分篮倒片器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种分篮倒片器，包括推板、把手，推板后端设置有把手；推板前端为弧形面，且在端面上设有凹台。本实用新型专利技术有益效果：解决目前倒片器无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题，且倒片器与硅片的接触面为弧形面能够有效避免对硅片的损伤。形面能够有效避免对硅片的损伤。形面能够有效避免对硅片的损伤。

【技术实现步骤摘要】
分篮倒片器


[0001]本技术属于单晶硅片生产领域，尤其是涉及一种分篮倒片器。

技术介绍

[0002]目前单晶硅片生产加工过程中，因为生产订单和产品种类的问题，需要经常将一篮硅片分配到两个硅片篮中。目前的硅片倒片器大多是根据片篮结构设计，只能实现片篮之间的硅片全部的转移，无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作，且其与硅片的接触面多为平面结构，在倒片的过程中会对硅片侧面造成损伤。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种分篮倒片器，以解决目前倒片器无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题，避免倒片过程对硅片造成损伤。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]分篮倒片器，包括推板、把手，所述推板后端设置有把手；所述推板前端为弧形面，且在端面上设有凹台。
[0006]进一步的，所述推板型号为多种，不同型号的推板前端的弧形面直径不同，适用于不同直径的硅片；
[0007]进一步的，所述推板为PFA塑料构件。
[0008]进一步的，所述把手包括手柄、连接件，所述手柄通过连接件与推板连接，所述推板的尾端为燕尾榫，所述连接件的前端设有对应的燕尾槽，所述推板通过燕尾榫与连接件可拆卸连接；所述连接件内部还设有用于对燕尾榫限位的限位组件。
[0009]进一步的，所述限位组件包括顶珠、弹簧，所述连接件内部设有安装孔，所述顶珠和弹簧均安装于安装孔内侧，其中，顶珠设置于弹簧前端，所述顶珠直径大于弹簧直径；所述燕尾槽后端设有与安装孔连通的锥形孔，所述锥形孔的直径小于顶珠的直径，所述燕尾榫的尾端开有与顶珠对应的限位槽。
[0010]进一步的，所述限位组件的数量为一个以上。
[0011]进一步的，所述连接件包括安装块、顶紧板，所述安装孔设置于安装块的后端，通过所述顶紧板将安装孔封闭；所述安装块后端中间设有螺纹孔，所述顶紧板中间设有与螺纹孔对应的通孔，所述手柄前端设有与螺纹孔对应的螺杆，所述螺杆直径小于手柄直径，所述通孔直径大于螺杆直径且小于手柄直径，所述手柄通过螺杆与安装块螺纹连接。
[0012]进一步的，所述顶紧板前端设有侧板，所述安装块后端侧面设有与侧板对应的凹台。
[0013]进一步的，所述手柄、连接件为POM塑料构件。
[0014]进一步的，所述把手外表面设有环形凹槽。
[0015]相对于现有技术，本技术所述的分篮倒片器具有以下有益效果：
[0016](1)本技术所述的分篮倒片器，通过推板和把手的组合解决目前倒片器无法
实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题。倒片器与硅片的接触面为弧形面能够有效避免对硅片的损伤。凹台结构可以在倒片过程中对硅片起到固定作用，可以防止倒片过程中倒片器从硅片上脱落而对硅片造成划伤。
[0017](2)本技术所述的分篮倒片器，推板为PFA塑料构件，具有良好的耐腐蚀性，可以适用于化学药液较多的工作环境；摩擦系数较低，与硅片表面接触也不会对硅片造成损伤；具有良好的电性能，不会因接触或摩擦产生静电，避免了硅片表面吸附灰尘颗粒。
[0018](3)本技术所述的分篮倒片器，手柄、安装块和顶紧板为POM塑料构件，能够很好地防止使用过程中变形，保证了倒片器结构的稳定性。
[0019](4)本技术所述的分篮倒片器，通过连接件和限位组件的组合，使更换推板变得十分便捷，提高了倒片的工作效率。
附图说明
[0020]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0021]图1为本技术实施例所述的分篮倒片器结构示意图；
[0022]图2为本技术实施例所述的推板结构示意图；
