工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种工业用机器人，其具备：具有在上下方向上以规定间距重叠的多个手的装载机构，其中，即使能够在不拆下其他手的装载部的情况下单独地装拆多个手各自的装载部，也可以使装载机构的基端侧部分小型化。在所述工业用机器人中，例如，在手(15)上，构成手(15)的装载部的一部分的被固定部(38)，通过头部(62a)配置于下侧的螺栓(62)，而固定于手(15)的固定部(50)。在配置于螺栓(62)的下侧的所有固定部(51～59)及被固定部(39～47)，形成有用于使工具(T)从配置于最下方的手(24)的下侧卡合于头部(62a)的贯通孔(h1)，贯通孔(h1)的内径大于头部(62a)的外径。径大于头部(62a)的外径。径大于头部(62a)的外径。

【技术实现步骤摘要】
工业用机器人


[0001]本专利技术涉及一种搬送半导体晶片等搬送对象物的工业用机器人。

技术介绍

[0002]目前，已知有一种搬送半导体晶片等基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人具备：装载多个基板的基板装载机构；和将基板装载机构的基端侧支承为能够转动的第一臂。基板装载机构具备：具有装载基板的手叉并且在上下方向上以规定间距重叠的五个手。手具备：固定手叉的叉固定部；和用于将手叉固定到叉固定部的带头螺栓。叉固定部构成手的基端侧部分。
[0003]在五个手中的配置于最上方的手及从上数配置于第二个的手中，手叉通过从上侧拧入的螺栓固定于叉固定部。配置于最上方的手的叉固定部和从上数配置于第二个的手的叉固定部，配置于在前后方向上错开的位置。从上数配置于第二个的手的叉固定部，配置于未被配置于最上方的手从上侧覆盖的位置。
[0004]另外，在配置于最下方的手及从下数配置于第二个的手中，手叉通过从下侧拧入的螺栓固定于叉固定部。配置于最下方的手的叉固定部和从下数配置于第二个的手的叉固定部，配置于在前后方向上错开的位置。从下数配置于第二个手的叉固定部，配置于未被配置于最下方的手从下侧覆盖的位置。
[0005]此外，从上数配置于第三个的手的叉固定部，配置于在前后方向上与其余四个手的叉固定部错开的位置。所述叉固定部配置于未被其余四个手从上侧及下侧中的至少任一方覆盖的位置。
[0006]因此，在专利文献1所记载的工业用机器人中，即使五个手配置成在上下方向上重叠，另外，即使在所有手的手叉被固定在叉固定部的状态下，也能够单独地装拆五个手各自的螺栓。因此，在所述工业用机器人中，即使五个手以在上下方向上重叠的方式配置，也能够在不拆下其他手的手叉的情况下相对于叉固定部单独地装拆五个手各自的手叉，工业用机器人的维护性提高。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：日本专利特开2010－179420号公报

