顶升结构和物料加工设备制造技术

本申请提出了一种顶升结构和物料加工设备，属于硅片加工设备技术领域。顶升结构包括：支撑板，支撑板上设有多个通孔；托举组件，可升降地设置，托举组件贯穿通孔，托举组件在通孔中升降时不会脱离支撑板；升降装置，设于托举组件的下方，用于带动托举组件在通孔中升降。通过本申请的技术方案，在托举组件下降时，可以稳定落在支撑板的通孔中，更能适应加热温度的影响，提高了顶升硅片时的稳定性。提高了顶升硅片时的稳定性。提高了顶升硅片时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
顶升结构和物料加工设备


[0001]本申请属于硅片加工设备
，具体涉及一种顶升结构和物料加工设备。

技术介绍

[0002]现有托举硅片组件存在被顶升后，顶升托举平台上顶升立柱的上表面存在不水平及托举硅片组件被顶升可能发生位移，下落无法复原到工艺腔支撑板通孔内的问题。同时，加热后工艺腔支撑板膨胀量较大(自由膨胀没有基准)，支撑板上通孔的位置会发生偏移，使现有技术中顶升托举平台上的顶升立柱进行顶升时无法正常穿过支撑板通孔，或与通孔发生碰撞。

技术实现思路

[0003]根据本申请的实施例旨在至少改善现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]有鉴于此，根据本申请的实施例的一个目的在于提供一种顶升结构。
[0005]根据本申请的实施例的另一个目的在于提供一种物料加工设备。
[0006]为了实现上述目的，根据本申请第一方面的实施例提供了一种顶升结构，包括：支撑板，支撑板上设有多个通孔；托举组件，可升降地设置，托举组件贯穿通孔，托举组件在通孔中升降时不会脱离支撑板；升降装置，设于托举组件的下方，用于带动托举组件在通孔中升降。
[0007]根据本申请提供的顶升结构，包括支撑板、托举组件和升降装置。支撑板上设有多个通孔，托举组件贯穿通孔，并可在通孔中可升降地活动。升降装置设于托举组件的下方，用于带动托举组件在通孔中升降。其中，托举组件在通孔中升降时不会脱离支撑板，使托举组件更容易落入支撑板的通孔中，提高顶升结构运行的稳定性。因而避免了顶升立柱穿过支撑板的通孔，排除了现有技术中工艺腔在受热后由于支撑板自由膨胀，使顶升立柱无法通过支撑板的通孔或与支撑板的通孔发生碰撞的问题，更能适应加热温度的影响，提高整体设备稼动率。
[0008]另外，本申请提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：
[0009]上述技术方案中，托举组件包括：托举块，用于托举支撑板上的物料，且限制托举组件下降时脱离支撑板；固定块，用于限制托举组件升起时脱离支撑板；其中，固定块设于支撑板的下方，托举块穿过通孔设于固定块的上方，且固定块与托举块相连接。
[0010]在该技术方案中，托举组件包括托举块和固定块。托举块用于托举支撑板上的物料，在托举组件下降时可以限制托举组件脱离支撑板。固定块位于支撑板的下方，托举块穿过通孔与固定块相连接，固定块能够防止固定块升起时脱离支撑板，从而使托举组件下降时能稳定落入支撑板的通孔内，提高顶升结构运行的稳定性。
[0011]上述技术方案中，固定块的横截面形状与通孔或托举块的横截面形状相同或不同，固定块升起时，固定块靠近支撑板的一面与支撑板相抵接。
[0012]在该技术方案中，固定块的横截面形状与通孔或托举块的横截面形状相同或不
同，固定块升起时，固定块靠近支撑板的一面与支撑板相抵，从而使固定块被顶升时不会穿过通孔脱离支撑板。
[0013]上述技术方案中，托举块靠近固定块的一面设有空心部。
[0014]在该技术方案中，托举块靠近固定块的一面设有空心部，空心部的设置减轻了托举块的重量，使托举块的重心下移，从而使托举块更容易落入支撑板的通孔内。
[0015]上述技术方案中，升降装置包括：顶升托举平台，顶升托举平台包括多个顶升立柱，每个顶升立柱与一个托举组件对应设置；升降驱动部，与顶升托举平台连接，升降驱动部用于驱动顶升托举平台升降。
[0016]在该技术方案中，升降装置包括顶升托举平台和升降驱动部。升降驱动部用于驱动顶升托举平台升降。顶升托举平台包括多个顶升立柱，每个顶升立柱与一个托举组件对应设置，用于托举该托举组件，使托举组件能够在支撑板的通孔中升降。
[0017]根据本申请第二方面的技术方案提供了一种物料加工设备，包括：壳体；如本申请上述第一方面中任一技术方案的顶升结构，设于壳体内。
[0018]根据本申请提供的物料加工设备，包括壳体和如本申请上述第一方面中任一技术方案的顶升结构，因而其具有如本申请上述第一方面中任一技术方案的顶升结构的全部有益效果，在此不再赘述。
