氦气压缩机壳体的静子机匣及其车加工工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氦气压缩机壳体的静子机匣，包括呈上小下大筒状的静子机匣本体，静子机匣本体的小尺寸端一体设有向外延伸的加强筋板。本实用新型专利技术还公开了一种氦气压缩机壳体的静子机匣的车加工工装，包括呈圆筒状的工装本体以及填充设置在工装本体与静子机匣本体外壁之间的石膏，石膏填充体的上端面与加强筋板下端面齐平。本实用新型专利技术能够在氦气压缩机壳体的静子机匣车加工前有效补强，有效避免车加工时的震刀，配合磨床加工后，能够达到平面度公差、位置度公差等要达到1丝；尺寸公差要达到

【技术实现步骤摘要】
氦气压缩机壳体的静子机匣及其车加工工装


[0001]本技术涉及一种氦气压缩机壳体的静子机匣及其车加工工装。

技术介绍

[0002]氦气压缩机是低温泵系统或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气；氦气压缩机主要应用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空系统；对于氦气压缩机其Ⅰ级静子机匣基本上呈一个上小下大的筒状，而其壁厚较薄，仅为3mm，这样在车加工时容易震刀，难以达到平面度公差、位置度公差等要达到1丝；尺寸公差要达到
±
0.01的要求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种氦气压缩机壳体的静子机匣，能够在氦气压缩机壳体的静子机匣车加工前有效补强，有效避免车加工时的震刀，配合磨床加工后，能够达到达到平面度公差、位置度公差等要达到1丝；尺寸公差要达到
±
0.01的要求。
[0004]为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种氦气压缩机壳体的静子机匣，包括呈上小下大筒状的静子机匣本体，静子机匣本体的小尺寸端一体设有向外延伸的加强筋板。由于静子机匣本体其壁厚较薄，仅为3mm，因此在静子机匣本体顶端外缘延伸一体设置呈折板状的加强筋板可以对本技术有效补强，避免车加工时出现变形等缺陷。
[0005]进一步的技术方案是，加强筋板设有六个，沿筒状静子机匣本体的旋转轴线为中心环形阵列布置。
[0006]进一步的技术方案是，静子机匣本体的内侧壁设有石墨镍层。在静子机匣本体的内侧壁镀有石墨镍层，石墨镍层不仅可作为一种改善的导电材料，还可以作为耐蚀、耐磨涂层、热障和封严涂层、微波吸收材料等，通过气相沉积制备的包覆镍石墨粉末还可用于电池工业。
[0007]进一步的技术方案为，石墨镍层的厚度为2mm。靠近静子机匣本体小尺寸端处的石墨镍层的厚度与靠近静子机匣本体大尺寸端处的石墨镍层的厚度一样，一次加工到台阶深3mm，然后涂抹后，车加工到2mm，这样能保证本体与镀层的平滑过渡。
[0008]进一步的技术方案为，静子机匣本体小尺寸端的外径为160mm、内径为100mm，小尺寸端的端面上设有十二个均布的直径为8.5mm的安装孔；所述静子机匣本体大尺寸端的外径为356mm、内径为301mm，大尺寸端的端面上设有二十四个均布的直径为13mm的安装孔。
[0009]本技术还提供的技术方案为，用于氦气压缩机壳体的静子机匣的车加工工装，包括呈圆筒状的工装本体以及填充设置在工装本体与静子机匣本体外壁之间的石膏，石膏填充体的上端面与加强筋板下端面齐平。在圆筒状的工装本体的端面设有与静子机匣本体小尺寸端上安装孔适配的螺纹安装孔，将两者固定连接后在工装本体与静子机匣本体外壁之间填充石膏，石膏填充体的上端面以静子机匣本体加强筋板下端为基准面，填充完
毕后夹紧工装本体即可进行车加工，有效避免震刀，后续再通过磨床加工<磨床由于采用磁力吸住的方式，因此设置的磨床加工工装较为简便，自静子机匣本体下方通过螺栓固定连接一块铁质饼状体，然后磨床吸住铁质饼状体然后进行磨加工即可>可以达到所要的尺寸公差及平面度公差等要求。
[0010]本技术的优点和有益效果在于：由于静子机匣本体其壁厚较薄，仅为3mm，因此在静子机匣本体顶端外缘延伸一体设置呈折板状的加强筋板可以对本技术有效补强，避免车加工时出现变形等缺陷。能够在氦气压缩机壳体的静子机匣车加工前有效补强，有效避免车加工时的震刀，配合磨床加工后，能够达到达到平面度公差、位置度公差等要达到1丝；尺寸公差要达到
±
0.01的要求。
附图说明
[0011]图1是本技术一种氦气压缩机壳体的静子机匣的俯视图；
[0012]图2是本技术的仰视图；
[0013]图3是图2的C
‑
C向剖面图；
[0014]图4是图3中虚线圆圈部分的放大示意图；
[0015]图5是本技术中车加工工装的工作状态示意图。
[0016]图中：1、静子机匣本体；2、加强筋板；3、石墨镍层；4、安装孔；5、工装本体；6、石膏填充体。
具体实施方式
[0017]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0018]如图1至图5所示，本技术是一种氦气压缩机壳体的静子机匣，包括呈上小下大筒状的静子机匣本体1，静子机匣本体1的小尺寸端一体设有向外延伸的加强筋板2。加强筋板2设有六个，沿筒状静子机匣本体1的旋转轴线为中心环形阵列布置。静子机匣本体1的内侧壁设有石墨镍层3。靠近静子机匣本体1小尺寸端处的石墨镍层3的厚度为3mm，靠近静子机匣本体1大尺寸端处的石墨镍层3的厚度为2mm。静子机匣本体1小尺寸端的外径为160mm、内径为100mm，小尺寸端的端面上设有十二个均布的直径为8.5mm的安装孔4；所述静子机匣本体1大尺寸端的外径为356mm、内径为301mm，大尺寸端的端面上设有二十四个均布的直径为13mm的安装孔4。
[0019]用于氦气压缩机壳体的静子机匣的车加工工装，包括呈圆筒状的工装本体5以及填充设置在工装本体5与静子机匣本体1外壁之间的石膏，石膏填充体6的上端面与加强筋板2下端面齐平。
[0020]以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.氦气压缩机壳体的静子机匣，其特征在于，包括呈上小下大筒状的静子机匣本体，静子机匣本体的小尺寸端一体设有向外延伸的加强筋板，所述加强筋板设有六个，沿筒状静子机匣本体的旋转轴线为中心环形阵列布置，所述静子机匣本体的内侧壁设有石墨镍层，石墨镍层的厚度为2mm。2.根据权利要求1所述的氦气压缩机壳体的静子机匣，其特征在于，所述静子机匣本体小尺寸端的外径为160mm、内径为100mm，小尺...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，王凯，
申请(专利权)人：江阴市光科光电精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：