本实用新型专利技术公开了一种高效率轻减装置，包括底座、第一安装板和第二安装板，所述底座的一端安装有第一安装板，且底座的另一端安装有第二安装板，所述第二安装板远离第一安装板一端的顶部安装有伺服电机，且伺服电机的输出端安装有转轴，所述转轴穿过第二安装板。本实用新型专利技术安装有第一轴承、连接块、螺纹管、螺纹杆、转轴和伺服电机，使用时，伺服电机通过转轴带动螺纹杆顺时针或逆时针转动，可使两组螺纹管通过螺纹同时向螺纹杆的两端或同时向螺纹杆的中间位置处移动，螺纹管带动限位板一起移动，即可对两组限位板之间的间距进行调节，使得装置能够适用于不同规格的晶圆料盒，装置的可调节性较强，适用性较强。适用性较强。适用性较强。
【技术实现步骤摘要】
一种高效率轻减装置
[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种高效率轻减装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，生产晶圆时，晶圆料盒在移动过程中位置容易出现偏差，使得晶圆出现偏差，影响晶圆的上料，需要通过轻减装置对料盒进行限位、纠偏处理。
[0003]现有的高效率轻减装置在使用时，限位板的安装位置固定，使得装置只能适用于固定规格的料盒，不能适用于不同规格的料盒，装置的适用性较差，且在使用过程中，料盒容易与限位板之间接触，并产生滑动摩擦，装置不能辅助料盒上料，并容易使料盒擦坏，因此，新型高效率轻减装置的研发受到越来越多研究人员的重视。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种高效率轻减装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高效率轻减装置，包括底座、第一安装板和第二安装板，所述底座的一端安装有第一安装板，且底座的另一端安装有第二安装板，所述第二安装板远离第一安装板一端的顶部安装有伺服电机，且伺服电机的输出端安装有转轴，所述转轴穿过第二安装板，所述第一安装板靠近第二安装板一端的顶部安装有第一轴承，且第一轴承的内部安装有螺纹杆，所述螺纹杆远离第一轴承的一端与转轴连接，所述螺纹杆的外侧螺纹安装有两组螺纹管，且螺纹管的顶部皆安装有限位板，所述限位板的顶部皆安装有指示灯，且限位板远离底座的一端皆安装有单片机，所述限位板靠近底座的一端的顶部皆安装有距离传感器，所述距离传感器的输出端皆通过导线与单片机的输入端电性连接，所述单片机的输出端皆通过导线与伺服电机的输入端电性连接，所述第一安装板远离底座一端的顶部安装有控制面板，所述控制面板的输出端通过导线与伺服电机的输入端电性连接。
[0006]优选的，所述限位板靠近距离传感器一端的底部皆对称安装有一组第二轴承，且第二轴承的内部皆安装有转杆，所述转杆的外侧皆安装有辊筒。
[0007]优选的，所述底座顶部的两端皆设置有滑槽，且滑槽皆通过滑块安装有连接块，所述连接块远离滑槽的一端皆与螺纹管连接。
[0008]优选的，所述螺纹杆的外侧对称设置有方向相反的螺纹。
[0009]优选的，所述螺纹管的外侧皆设置有防锈层。
[0010]优选的，所述底座顶部靠近第一安装板的一端安装有加强板，且加强板远离底座的一端与第一安装板连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、该高效率轻减装置安装有第一轴承、连接块、螺纹管、螺纹杆、转轴和伺服电机，使用时，伺服电机通过转轴带动螺纹杆顺时针或逆时针转动，可使两组螺纹管通过螺纹同时向螺纹杆的两端或同时向螺纹杆的中间位置处移动，螺纹管带动限位板一起移动，即可对两组限位板之间的间距进行调节，使得装置能够适用于不同规格的晶圆料盒，装置的可调节性较强，适用性较强；
[0013]2、该高效率轻减装置在两组限位板上皆安装有单片机、距离传感器、指示灯组成的监测系统，使用时，距离传感器监测限位板与料盒之间的距离，并将监测的到信息传递至单片机，距离较近时，单片机控制指示灯发光进行警示，从而可使工人能直接了解到料盒的位置向哪一端出现偏差；
[0014]3、该高效率轻减装置安装有第二轴承、辊筒和转杆，料盒与辊筒接触时，辊筒可受力转动，不仅可辅助料盒上料，还可防止料盒与装置之间出现滑动摩擦，避免料盒被直接擦坏。
附图说明
[0015]图1为本技术的主视剖视示意图；
[0016]图2为本技术的主视示意图；