[0019]根据本申请的实施例的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过根据本申请的实施例的实践了解到。
附图说明
[0020]图1是根据本申请提供的一个实施例的托举组件的立体结构示意图；
[0021]图2是根据本申请提供的一个实施例的顶升结构的剖视结构示意图；
[0022]图3是根据本申请提供的另一个实施例的顶升结构的剖视结构示意图；
[0023]图4是根据本申请提供的一个实施例的托举块的主视结构示意图；
[0024]图5是根据本申请提供的一个实施例的固定块的俯视结构示意图；
[0025]图6是图4的A
‑
A方向的剖视结构示意图；
[0026]图7是图5的B
‑
B方向的剖视结构示意图。
[0027]其中，图1至图7中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：
[0028]10：顶升结构；100：支撑板；200：托举组件；210：托举块；212：第一限位部；214：第二限位部；220：固定块；222：凹槽；230：第一紧固件； 240：第二紧固件；300：顶升托举平台；400：升降驱动部；500：加热器平台；600：壳体。
具体实施方式
[0029]为了可以更清楚地理解根据本申请的实施例的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对根据本申请的实施例进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，根据本申请的实施例的特征可以相互组合。
[0030]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解根据本申请的实施例，但是，根据本申请的实施例还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，根据本申请的实施例提供的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
[0031]下面参照图1至图7描述根据本申请提供的一些实施例。
[0032]如图1和图2所示，根据本申请的实施例提出的一个顶升结构10，包括支撑板100、托举组件200和升降装置。具体地，支撑板100上设有多个通孔，托举组件200可升降地设置，托举组件200贯穿通孔。升降装置设于托举组件200的下方，用于带动托举组件200在通孔中升降。其中，托举组件 200在通孔中升降时不会脱离支撑板100。
[0033]根据本实施例提供的顶升结构10包括支撑板100、托举组件200和升降装置。支撑板100上设有多个通孔，托举组件200贯穿通孔，并可在通孔中可升降的活动。升降装置设于托举组件200的下方，用于带动托举组件200 在通孔中升降。其中，托举组件200在通孔中升降时不会脱离支撑板100，使托举组件200更容易落入支撑板100的通孔中，提高顶升结构10运行的稳定性。并且还避免了顶升立柱穿过支撑板100的通孔，排除了现有技术中工艺腔在受热后由于支撑板100自由膨胀，使顶升立柱无法通过支撑板100的通孔或与支撑板100的通孔发生碰本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种顶升结构，其特征在于，包括：支撑板(100)，所述支撑板(100)上设有多个通孔；托举组件(200)，可升降地设置，所述托举组件(200)贯穿所述通孔，所述托举组件(200)在所述通孔中升降时不会脱离所述支撑板(100)；升降装置，设于所述托举组件(200)的下方，用于带动所述托举组件(200)在所述通孔中升降。2.根据权利要求1所述的顶升结构，其特征在于，所述托举组件(200)包括：托举块(210)，用于托举所述支撑板(100)上的物料，且限制所述托举组件(200)下降时脱离所述支撑板(100)；固定块(220)，用于限制所述托举组件(200)升起时脱离所述支撑板(100)；其中，所述固定块(220)设于所述支撑板(100)的下方，所述托举块(210)穿过所述通孔设于所述固定块(220)的上方，且所述固定块(220)与所述托举块(210)相连接。3.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，梁建军，芦伟，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：