[0023]图3为本技术实施例所述的分篮倒片器剖面结构示意图；
[0024]图4为本技术实施例所述的把手结构示意图。
[0025]附图标记说明：
[0026]1‑
推板；2
‑
把手；3
‑
限位槽；4
‑
安装块；5
‑
顶紧板；6
‑
手柄；7
‑
顶珠；8
‑
弹簧；9
‑
螺纹孔；10
‑
通孔；11
‑
螺杆；12
‑
凹槽；13
‑
燕尾槽；14
‑
锥形孔； 15
‑
安装孔。
具体实施方式
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0028]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0029]本技术分篮倒片器如图1所示，包括推板1、把手2，所述推板1 后端设置有把手2；所述推板1前端为弧形面，且在端面上设有凹台。通过推板1和把手2的组合解决目前倒片器无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题。倒片器与硅片的接触面为圆弧结构能够有效避免对硅片的损伤。凹台可以在倒片过程中对硅片起到固定作用，可以防止倒片过程中倒片器从硅片上脱落而对硅片造成划伤。凹台更加贴合硅片的边缘结构，且能够适用于不同厚度硅片的倒片作业。实际使用过程中，操作人员用手握紧把手 2使推板1凹台圆弧面水平对齐硅片边缘，推动倒蓝分片装置，将硅片转移至目标硅片篮中。
[0030]推板1型号为多种，不同型号的推板1前端的弧形面直径不同，适用于不同直径的硅片，推板1与把手2可拆卸连接。一个把手2安装有一种型号的推板1，当需要对不同直径的硅片进行分篮倒片时，可以在把手2上更换与硅片匹配的推板1，针对目前生产过程中常用规格的硅片，不同推板1弧形面的圆弧直径为155mm和205mm等。
[0031]推板1为PFA塑料构件，PFA塑料为少量全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共
聚物，在实际使用过程中，由PFA塑料加工而来的推板1具有良好的耐腐蚀性，可以适用于化学药液较多的工作环境；摩擦系数较低，与硅片表面接触也不会对硅片造成损伤；具有良好的电性能，不会因接触或摩擦产生静电，避免了硅片表面吸附灰尘颗粒。
[0032]本技术分篮倒片器如图2、图3所示，把手2包括手柄6、连接件，手柄6通过连接件与推板1连接，推板1的尾端为燕尾榫，连接件的前端设有对应的燕尾槽13，推板1通过燕尾榫与连接件可拆卸连接，连接件内部还设有用于对燕尾榫限位的限位组件，限位组件可以为定位销和定位珠等。本技术实施例的分篮倒片器剖面结构示意图如图3所示，限位组件包括顶珠7、弹簧8，所述连接件内部设有安装孔15，所述顶珠7和弹簧8均安装于安装孔15内侧，其中，顶珠7设置于弹簧8前端，所述顶珠7直径大于弹簧8直径；所述燕尾槽13后端设有与安装孔15连通的锥形孔14，所述锥形孔14的直径小于顶珠7的直本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.分篮倒片器，其特征在于：包括推板(1)、把手(2)，所述推板(1)后端设置有把手(2)；所述推板(1)前端为弧形面，且在端面上设有凹台；所述推板(1)型号为多种，不同型号的推板(1)前端的弧形面直径不同，适用于不同直径的硅片；所述把手(2)包括手柄(6)、连接件，手柄(6)通过连接件与推板(1)连接，所述推板(1)的尾端为燕尾榫，所述连接件的前端设有对应的燕尾槽(13)，所述推板(1)通过燕尾榫与连接件可拆卸连接；所述连接件内部还设有用于对燕尾榫限位的限位组件。2.根据权利要求1所述的分篮倒片器，其特征在于：所述推板(1)为PFA塑料构件。3.根据权利要求1所述的分篮倒片器，其特征在于：所述限位组件包括顶珠(7)、弹簧(8)，所述连接件内部设有安装孔(15)，所述顶珠(7)和弹簧(8)均安装于安装孔(15)内侧，其中，顶珠(7)设置于弹簧(8)前端，所述顶珠(7)直径大于弹簧(8)直径；所述燕尾槽(13)后端设有与安装孔(15)连通的锥形孔(14)，所述锥形孔(14)的直径小于顶珠(7)的直径，所述燕尾...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏荣义，白玉麟，张堪，谢琼震，韩建威，龚小龙，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：