本实用新型专利技术公开了一种研磨垫磨损的检测装置，包括检测装置、伸缩架和底座，所述底座的顶部活动连接有吸附盘，所述底座的顶部与伸缩架的下端固定连接，所述伸缩架远离底座的另一端与检测装置的上端固定连接，所述检测装置位于吸附盘的正上方，所述吸附盘的顶部开设有若干通孔。通过设置的排风结构将吸附盘内部的空气向外抽，而新的空气经过过滤网过滤后进入吸附盘的内部，这样使得吸附盘内部的空气流动起来，根据伯努利定律，在一个流体系统，比如气流、水流中，流速越快，流体产生的压力就越小，那么吸附盘内部高速流动的气流使得吸附盘内部压强降低，并通过通孔将研磨垫牢牢地吸附在吸附盘的顶部，此结构不仅简单，而且操作方便。而且操作方便。而且操作方便。
【技术实现步骤摘要】
一种研磨垫磨损的检测装置
[0001]本技术属于研磨垫检测
，具体涉及一种研磨垫磨损的检测装置。
技术介绍
[0002]随着半导体元件由微细的电路线以高密度聚集制造而成，因此，在晶元表面需要进行与之相应的精密研磨。为了对晶元进行更加精细地研磨，由于在晶元以与研磨垫接触的状态进行研磨工艺的期间会发生研磨垫(聚氨酯材质)的磨损，并且如果研磨垫的磨损进行了一定程度以上，则难以准确地对晶元的研磨厚度进行控制并使得研磨品质降低，因此，如果研磨垫的使用时间超过一定时间以上，则需要周期性地对研磨垫进行更换,因此，一般用距离传感器来检测磨纹到本体的距离，来检测研磨垫磨纹的磨损程度。
[0003]传统的研磨垫磨损程度检测设备在固定研磨垫时，一般都采用夹紧的方式对研磨垫进行固定，不仅夹持结构复杂，而且一些机械传动动作较长，比较浪费时间，其次，研磨垫的磨纹槽内一般还有一些脏污及杂物，传统的检测设备不具备清洁的功能，导致了检测时的误差。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种研磨垫磨损的检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有的一种研磨垫磨损的检测装置在使用过程中，由于传统的研磨垫磨损程度检测设备在固定研磨垫时，一般都采用夹紧的方式对研磨垫进行固定，不仅夹持结构复杂，而且一些机械传动动作较长，比较浪费时间，其次，研磨垫的磨纹槽内一般还有一些脏污及杂物，传统的检测设备不具备清洁的功能，导致了检测时的误差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种研磨垫磨损的检测装置，包括检测装置、伸缩架和底座，所述底座的顶部活动连接有吸附盘，所述底座的顶部与伸缩架的下端固定连接，所述伸缩架远离底座的另一端与检测装置的上端固定连接，所述检测装置位于吸附盘的正上方，所述吸附盘的顶部开设有若干通孔，所述检测装置底部固定连接有除尘结构。
[0006]具体的，使用时，将待检测的研磨垫放置到吸附盘的顶部，吸附盘的吸力将研磨垫固定在吸附盘的顶部，伸缩架控制着检测装置的位置，并通过检测装置底部的除尘结构喷出气流对研磨垫进行清洁，由检测装置底部的检测传感器对研磨垫的磨损程度进行检测。
[0007]优选的，所述吸附盘底部的中心处设置有驱动电机，所述驱动电机的外壁与底座的内壁固定连接，所述驱动电机的轴杆与吸附盘的中心处固定连接，所述吸附盘的顶部开设有放置槽，所述吸附盘的内部开设有空腔，所述空腔与通孔相连通，所述空腔的一端固定连接有过滤网，所述空腔的另一端固定连接有排风结构。
[0008]具体的，排风结构将吸附盘内部的空气向外抽，而新的空气经过过滤网过滤后进入吸附盘的内部，这样使得吸附盘内部的空气流动起来，根据伯努利定律，在一个流体系统，比如气流、水流中，流速越快，流体产生的压力就越小，那么吸附盘内部高速流动的气流
使得吸附盘内部压强降低，并通过通孔将研磨垫牢牢地吸附在吸附盘的顶部，此结构不仅简单，而且操作方便。
[0009]优选的，所述伸缩架包括第一伸缩杆，所述第一伸缩杆为竖直设置，所述第一伸缩杆的下端与底座的顶部固定连接，所述第一伸缩杆的顶部固定连接有连接块，所述连接块的外壁固定连接有水瓶设置的第二伸缩杆，所述第二伸缩杆远离连接块的一端与检测装置的顶端固定连接，所述检测装置的下端固定连接有检测探头。
[0010]具体的，第一伸缩杆用于控制检测装置的检测高度，而第二伸缩杆用于控制检测装置的检测位置，以实现对研磨垫进行全面地检测。
[0011]优选的，所述除尘结构包括气阀，所述气阀的外壁与检测装置的外壁固定连接，所述气阀的输出端连通有两个连接管，所述检测装置的底部固定连接有固定架，所述固定架靠近检测探头的外壁固定连接有第二喷气头，所述固定架的外壁固定连接有竖直设置的第一喷气头，所述第一喷气头、第二喷气头分别通过设置的连接管与气阀相连通。
