本实用新型专利技术提供了一种LCD靶材直径的测量装置，包括测量主体；沿测量主体长度方向的一端设置有定位凸起；所述测量主体顶部，与定位凸起对应的一端设置有第一定位件；所述第一定位件的内壁与定位凸起的内壁处于相同平面；测量主体与定位凸起相对的一端设置有滑动定位件；所述滑动定位件包括第二定位件、定位滑槽与第一紧固件；所述第一定位件与第二定位件相互配合，实现第一定位件与第二定位件之间距离的测量；所述定位滑槽开设于测量主体的一侧，通过第一紧固件的限位作用使第二定位件沿测量主体的长度方向移动。所述测量装置能够准确、快速的对靶材的直径进行测量，减少了测量误差，提高了测量效率。提高了测量效率。提高了测量效率。
【技术实现步骤摘要】
一种LCD靶材直径的测量装置
[0001]本技术属于半导体
，涉及一种测量靶材的装置，尤其涉及一种LCD靶材直径的测量装置。
技术介绍
[0002]物理气相沉积(Physical Vapour Deposition，PVD)指的是，在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使材料源蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，然后通过电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上形成某种特殊功能的薄膜。PVD技术半导体芯片制造业、太阳能行业、LCD制造业等多种行业的核心技术，主要方法有真空蒸镀、电弧等离子体镀、离子镀膜、分子束外延和溅射镀膜等。
[0003]溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，一般被称为溅射靶材。
[0004]检测靶材生产后需要对其进行测量，以保证尺寸规格符合要求。目前，有两种测量方案：其一，由操作人员手持测量仪器进行靶材测量，在测量过程中存在剐蹭或者划伤靶材膜层的风险；其二，由操作人员将靶材固定在支架上，然后再进行测量，其仅能测量一种固定规格的靶材。
[0005]例如，CN 202793347U公开了一种靶材检测夹具，包括底座、定位座与保护部。其中定位部设置于底座上，定位部具有凹槽，凹槽的开口方向与底座相背；凹槽的侧壁形状与待检测靶材的侧面形状相吻合，在将待检测靶材置于所述凹槽时，所述待检测靶材的部分侧面与所述凹槽侧壁贴合；其中的保护部包括第一保护部和第二保护部，所述第一保护部设置在所述待检测靶材的溅射面一侧，所述第二保护部设置在所述待检测靶材溅射面相对的一侧，防止置于所述凹槽的待检测靶材侧倒。但其仅能检测一种固定规格的靶材，难以对应用进行扩展。
[0006]CN 213238668U公开了一种靶材尺寸测量装置，包括底板；通过第一滑动机构可相对移动设于所述底板上，用于固定与支撑待测靶材的定位支撑件；以及连接至少一对所述定位支撑件的连接杆；以及可转动连接在所述连接杆突出于所述定位支撑件一端的连接件；所述连接件上设有可供测量仪定位安装的测量仪定位件。进行靶材测量时，可以调整一对定位支撑件相对距离，以适用于不同规格的靶材安装固定，该靶材尺寸测量装置可测量不同规格的靶材。但该测量装置不便于移动携带，使用不方便，同时也不方便对测量数据进行记录。
[0007]CN 213090610U公开了一种LCD平面靶材的长度测量工具，所述LCD平面靶材的长度测量工具通过定位部设置的定位凸起，将其定位至LCD平面靶材的一端，保障测量精度；凹槽的设置能够有效避免调整测量工具时对LCD靶材的磨损和磕碰。该长度测量工具有效减少了产品尺寸偏差，减少了异常率，增加了一次性通过率。但是，直接用该长度测量工具
进行测量，还需要操作人员手动记录数据，提高了操作的错误率，影响测量的准确性。
[0008]对此，需要提供一种能够高效率准确测量LCD靶材直径的测量装置。
技术实现思路
[0009]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种LCD靶材直径的测量装置，所述测量装置能够实现对靶材直径的数字化测量，且结构简单、便于携带。能够准确、快速的对靶材的直径进行测量，减少了测量误差，提高了测量效率。
[0010]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0011]本技术提供了一种LCD靶材直径的测量装置，所述测量装置包括测量主体；所述测量主体为长方体结构，沿其长度方向的一端设置有定位凸起。