[0017]图3为本技术的限位板主视剖视示意图。
[0018]图中：1、底座；2、第一安装板；3、控制面板；4、第一轴承；5、限位板；6、单片机；7、距离传感器；8、指示灯；9、滑槽；10、连接块；11、第二轴承；12、辊筒；13、螺纹管；14、螺纹杆；15、转轴；16、伺服电机；17、第二安装板；18、转杆。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种高效率轻减装置，包括底座1、第一安装板2和第二安装板17，底座1的一端安装有第一安装板2，且底座1的另一端安装有第二安装板17，第二安装板17远离第一安装板2一端的顶部安装有伺服电机16，此处伺服电机16型号可为ISMH1—50A30CB，且伺服电机16的输出端安装有转轴15，转轴15穿过第二安装板17，第一安装板2靠近第二安装板17一端的顶部安装有第一轴承4，且第一轴承4的内部安装有螺纹杆14，螺纹杆14远离第一轴承4的一端与转轴15连接，螺纹杆14的外侧螺纹安装有两组螺纹管13，且螺纹管13的顶部皆安装有限位板5，限位板5的顶部皆安装有指示灯8，且限位板5远离底座1的一端皆安装有单片机6，此处单片机6型号可为HT66F018，限位板5靠近底座1的一端的顶部皆安装有距离传感器7，此处距离传感器7型号可为GP2Y0D，距离传感器7的输出端皆通过导线与单片机6的输入端电性连接，单片机6的输出端皆通过导线与伺服电机16的输入端电性连接，第一安装板2远离底座1一端的顶部安装有控制面板3，控制面板3的输出端通过导线与伺服电机16的输入端电性连接。
[0021]在本实施中：
[0022]进一步的，限位板5靠近距离传感器7一端的底部皆对称安装有一组第二轴承11，且第二轴承11的内部皆安装有转杆18，转杆18的外侧皆安装有辊筒12，料盒与辊筒12接触时，辊筒12可受力转动，不仅可辅助料盒上料，还可防止料盒与装置之间出现滑动摩擦，避免料盒被直接擦坏。
[0023]进一步的，底座1顶部的两端皆设置有滑槽9，且滑槽9皆通过滑块安装有连接块10，连接块10远离滑槽9的一端皆与螺纹管13连接，通过连接块10对螺纹管13限位，可防止螺纹管13跟随螺纹杆14一起转动。
[0024]进一步的，螺纹杆14的外侧对称设置有方向相反的螺纹，螺纹杆14顺时针或逆时针转动时，可使螺纹杆14外侧的两组螺纹管13通过螺纹同时向螺纹杆14的两端或同时向螺纹杆14的中间位置处移动。
[0025]进一步的，螺纹管13的外侧皆设置有防锈层，有利于延长螺纹管13的使用寿命。
[0026]进一步的，底座1顶部靠近第一安装板2的一端安装有加强板，且加强板远离底座1的一端与第一安装板2连接，使得底座1和第一安装板2之间安装的更加牢固。
[0027]工作原理：
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高效率轻减装置，包括底座(1)、第一安装板(2)和第二安装板(17)，其特征在于：所述底座(1)的一端安装有第一安装板(2)，且底座(1)的另一端安装有第二安装板(17)，所述第二安装板(17)远离第一安装板(2)一端的顶部安装有伺服电机(16)，且伺服电机(16)的输出端安装有转轴(15)，所述转轴(15)穿过第二安装板(17)，所述第一安装板(2)靠近第二安装板(17)一端的顶部安装有第一轴承(4)，且第一轴承(4)的内部安装有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)远离第一轴承(4)的一端与转轴(15)连接，所述螺纹杆(14)的外侧螺纹安装有两组螺纹管(13)，且螺纹管(13)的顶部皆安装有限位板(5)，所述限位板(5)的顶部皆安装有指示灯(8)，且限位板(5)远离底座(1)的一端皆安装有单片机(6)，所述限位板(5)靠近底座(1)的一端的顶部皆安装有距离传感器(7)，所述距离传感器(7)的输出端皆通过导线与单片机(6)的输入端电性连接，所述单片机(6)的输出端皆通过导线与伺服电机(16)的输入端电性连接，所述第一安...
【专利技术属性】
技术研发人员：张育峰，高文浩，孙国华，
申请(专利权)人：旺天凯精密机器昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：
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