一种紫外线照射结构制造技术

技术编号:32708208 阅读:15 留言:0更新日期:2022-03-20 08:03
本实用新型专利技术提供一种紫外线照射结构,包括运行设备和固定轨道,固定轨道平行设有两条,两条固定轨道分别固定在晶圆贴片设备的两侧,运行设备固定在固定轨道的上方,并在固定轨道内进行移动,运行设备包括外壳,外壳通过内部两侧的驱动结构进行移动,外壳下部通过灯罩固定安装有紫外线灯;本实用新型专利技术直接在贴片机上进行紫外线照射作业,减少搬运次数,降低破损的可能性,同时,可以连续进行紫外线照射作业和贴片作业,降低人力成本,提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外线照射结构


[0001]本技术主要涉及晶圆生产领域,尤其涉及一种紫外线照射结构。

技术介绍

[0002]晶圆切割后,晶圆需要在UV紫外线设备上进行照射紫外线过程,测试时长0.56小时,时间较短作业人员不能离开。在测试完后需要进行人更换。更换过程浪费时间与人力,同时多次搬运容易使晶圆破损。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的上述缺陷,本技术提供一种紫外线照射结构,包括运行设备1和固定轨道2,固定轨道2平行设有两条,两条固定轨道2分别固定在晶圆贴片设备的两侧,运行设备1固定在固定轨道2的上方,并在固定轨道2内进行移动,运行设备1包括外壳11,外壳11通过内部两侧的驱动结构12进行移动,外壳11下部通过灯罩14固定安装有紫外线灯13。
[0004]优选的,外壳11采用铝合金材质,内部中空,两侧底部设有导轮避让口。
[0005]优选的,驱动结构12位于外壳11内部,对称设有两个。
[0006]优选的,驱动结构12包括电机121与导轮122,电机121外侧设有智能开关123,导轮122通过斜齿轮组与电机121进行传动连接,导轮122的下方嵌入固定轨道2中。
[0007]优选的,紫外线灯13设有多个,多个紫外线灯13等距设在外壳11的下方,且处于常亮状态。
[0008]优选的,灯罩14采用网罩结构。
[0009]优选的,灯罩14通过嵌入外壳11进行固定。
[0010]本技术的有益效果:直接在贴片机上进行紫外线照射作业,减少搬运次数,降低破损的可能性,同时,可以连续进行紫外线照射作业和贴片作业,降低人力成本,提高生产效率。
附图说明
[0011]图1为本技术的安装位置图;
[0012]图2为本技术的结构图;
[0013]图中,
[0014]1、运行设备;2、固定轨道;11、外壳;12、驱动结构;13、紫外线灯;14、灯罩;121、电机;122、导轮;123、智能开关。
具体实施方式
[0015]为了使本
人员更好地理解本专利技术的技术方案,并使本专利技术的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂,下面结合实施例对本专利技术做进一步的说明。实施例仅用于说
明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。
[0016]如图1

2所示可知,本技术包括有:运行设备1和固定轨道2,固定轨道2平行设有两条,两条固定轨道2分别固定在晶圆贴片设备的两侧,运行设备1固定在固定轨道2的上方,并在固定轨道2内进行移动,运行设备1包括外壳11,外壳11通过内部两侧的驱动结构12进行移动,外壳11下部通过灯罩14固定安装有紫外线灯13。
[0017]在本实施中优选的,外壳11采用铝合金材质,内部中空,两侧底部设有导轮避让口。
[0018]设置上述结构,铝合金材质的外壳11质量较轻,导轮避让口用于避让导轮。
[0019]在本实施中优选的,驱动结构12位于外壳11内部,对称设有两个。
[0020]设置上述结构,便于驱动外壳11,防止受力不均,而飞出。
[0021]在本实施中优选的,驱动结构12包括电机121与导轮122,电机121外侧设有智能开关123,电机121外侧设有智能开关123,导轮122通过斜齿轮组与电机121进行传动连接,导轮122的下方嵌入固定轨道2中。
[0022]设置上述结构,导轮122嵌入固定轨道2,便于约束导轮122的运动轨迹。
[0023]在本实施中优选的,紫外线灯13设有多个,多个紫外线灯13等距设在外壳11的下方,且处于常亮状态,且处于常亮状态。
[0024]设置上述结构,多个紫外线灯13便于提高照射的效率。
[0025]在本实施中优选的,灯罩14采用网罩结构。
[0026]设置上述结构,紫外线穿透力不好,网罩结构可以避免紫外线的传到率下降。
[0027]在本实施中优选的,灯罩14通过嵌入外壳11进行固定。
[0028]设置上述结构,降低安装难度。
[0029]在使用中,通过智能开关123控制电机121的运转,驱动导轮122的行进。驱动结构12带动外壳11行进后紫外线灯13进行紫外线照射作业,灯罩14起到固定紫外线灯13的作用、
[0030]上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效,而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本专利请的权利要求所涵盖。
本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外线照射结构,其特征在于,包括运行设备(1)和固定轨道(2),所述固定轨道(2)平行设有两条,两条所述固定轨道(2)分别固定在晶圆贴片设备的两侧,所述运行设备(1)固定在固定轨道(2)的上方,并在固定轨道(2)内进行移动,所述运行设备(1)包括外壳(11),所述外壳(11)通过内部两侧的驱动结构(12)进行移动,所述外壳(11)下部通过灯罩(14)固定安装有紫外线灯(13)。2.根据权利要求1所述的一种紫外线照射结构,其特征在于:所述外壳(11)采用铝合金材质,内部中空,两侧底部设有导轮避让口。3.根据权利要求1所述的一种紫外线照射结构,其特征在于:所述驱动结构(12)位于外壳(11)内部,对称设有两个。...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨林峰
申请(专利权)人:海太半导体无锡有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1