本实用新型专利技术公开了一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，包括底座，所述底座的上方滑动连接有滑动台，所述滑动台在底座上方沿前后方向滑动，所述滑动台上方固定有两组固定柱，两组所述固定柱之间连接有丝杆，所述丝杆的外部套设有螺纹套块，所述螺纹套块的底部固定有固定板，所述固定板上固定有气缸，所述气缸的输出端连接伸缩杆，所述伸缩杆的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板，本实用新型专利技术能够对扫描电镜提供三轴控制驱动，进而可以方便在对不同的样品检测时都能满足其位置调整需求。同的样品检测时都能满足其位置调整需求。同的样品检测时都能满足其位置调整需求。
【技术实现步骤摘要】
一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件
[0001]本技术涉及扫描电镜
，特别是涉及一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件。
技术介绍
[0002]扫描电镜是一种新型的电子光学仪器，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展；扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的，实际使用时需要利用驱动组件对扫描电镜进行驱动使其运动到样品台上方合适位置再对样品进行扫描检测。
[0003]现有的扫描电镜用的控制驱动组件一般只能调整其高度，因此在对不同的样品进行检测的时候不方便根据需要将其调整到合适的位置。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，能够对扫描电镜提供三轴控制驱动，进而可以方便在对不同的样品检测时都能满足其位置调整需求。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，包括底座，所述底座的上方滑动连接有滑动台，所述滑动台在底座上方沿前后方向滑动，所述滑动台上方固定有两组固定柱，两组所述固定柱之间连接有丝杆，所述丝杆的外部套设有螺纹套块，所述螺纹套块的底部固定有固定板，所述固定板上固定有气缸，所述气缸的输出端连接伸缩杆，所述伸缩杆的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述底座的上方固定有两组滑条，两组所述滑条相互对称设置，所述滑动台的底部开设有两组滑槽，两组所述滑条分别穿过两组滑槽。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述丝杆的一端穿过所述固定柱的一侧并连接有电机。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，远离电机的另一组所述固定柱的内侧开设有固定槽，所述丝杆的另一端伸入固定槽内部，所述固定槽内壁上均匀设有多组半球，所述半球的球面与丝杆之间滚动连接。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述丝杆上设有用于对螺纹套块的运动方向进行导向使其在两组固定柱之间做往复运动的导向机构。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述底座内部设有控制器，所述控制器的输出端分别连接电机和气缸。
[0011]与现有技术相比，本技术能达到的有益效果是：
[0012]本技术能够对扫描电镜提供三轴控制驱动，进而可以方便在对不同的样品检
测时都能满足其位置调整需求。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体外部结构示意图；
[0014]图2为本技术的整体内部结构示意图；
[0015]图3为本技术图2中A处放大图；
[0016]图4为本技术中滑动台与底座连接的俯视图；
[0017]其中：1、底座；2、滑动台；3、固定柱；4、电机；5、丝杆；6、螺纹套块；7、固定板；8、气缸；9、伸缩杆；10、安装板；11、滑条；12、滑槽；13、固定槽；14、半球。
具体实施方式
[0018]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本技术，但下述实施例仅仅为本技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本技术的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
[0019]实施例:
[0020]如图1、图2所示，本技术提供，一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，包括底座1，所述底座1的上方滑动连接有滑动台2，所述滑动台2在底座1上方沿前后方向滑动，所述滑动台2上方固定有两组固定柱3，两组所述固定柱3之间连接有丝杆5，所述丝杆5的外部套设有螺纹套块6，所述螺纹套块6的底部固定有固定板7，所述固定板7上固定有气缸8，所述气缸8的输出端连接伸缩杆9，所述伸缩杆9的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板10；
[0021]使用本装置时，将扫描电镜安装在安装板10上，通过推动滑动台2在底座1上滑动可以带动其上方的固定柱3及安装板10和安装板10上的扫描电镜滑动，实现对扫描电镜在X轴上进行驱动，通过在螺纹套块6上设置导向机构实现转动丝杆5带动螺纹套块6左右滑动，进而可以驱动其底部的固定板7以及安装板10和安装板10上的扫描电镜左右滑动，实现对扫描电镜在Y轴上进行驱动，通过气缸8可以驱动伸缩杆9进行伸缩，进而可以使得伸缩杆9底部的安装板10及扫描电镜上下移动，实现对扫描电镜在Z轴上进行驱动，最终达到对扫描电镜在三轴上的控制驱动，方便在对不同的样品检测时都能满足扫描电镜的位置调整需求。
[0022]如图2、图4所示，所述底座1的上方固定有两组滑条11，两组所述滑条11相互对称设置，所述滑动台2的底部开设有两组滑槽12，两组所述滑条11分别穿过两组滑槽12；通过设置滑条11和滑槽12相互配合可以使得滑动台2及其上方的扫描电镜在底座1上平稳的滑动。
[0023]如图1、图2所示，所述丝杆5的一端穿过所述固定柱3的一侧并连接有电机4；通过设置电机4方便对丝杆5进行电控驱动。
[0024]如图2、图3所示，远离电机4的另一组所述固定柱3的内侧开设有固定槽13，所述丝
杆5的另一端伸入固定槽13内部，所述固定槽13内壁上均匀设有多组半球14，所述半球14的球面与丝杆5之间滚动连接；通过设置固定槽13对丝杆5进行安装，通过设置多组半球14可以减小丝杆5与固定槽13之间的接触面积，进而减小丝杆5转动时对其表面的磨损。
[0025]所述丝杆5上设有用于对螺纹套块6的运动方向进行导向使其在两组固定柱3之间做往复运动的导向机构。
[0026]为了方便对扫描电镜的运动进行电控，可以在底座1内部设置控制器，所述控制器的输出端分别连接电机4和气缸8。
[0027]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上方滑动连接有滑动台(2)，所述滑动台(2)在底座(1)上方沿前后方向滑动，所述滑动台(2)上方固定有两组固定柱(3)，两组所述固定柱(3)之间连接有丝杆(5)，所述丝杆(5)的外部套设有螺纹套块(6)，所述螺纹套块(6)的底部固定有固定板(7)，所述固定板(7)上固定有气缸(8)，所述气缸(8)的输出端连接伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板(10)。2.根据权利要求1所述的一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，其特征在于：所述底座(1)的上方固定有两组滑条(11)，两组所述滑条(11)相互对称设置，所述滑动台(2)的底部开设有两组滑槽(12)，两组所述滑条(11)分别穿过两组滑槽(12)。3.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜伟，
申请(专利权)人：沈阳泽康检测服务有限公司，
类型：新型
国别省市：
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