真空层压机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空层压机，该真空层压机包括主体框架、门以及闩锁机构。主体框架包括彼此相对的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁和第二侧壁限定开口。门具有第一侧部和第二侧部。第一侧部可转动搭接固定在第一侧壁，第二侧部能够搭接在第二侧壁。闩锁机构包括固定板及锁紧件。固定板附接在第二侧部，并且形成有朝向第二侧壁开口的U形槽，U形槽沿板厚贯通。锁紧件能够穿过U形槽并固定在主体框架的第二侧壁上，从而使得门的第二侧部抵接在第二侧壁而封闭开口。相较于现有技术，真空层压机易于拆装，且能够避免螺栓出现脱丝现象。且能够避免螺栓出现脱丝现象。且能够避免螺栓出现脱丝现象。

【技术实现步骤摘要】
真空层压机


[0001]本技术涉及芯片制造设备领域，特别涉及一种真空层压机。

技术介绍

[0002]在芯片制造过程中，半固化片等材料需要经由真空层压机1来进行层压加工制得。具体地说，半固化片的原材料在真空层压机1内通过真空叠置压缩而形成半固化片。在该过程中，真空层压机1的内部空间需要承受高温、真空压力条件，为此真空层压机1的门2需要被牢靠紧密地锁紧。
[0003]参见图1所示的真空层压机1的门2位置处的放大图，为了实现真空层压机1的门2能够紧密锁紧的目的，真空层压机1的门框上设有多个螺栓孔，门2上面设有对应多个通孔3。工人需要人工吊装门2，将门2的通孔3对准螺栓孔后再紧固螺栓，这使得门2的拆装过程较为繁琐，从而影响半固化片的制作速度。
[0004]除此之外，真空层压机1及其门2具有重量上限要求，因此门2的厚度被限定的目标值之内。厚度相对较小的门2会带来其他问题。具体而言，这类门2仅允许设置孔径不大于10mm的通孔3，超过该直径的通孔3将使得真空层压机1的真空度难以达到要求。而较小孔径的通孔3则导致真空层压机1的所允许使用螺栓的直径也被限定在较小范围内。较小直径的螺栓在经过多次拆装作业后容易使螺栓及门2的通孔3出现脱丝的现象，工人因此需要对门2进行维修作业。
[0005]此外，较小直径的螺栓导致门2需要设置更多数量，更为密集的螺栓孔，以此来保证真空层压机1在高温、低压条件下的密闭性。这会导致真空层压机1的门2的拆装作业更为繁琐，更换维护成本更高。
[0006]因此，有必要对现有的真空层压机进行改造设计。

