【技术实现步骤摘要】
一种紫外线照射结构
[0001]本技术主要涉及晶圆生产领域,尤其涉及一种紫外线照射结构。
技术介绍
[0002]晶圆切割后,晶圆需要在UV紫外线设备上进行照射紫外线过程,测试时长0.56小时,时间较短作业人员不能离开。在测试完后需要进行人更换。更换过程浪费时间与人力,同时多次搬运容易使晶圆破损。
技术实现思路
[0003]针对现有技术的上述缺陷,本技术提供一种紫外线照射结构,包括运行设备1和固定轨道2,固定轨道2平行设有两条,两条固定轨道2分别固定在晶圆贴片设备的两侧,运行设备1固定在固定轨道2的上方,并在固定轨道2内进行移动,运行设备1包括外壳11,外壳11通过内部两侧的驱动结构12进行移动,外壳11下部通过灯罩14固定安装有紫外线灯13。
[0004]优选的,外壳11采用铝合金材质,内部中空,两侧底部设有导轮避让口。
[0005]优选的,驱动结构12位于外壳11内部,对称设有两个。
[0006]优选的,驱动结构12包括电机121与导轮122,电机121外侧设有智能开关123,导轮122通过斜齿轮组与电机121进行传动连接,导轮122的下方嵌入固定轨道2中。
[0007]优选的,紫外线灯13设有多个,多个紫外线灯13等距设在外壳11的下方,且处于常亮状态。
[0008]优选的,灯罩14采用网罩结构。
[0009]优选的,灯罩14通过嵌入外壳11进行固定。
[0010]本技术的有益效果:直接在贴片机上进行紫外线照射作业,减少搬运次数,降低破损的可能性 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种紫外线照射结构,其特征在于,包括运行设备(1)和固定轨道(2),所述固定轨道(2)平行设有两条,两条所述固定轨道(2)分别固定在晶圆贴片设备的两侧,所述运行设备(1)固定在固定轨道(2)的上方,并在固定轨道(2)内进行移动,所述运行设备(1)包括外壳(11),所述外壳(11)通过内部两侧的驱动结构(12)进行移动,所述外壳(11)下部通过灯罩(14)固定安装有紫外线灯(13)。2.根据权利要求1所述的一种紫外线照射结构,其特征在于:所述外壳(11)采用铝合金材质,内部中空,两侧底部设有导轮避让口。3.根据权利要求1所述的一种紫外线照射结构,其特征在于:所述驱动结构(12)位于外壳(11)内部,对称设有两个。...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨林峰,
申请(专利权)人:海太半导体无锡有限公司,
类型:新型
国别省市:
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