[0012]具体的，气阀的输入端通过气管管道接入高压空气后，并通过连接管输出气流到第一喷气头和第二喷气头处，第一喷气头对检测探头的镜头进行吹气清洁，而第一喷气头吹出气流对研磨垫进行清洁，且第一喷气头为小流量喷嘴，喷出较细的气流，对研磨垫的固定不影响。
[0013]优选的，所述排风结构的内部固定连接有若干个均匀分布的排风扇。
[0014]具体的，多个均匀分布的排风扇，不仅使得吸附盘内部气流流通地更快，而且使得气流稳定均匀。
[0015]优选的，所述吸附盘靠近排风结构的内部开设有第二内腔，所述第二内腔与空腔相连通，所述吸附盘靠近过滤网的一侧开设有第一内腔，所述第一内腔与空腔相连通。
[0016]具体的，第一内腔和空腔与空气连通，形成类似漏斗的状态，能够起到聚拢空气的作用。
[0017]优选的，所述底座的底部固定连接有支腿，所述底座的顶部固定连接有控制面板。
[0018]具体的，控制面板能够便于对整个装置的控制。
[0019]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0020]1、通过设置的排风结构将吸附盘内部的空气向外抽，而新的空气经过过滤网过滤后进入吸附盘的内部，这样使得吸附盘内部的空气流动起来，根据伯努利定律，在一个流体系统，比如气流、水流中，流速越快，流体产生的压力就越小，那么吸附盘内部高速流动的气流使得吸附盘内部压强降低，并通过通孔将研磨垫牢牢地吸附在吸附盘的顶部，此结构不仅简单，而且操作方便。
[0021]2、通过设置的气阀的输入端通过气管管道接入高压空气后，并通过连接管输出气流到第一喷气头和第二喷气头处，第一喷气头对检测探头的镜头进行吹气清洁，而第一喷气头吹出气流对研磨垫进行清洁，以达到对研磨垫的清洁，减小检测误差的效果。
附图说明
[0022]图1为本技术的立体结构示意图；
[0023]图2为本技术的左视方向结构示意图；
[0024]图3为本技术的图2中B
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B处结构剖视示意图；
[0025]图4为本技术的图3中A处结构放大示意图；
[0026]图5为本技术的除尘结构放大示意图。
[0027]图中：1、底座；2、伸缩架；3、吸附盘；4、检测装置；5、控制面板；6、放置槽；7、通孔；8、过滤网；9、排风结构；10、排风扇；11、第一内腔；12、第二内腔；13、空腔；14、驱动电机；15、支腿；16、第一伸缩杆；17、连接块；18、第二伸缩杆；19、检测探头；20、气阀；21、连接管；22、固定架；23、第一喷气头；24、第二喷气头。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种研磨垫磨损的检测装置，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种研磨垫磨损的检测装置，包括检测装置(4)、伸缩架(2)和底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部活动连接有吸附盘(3)，所述底座(1)的顶部与伸缩架(2)的下端固定连接，所述伸缩架(2)远离底座(1)的另一端与检测装置(4)的上端固定连接，所述检测装置(4)位于吸附盘(3)的正上方，所述吸附盘(3)的顶部开设有若干通孔(7)。2.根据权利要求1所述的一种研磨垫磨损的检测装置，其特征在于：所述吸附盘(3)底部的中心处设置有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的外壁与底座(1)的内壁固定连接，所述驱动电机(14)的轴杆与吸附盘(3)的中心处固定连接，所述吸附盘(3)的顶部开设有放置槽(6)，所述吸附盘(3)的内部开设有空腔(13)，所述空腔(13)与通孔(7)相连通，所述空腔(13)的一端固定连接有过滤网(8)，所述空腔(13)的另一端固定连接有排风结构(9)。3.根据权利要求1所述的一种研磨垫磨损的检测装置，其特征在于：所述伸缩架(2)包括第一伸缩杆(16)，所述第一伸缩杆(16)为竖直设置，所述第一伸缩杆(16)的下端与底座(1)的顶部固定连接，所述第一伸缩杆(16)的顶部固定连接有连接块(17)，所述连接块(17)的外壁固定连接有水瓶设置的第二伸缩杆(18)，所述第二伸缩杆(18)远离连接块(17)的一端与检测装置(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：申佩佩，
申请(专利权)人：德阳精研科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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