，具体涉及一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器。

技术介绍

[0002]目前，现有高纯气体缓冲器采用的是内腔为圆柱体或立方体式的结构，采用这两种方法处理高纯气体初次置换时间长，浪费大量的高纯气体，从而导致成本高等缺点。为此，如何很好的使高纯气体的初次置换时间缩短，以及减少高纯气体的浪费成了亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，旨在解决的技术问题之一是：缩短高纯气体的初次置换时间，减少气体用量。
[0004]考虑到现有技术的上述问题，根据本技术公开的一个方面，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，其包括：
[0006]椭圆球形腔体，所述椭圆球形腔体设置于缓冲器内，用于缓冲通入的高纯气体；
[0007]高纯气体进口，所述高纯气体进口设置于缓冲器上，且通过进口管道将高纯气体导入所述椭圆球形腔体底部；
[0008]高纯气体出口，所述高纯气体出口设置于所述缓冲器顶部，用于气体的排出。
[0009]为了更好地实现本技术，进一步的技术方案是：
[0010]进一步地，所述进口管道将高纯气体导入所述椭圆球形腔体底部的管口与所述椭圆球形腔体的最低点的距离为所述进口管道的外径。
[0011]进一步地，所述椭圆球形腔体按长轴竖直、短轴水平的方式设置。
[0012]进一步地，所述高纯气体出口设置于所述椭圆球形腔体的最高点处。
[0013]进一步地，与所述高纯气体出口连接的出口管道的管口高于或者平于所述椭圆球形腔体的最高处。
[0014]进一步地，所述高纯气体进口设置于缓冲器中部。
[0015]进一步地，所述椭圆球形腔体内壁光滑。
[0016]进一步地，所述缓冲器由两个半椭圆球形焊接而成。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果之一是：
[0018]本技术的一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，通过改进其内部结构和进出气体方式，可在首次使用时提高高纯气体从下至上流动的过程中排除椭圆球形腔体中其它杂质气体的速度，缩短了高纯气体的初次置换时间，减少了高纯气体的浪费等。
附图说明
[0019]为了更清楚的说明本申请文件实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例
或现有技术的描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是对本申请文件中一些实施例的参考，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的情况下，还可以根据这些附图得到其它的附图。
[0020]图1为根据本技术一个实施例的高纯气体椭圆球形腔体缓冲器的结构示意图。
[0021]其中，附图中的附图标记所对应的名称为：
[0022]1－椭圆球形腔体，2－高纯气体进口，3－进口管道，4－高纯气体出口，5－焊缝。
具体实施方式
[0023]下面结合实施例对本技术作进一步地详细说明，但本技术的实施方式不限于此。
[0024]如图1所示，一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，其包括椭圆球形腔体1、高纯气体进口2和高纯气体出口4；所述椭圆球形腔体1设置于缓冲器内，用于缓冲通入的高纯气体；所述高纯气体进口2设置于缓冲器上，且通过进口管道3将高纯气体导入所述椭圆球形腔体1底部；所述高纯气体出口4设置于所述缓冲器顶部，用于气体的排出。本实施例的缓冲器，将现有技术中的圆柱体或立方体式的腔体结构设置为椭圆球形腔体1，在使用中气体通过进口管道3，进入椭圆球形腔体1中的底部，然后气体逐渐向上部的出口流动，在流动的过程中排除椭圆球形腔体1中的其它气体。通过本椭圆球形腔体1的结构，其优点是能够很好的使高纯气体的初次置换时间缩短，以及浪费的气体大量减少等。
[0025]对于以上实施例提到的高纯气体为本领域技术人员所通常认为的范围，其并不对高纯气体具体临界值做出限定。当然对于本高纯气体椭圆球形腔体缓冲器也可用于气体的缓冲，并属于本申请所请求保护的范围内。
[0026]一般而言，进口管道3将高纯气体导入所述椭圆球形腔体1底部的具体位置，即进口管道3延伸椭圆球形腔体1内的管口高度应保证设计最大气体流量通过。一优选的方案是，所述进口管道3将高纯气体导入所述椭圆球形腔体1底部的管口与所述椭圆球形腔体1的最低点的距离为所述进口管道3的外径。
[0027]椭圆球形腔体1的布置方式可优选图1所示的布置，即所述椭圆球形腔体1按长轴竖直、短轴水平的方式设置，其竖直方向的尺寸大于水平宽度尺寸。该设置方式的椭圆球形腔体1，更有利于其他气体的排出。
[0028]对于缓冲器顶部设置的高纯气体出口4，其进一步可设置于所述高纯气体出口4设置于所述椭圆球形腔体1的最高点处，且与所述高纯气体出口4连接的出口管道的管口高于或者平于所述椭圆球形腔体1的最高处，即出口管道不能伸到椭圆球形腔体1内。
[0029]出口管道与缓冲器本体的连接方式可采用焊接的方式，当然除此之外也还可采用其他连接方式。
[0030]高纯气体进口2一般设置可设置于缓冲器任一处，优选可设置在如图1所示的缓冲器中部/椭圆球形腔体1中间，进口管道3与之连接后一直伸到椭圆球形腔体1的最低点，但保证设计最大气体流量通过。
[0031]另一实施例，所述椭圆球形腔体1内壁应光滑，即有较高的光洁度。
[0032]制备高纯气体椭圆球形腔体缓冲器的方式，可采用光洁度非常高的两个半椭圆球
形焊接而形成椭圆球形腔体1。一种优选方式是，沿竖直方向将其分为两个半椭圆球形，然后焊接，形成竖直面的焊缝5，如图1所示。若沿水平方向将其分为两个半椭圆球形，然后焊接形成缓冲器，该方式图中未示出。
[0033]综上而言，本高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，通过改进其内部结构和进出气体方式，可在首次使用时提高高纯气体从下至上流动的过程中排除椭圆球形腔体1中其它杂质气体的速度。
[0034]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分相互参见即可。
[0035]在本说明书中所谈到的“一个实施例”、“另一个实施例”、“实施例”、等，指的是结合该实施例描述的具体特征、结构或者特点包括在本申请概括性描述的至少一个实施例中。在说明书中多个地方出现同种表述不是一定指的是同一个实施例。进一步来说，结合任一实施例描述一个具体特征、结构或者特点时，所要主张的是结合其他实施例来实现这种特征、结构或者特点也落在本技术的范围内。
[0036]尽管这里参照本技术的多个解释性实施例对本技术进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，其特征在于包括：椭圆球形腔体(1)，所述椭圆球形腔体(1)设置于缓冲器内，用于缓冲通入的高纯气体；高纯气体进口(2)，所述高纯气体进口(2)设置于缓冲器上，且通过进口管道(3)将高纯气体导入所述椭圆球形腔体(1)底部；高纯气体出口(4)，所述高纯气体出口(4)设置于所述缓冲器顶部，用于气体的排出。2.根据权利要求1所述的高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，其特征在于所述进口管道(3)将高纯气体导入所述椭圆球形腔体(1)底部的管口与所述椭圆球形腔体(1)的最低点的距离为所述进口管道(3)的外径。3.根据权利要求1所述的高纯气体椭圆球形腔体缓冲器，其特征在于所述椭圆球形腔体(1)按...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜锦龙，王衡遥，吴浩月，叶根，廖烽，
申请(专利权)人：成都中科普瑞净化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：