技术实现思路

[0010]专利技术所要解决的技术问题
[0011]在专利文献1所记载的工业用机器人中，最上方的手的叉固定部和从上数第二个手的叉固定部配置于在前后方向上错开的位置，且最下方的手的叉固定部和从下数第二个手的叉固定部配置于在前后方向上错开的位置，并且，从上数配置于第三个的手的叉固定部配置于在前后方向上与其余四个手的叉固定部错开的位置，使得不拆下其他手的手叉的情况下可以相对于叉固定部单独地装拆五个手各自的手叉。因此，在专利文献1所记载的工
业用机器人中，能够提高维护性，另一方面，基板装载机构的基端侧部分大型化，其结果是，工业用机器人有可能大型化。
[0012]另外，在专利文献1所记载的工业用机器人中，当增加基板装载机构所具备的手的数量以便可以一次搬送更多的基板时，如果以各手的叉固定部在上下方向上不重叠的状态配置各手的叉固定部，以便不拆下其他手的手叉的情况下可以相对于叉固定部单独地装拆多个手各自的手叉，则基板装载机构的基端侧部分更加大型化，其结果是，工业用机器人有可能大型化。
[0013]于是，本专利技术的课题在于提供一种工业用机器人，具备装载机构，所述装载机构具有在上下方向上以规定间距重叠的多个手并且装载多个搬送对象物，其中，即使能够在不拆下其他手的装载部的情况下单独地装拆多个手各自的装载部，也能够使装载机构的基端侧部分小型化。
[0014]解决技术问题所采用的技术方案
[0015]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种工业用机器人，具备：装载多个搬送对象物的装载机构，其中，装载机构具备：具有搬送对象物的装载部且在上下方向上以规定间距重叠的至少三个以上的多个手。所述手具备：固定装载部的被固定部的固定部；和用于将被固定部固定到固定部的带头的螺栓。多个手的固定部在上下方向上以规定间距重叠。被固定部通过以上下方向为轴向配置的螺栓，以在上下方向上与固定部重叠的状态固定于固定部。将头部配置于下侧的螺栓设为向上螺栓，将头部配置于上侧的螺栓设为向下螺栓，将多个手中除了配置于最上方的手和配置于最下方的手之外的手且具有向上螺栓的手设为第一手，将多个手中除了配置于最上方的手和配置于最下方的手之外的手且具有向下螺栓的手设为第二手，则在装载机构具备第一手的情况下，在配置于第一手的向上螺栓的下侧的所有手的固定部及被固定部，形成有用于将工具从配置于最下方的手的下侧卡合于第一手的向上螺栓的头部的贯通孔；在装载机构具备第二手的情况下，在配置于第二手的向下螺栓的上侧的所有手的固定部及被固定部，形成有用于将工具从配置于最上方的手的上侧卡合于第二手的向下螺栓的头部的贯通孔。贯通孔的内径大于头部的外径。
[0016]在本专利技术的工业用机器人中，手具备：固定装载部的被固定部的固定部；和用于将被固定部固定到固定部的带头的螺栓。被固定部通过以上下方向为轴向配置的螺栓，以在上下方向上与固定部重叠的状态固定于固定部。另外，在本专利技术中，多个手的固定部在上下方向上以规定间距重叠，但在装载机构具备第一手的情况下，在配置于第一手的向上螺栓的下侧的所有手的固定部及被固定部，形成有用于将工具从配置于最下方的手的下侧卡合于第一手的向上螺栓的头部的贯通孔；在装载机构具备第二手的情况下，在配置于第二手的向下螺栓的上侧的所有手的固定部及被固定部，形成有用于将工具从配置于最上方的手的上侧卡合于第二手的向下螺栓的头部的贯通孔。此外，在本专利技术中，贯通孔的内径大于头部的外径。
[0017]因此，在本专利技术中，即使多个手的固定部在上下方向上重叠，并且，即使在所有手的装载部被固定在固定部的状态下，也能够使用工具，从配置于最下方的手的下侧或者从配置于最上方的手的上侧，装拆多个手的各自的螺栓。因此，在本专利技术中，即使多个手的固定部在上下方向上重叠，也能够在不拆下其他手的装载部的情况下，单独地装拆多个手各自的装载部。另外，在本专利技术中，由于多个手的固定部在上下方向上重叠，因此，能够使装载
机构的基端侧部分小型化。即，在本专利技术中，即使在能够不拆下其他手的装载部的情况下单独地装拆多个手各自的装载部，也能够使装载机构的基端侧部分小型化。
[0018]在本专利技术中，理想的是，配置于最上方的手所具有的螺栓是向下螺栓，多个手中除了配置于最上方的手之外的其余的手所具有的螺栓是向上螺栓。如果这样构成，则能够使使用工具松动的向上螺栓因自重而落到配置于最下方的手的下侧。因此，能够容易地拆下除了配置于最上方的手之外的其余的手所具有的螺栓，其结果是，能够容易地进行螺栓的拆下作业。
[0019]在本专利技术中，理想的是，手在搬送搬送对象物时沿水平方向直线移动，将与手的移动方向和上下方向正交的方向设为正交方向，则被固定部通过相对于正交方向上的手的中心配置于正交方向的两侧的螺栓而固定于固定部，多个手中除了配置于最上方的手之外的其余的手所具有的螺栓，随着从配置于上侧的手朝向配置于下侧的手而朝向正交方向的内侧逐渐错开。如果这样构成，多个手的固定部在上下方向上以规定间距重叠，即使不能从上侧目视确认除了配置于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工业用机器人，具备：装载多个搬送对象物的装载机构，所述工业用机器人的特征在于，所述装载机构具备：具有所述搬送对象物的装载部且在上下方向上以规定间距重叠的至少三个以上的多个手，所述手具备：固定所述装载部的被固定部的固定部；和用于将所述被固定部固定到所述固定部的带头的螺栓，多个所述手的所述固定部在上下方向上以规定间距重叠，所述被固定部通过以上下方向为轴向配置的所述螺栓，以在上下方向上与所述固定部重叠的状态固定于所述固定部，将头部配置于下侧的所述螺栓设为向上螺栓，将头部配置于上侧的所述螺栓设为向下螺栓，将多个所述手中除了配置于最上方的所述手和配置于最下方的所述手之外的所述手且具有所述向上螺栓的所述手设为第一手，将多个所述手中除了配置于最上方的所述手和配置于最下方的所述手之外的所述手且具有所述向下螺栓的所述手设为第二手，则在所述装载机构具备所述第一手的情况下，在配置于所述第一手的所述向上螺栓的下侧的所有所述手的所述固定部及所述被固定部，形成有用于将工具从配置于最下方的所述手的下侧卡合于所述第一手的所述向上螺栓的所述头部的贯通孔，在所述装载机构具备所述第二手的情...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗林保，风间俊道，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：