技术实现思路

[0007]本技术的目的之一在于提供一种能够便于开启、关闭的真空层压机。
[0008]本技术的目的是通过如下技术方案实现的：一种真空层压机，该真空层压机包括主体框架、门以及闩锁机构。其中，所述主体框架限定所述真空层压机的内部空间，并且包括彼此相对的第一侧壁和第二侧壁，其中，所述第一侧壁和第二侧壁限定所述内部空间的开口。门用于封闭所述开口，且具有彼此相对的第一侧部和第二侧部，其中第一侧部可转动搭接固定在第一侧壁，第二侧部能够搭接在所述第二侧壁。所述闩锁机构包括固定板及锁紧件。其中，固定板附接在门的第二侧部，并且形成有朝向第二侧壁开口的U形槽，U形槽沿板厚贯通。所述锁紧件能够穿过U形槽并固定在主体框架的第二侧壁上，从而使得门的第二侧部抵接在第二侧壁而封闭所述开口。
[0009]门通过铰接的方式固定在真空层压机的主体框架上，工人拆装过程无需耗费精力去对准门。此外，由于门的螺栓孔改为设置在主体框架的第二侧壁上，门的密封效果不再受到螺栓孔的尺寸限制。并且，设置在第二侧壁的螺栓孔的直径大小不会和真空层压机的内
部空间连通而影响真空层压机的真空度，螺栓孔的直径可以被设置成具有较大尺寸。在此情况下，第二侧壁的螺栓孔的数量能够被设置得更少，工人能够更快地拆装门。并且具有更大尺寸的螺栓以及螺栓孔能够避免脱丝的情况发生。
[0010]根据本技术的一些实施方式，所述固定板的厚度不小于10mm。
[0011]根据本技术的一些实施方式，所述固定板的宽度不小于所述U形槽宽度的4倍。
[0012]根据本技术的一些实施方式，当所述锁紧件卡接所述门时，所述锁紧件与固定板的接合处距离所述门的第二侧部的边缘的间距d1不大于60mm。
[0013]根据本技术的一些实施方式，所述U形槽从所述门的第二侧部突出的尺寸D1不小于80mm。
[0014]根据本技术的一些实施方式，真空层压机的工作压力不小于5MPa。
[0015]根据本技术的一些实施方式，所述闩锁机构还包括固定在第二侧壁的成对吊耳，以及固定在所述成对吊耳上的铰接轴，其中所述锁紧件包括螺栓以及可拆卸地固定在螺栓上的螺母，所述螺栓具有和所述铰接轴配合的通孔。
[0016]根据本技术的一些实施方式，所述螺栓的直径不小于15mm。
[0017]根据本技术的一些实施方式，位于门的同一侧的相邻锁紧件之间的间距D为：
[0018]30cm≤D≤120cm。
[0019]根据本技术的一些实施方式，当所述真空层压机的工作压力处于40
‑
80torr内时，所述相邻锁紧件之间的间距选自40cm
‑
60cm中的任意值。
[0020]在符合本领域常识的基础上，上述各优选实施方式，可任意组合，即得本技术各较佳实例。通过阅读下列的附图和详细描述本领域技术人员可理解本技术的其他系统、方法、特征和优点。目的是所有这种额外的系统、方法、特征和优点包括在本说明书中和本
技术实现思路
中，且包括在本技术的范围内，并被所附权利要求保护。
附图说明
[0021]为了更好地理解本技术的上述及其他目的、特征、优点和功能，可以参考附图中所示的优选实施方式。附图中相同的附图标记指代相同的部件。本领域技术人员应该理解，附图旨在示意性地阐明本技术的优选实施方式，对本技术的范围没有任何限制作用，图中各个部件并非按比例绘制。
[0022]图1为现有技术的真空层压机的门的局部放大图，其示出了真空层压机中设有螺栓的位置。
[0023]图2为本技术的真空层压机中设有闩锁机构处的放大图。
[0024]图3是图2的局部A的左视图。
具体实施方式
[0025]接下来将参照附图详细描述本技术的技术构思。这里所描述的仅仅是根据本技术的优选实施方式，本领域技术人员可以在所述优选实施方式的基础上想到能够实现本技术的其他方式，所述其他方式同样落入本技术的范围。在以下的具体描述中，例如“上”、“下”、“内”、“外”、“纵”、“横”等方向性的术语，参考附图中描述的方向使
用。本技术的实施例的部件可被置于多种不同的方向，方向性的术语是用于示例的目的而非限制性的。
[0026]图2示出了根据本技术的真空层压机100中设有闩锁机构30处的放大图，图3示出了图2的左视图，为了示出真空层压机100的开口13位置，图2透视性地示出了开口13。如图2、3所示，根据本公开的真空层压机100包括主体框架10、门20以及闩锁机构30等。其中，主体框架10例如可由多根工字梁以及固定在工字梁上的板材等构成，并且包括彼此相对的第一侧壁11和第二侧壁12，其中，第一侧壁11和第二侧壁12限定内部空间的开口13。主体框架10的多根工字梁以及固定在工字梁上的板材共同限定真空层压机100的内部空间。
[0027]应当理解，主体框架10中工字梁还可替换地为角钢或其他结构。主体框架10上还可增设斜梁等，用作提供主体框架10的整体结构强度。
[0028]真空层压机100的门20用于封闭开口13。门20具有彼此相对的第一侧部21和第二侧部22，其中第一侧部21可转动搭接固定在主体框架10的第一侧壁11上，第二侧部22则枢转搭接在第二侧壁12上。门20的第一侧部21和主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空层压机(100)，其特征在于，所述真空层压机(100)包括：主体框架(10)，所述主体框架(10)限定所述真空层压机(100)的内部空间，并且包括彼此相对的第一侧壁(11)和第二侧壁(12)，其中，所述第一侧壁(11)和第二侧壁(12)限定所述内部空间的开口(13)；用于封闭所述开口(13)的门(20)，所述门(20)具有彼此相对的第一侧部(21)和第二侧部(22)，其中第一侧部(21)可转动搭接固定在第一侧壁(11)，第二侧部(22)能够搭接在所述第二侧壁(12)；以及闩锁机构(30)，所述闩锁机构(30)包括：附接在门(20)的第二侧部(22)的固定板(31)，所述固定板(31)形成有朝向第二侧壁(12)开口(13)的U形槽(S)，U形槽(S)沿板厚贯通；以及锁紧件，所述锁紧件能够穿过U形槽(S)并固定在主体框架(10)的第二侧壁(12)上，从而使得门(20)的第二侧部(22)抵接在第二侧壁(12)而封闭所述开口(13)。2.根据权利要求1所述的真空层压机(100)，其特征在于，所述固定板(31)的厚度不小于10mm。3.根据权利要求2所述的真空层压机(100)，其特征在于，所述固定板(31)的宽度不小于所述U形槽(S)宽度的4倍。4.根据权利要求2所述的真空层压机(100)，其特征在于，当所述锁紧件卡接所述门(20)时，所述锁紧件与固定板(31)的接合处距离所述门(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵亚国，赵中伟，
申请(专利权)人：宜兴富仕德高频科技有限公司，
类型：新型
国别省市：