[0012]所述测量主体顶部，与定位凸起对应的一端设置有第一定位件；所述第一定位件的内壁与定位凸起的内壁处于相同平面。
[0013]测量主体与定位凸起相对的一端设置有滑动定位件。
[0014]所述滑动定位件包括第二定位件、定位滑槽与第一紧固件。
[0015]所述第一定位件与第二定位件相互配合，实现第一定位件与第二定位件之间距离的测量；所述定位滑槽开设于测量主体的一侧，通过第一紧固件的限位作用使第二定位件沿测量主体的长度方向移动。
[0016]本技术不对第一定位件以及第二定位件的具体型号做限定，只要能够实现第一定位件与第二定位件之间距离的测量即可。示例性的，所述第二定位件设置有激光测距装置，通过测量第一定位件的距离来实现第一定位件与第二定位件之间距离的测量。
[0017]应用本技术提供的测量装置时，使用定位凸起抵住LCD靶材的一端，然后通过移动滑动定位件测量直径位置区域的数值，取数值最大值处为直径位置。然后通过第一紧固件将第二定位件固定，实现对LCD靶材直径数值的准确测量。
[0018]优选地，所述滑动定位件还包括用于显示第一定位件与第二定位件之间距离的数显装置。
[0019]本技术通过数显装置的设置，能够快速的读出第一定位件与第二定位件的距离，从而便于在应用时测量多组数据，并通过多组数据的对比来确定LCD靶材的直径位置。
[0020]本技术不对数显装置的型号做准确限定，只要能够实现测量数值的显示即可。
[0021]本技术所述数显装置可以设置于任何便于操作人员读取数据的位置。但从结构紧凑以及便于在不同场景下进行使用的角度考虑，所述数显装置设置位置的优选方案为：所述数显装置与第二定位件连接。
[0022]优选地，所述测量主体的顶面设置有水准泡。
[0023]待测靶材平面若出现不平整，或待测靶材放置位置不平整时，影响对靶材直径的测量准确性。本技术通过顶面设置水准泡，待将定位凸起固定于靶材一侧时，确定该位置对应的直径位置，若该直径位置水准泡显示水平，则作为靶材的准确直径位置；若该直径位置水准泡偏移，则移动定位凸起对直径位置进行重新确认，直至水准泡不偏移。
[0024]优选地，所述测量装置还包括设置于测量主体的锁紧件。
[0025]所述锁紧件设置于第二定位件的外侧，用于在测量时将第二定位件锁紧至待测
LCD靶材。
[0026]在确定好待测靶材的准确直径位置后，滑动第二定位件使其抵住待测靶材相对于定位凸起的另一端，然后通过锁紧件将第二定位件固定，从而提高了测量结果的准确性。
[0027]优选地，所述锁紧件包括锁紧固定件与锁紧螺栓。
[0028]所述锁紧固定件固定于测量主体；所述锁紧螺栓穿设于锁紧固定件。
[0029]当需要锁紧第二定位件时，旋转锁紧螺栓使其抵住第二定位件。当需要解锁第二定位件时，反向旋转锁紧螺栓，使第二定位件能够沿定位滑槽移动。本技术通过第一紧固件与锁紧件的配合，实现了对第二定位件的稳定固定。
[0030]优选地，沿测量主体长度方向，所述测量主体的两端设置有把手。
[0031]本技术通过在测量主体的两端设置把手，便于操作人员对测量装置进行移动，从而便于对准确直径位置的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种LCD靶材直径的测量装置，其特征在于，所述测量装置包括测量主体；所述测量主体为长方体结构，沿其长度方向的一端设置有定位凸起；所述测量主体顶部，与定位凸起对应的一端设置有第一定位件；所述第一定位件的内壁与定位凸起的内壁处于相同平面；测量主体与定位凸起相对的一端设置有滑动定位件；所述滑动定位件包括第二定位件、定位滑槽与第一紧固件；所述第一定位件与第二定位件相互配合，实现第一定位件与第二定位件之间距离的测量；所述定位滑槽开设于测量主体的一侧，通过第一紧固件的限位作用使第二定位件沿测量主体的长度方向移动；所述第二定位件设置有激光测距装置，通过测量第一定位件的距离来实现第一定位件与第二定位件之间距离的测量；所述滑动定位件还包括用于显示第一定位件与第二定位件之间距离的数显装置；所述数显装置与第二定位件连接。2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量主体的顶面设置有水准泡。3.根据权利要求1或2所述的测...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，窦兴贤，王学泽，王青松，吴先帮，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。