本发明专利技术提供一种半导体设备的片舟暂存装置及半导体设备，片舟暂存装置用于暂存片舟，其两个相对设置的承载台用于分别承载片舟长度方向上的两端；设置在每个承载台上的第一定位结构用于与片舟长度方向上一端的两个定位部朝向或背离另一端的两个定位部的两侧面滚动接触，以对片舟在其长度方向上与片舟暂存装置的相对位置进行定位；设置在每个承载台上的第二定位结构用于与片舟长度方向上一端的两个定位部相互朝向或背离的两侧面滚动接触，以对片舟在其宽度方向上与片舟暂存装置的相对位置进行定位。本发明专利技术提供的半导体设备的片舟暂存装置及半导体设备能够降低晶片受到的污染，提高晶片的洁净度。提高晶片的洁净度。提高晶片的洁净度。
【技术实现步骤摘要】
半导体设备的片舟暂存装置及半导体设备
[0001]本专利技术涉及半导体设备
，具体地，涉及一种半导体设备的片舟暂存装置及半导体设备。
技术介绍
[0002]卧式等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition，简称PECVD)设备可以在高温条件下，在晶片的表面沉积形成氮化硅薄膜，在高温反应后，用于承载晶片的片舟需要在片舟暂存装置上进行冷却，待片舟冷却至接近室温后，再由机械手操作片舟进行倒片。
[0003]现有的一种片舟暂存装置在对片舟进行暂存时，片舟暂存装置上的定位结构具有的定位面会先与片舟上的定位部的定位面进行滑动接触，对片舟与片舟暂存装置的相对位置进行定位，之后片舟暂存装置的承载台再与片舟的两端接触，对片舟进行承载，之后片舟暂存装置的冷却组件向片舟吹送冷风，对片舟进行冷却。
[0004]但是，由于片舟暂存装置上的定位结构是与片舟上的定位部为面面滑动接触，而多数片舟的材质为石墨，因此，就导致当片舟暂存装置的定位结构与片舟的定位部接触时，石墨材质的片舟的定位部会有石墨颗粒被片舟暂存装置的定位结构摩擦下来，这样当冷却组件向片舟吹送冷风时，就会将摩擦下来的石墨颗粒吹起并吹向片舟，导致片舟承载的晶圆受到石墨颗粒的污染，造成晶片的洁净度较差。
技术实现思路
[0005]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体设备的片舟暂存装置及半导体设备，其能够降低晶片受到的污染，提高晶片的洁净度。
[0006]为实现本专利技术的目的而提供一种半导体设备的片舟暂存装置，用于暂存片舟，所述片舟长度方向上的两端均设置有两个定位部，且各端的两个所述定位部在所述片舟的宽度方向上间隔设置，所述片舟暂存装置包括两个相对设置的承载台，用于分别承载所述片舟长度方向上的两端；所述片舟暂存装置还包括在每个所述承载台上设置的第一定位结构和第二定位结构，其中，
[0007]所述第一定位结构用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部朝向或背离另一端的两个所述定位部的两侧面滚动接触，以对所述片舟在其长度方向上与所述片舟暂存装置的相对位置进行定位；
[0008]所述第二定位结构用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部相互朝向或背离的两侧面滚动接触，以对所述片舟在其宽度方向上与所述片舟暂存装置的相对位置进行定位。
[0009]可选的，在两个所述承载台相对的方向上，两个所述第一定位结构之间的距离小于两个所述第二定位结构之间的距离，所述第一定位结构用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部朝向另一端的两个所述定位部的两侧面滚动接触，所述第二定位结构用
于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部相互朝向的两侧面滚动接触。
[0010]可选的，所述第一定位结构包括两个第一连接件、两个第一转轴和两个第一滚轮，两个所述第一连接件均与所述承载台连接，并在垂直于两个所述承载台相对的方向上间隔设置，两个所述第一转轴分别穿设于两个所述第一连接件中，且各所述第一转轴的轴向均与两个所述承载台相对的方向垂直，两个所述第一滚轮可围绕所述第一转轴的轴线转动的分别套设在两个所述第一转轴上，用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部朝向另一端的两个所述定位部的两侧面分别滚动接触。
[0011]可选的，所述第二定位结构包括两个第二连接件、两个第二转轴和两个第二滚轮；
[0012]两个所述第二连接件均与所述承载台连接，并在垂直于两个所述承载台相对的方向上间隔设置，两个所述第二转轴分别穿设于两个所述第二连接件中，且各所述第二转轴的轴向均与两个所述承载台相对的方向平行，两个所述第二滚轮可围绕所述第二转轴的轴线转动的分别套设在两个所述第二转轴上，用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部相互朝向的两侧面分别滚动接触。
[0013]可选的，所述承载台上设置有第一螺纹连接孔，所述第二连接件上设置有连接长孔，所述第二定位结构还包括第一螺纹连接件，所述连接长孔的长轴垂直于两个所述承载台相对的方向，所述第一螺纹连接件穿过所述连接长孔与所述第一螺纹连接孔螺纹连接。
[0014]可选的，所述片舟暂存装置还包括两个第一支撑柱、两个第一支撑板和两个第二支撑板，两个所述第一支撑柱的轴线平行，两个所述第一支撑板分别与两个所述第一支撑柱连接，且所述第一支撑板的轴线与所述第一支撑柱的轴线垂直，两个所述第二支撑板分别与两个所述第一支撑板连接，且所述第二支撑板的轴线与所述第一支撑板的轴线垂直，并与所述第一支撑柱的轴线垂直，两个所述承载台分别与两个所述第二支撑板连接。
[0015]可选的，所述片舟暂存装置还包括调节轴、第一固定件和第二固定件，所述调节轴与所述承载台连接，且所述调节轴的轴向与两个所述承载台相对的方向平行，所述第一固定件和所述第二固定件上分别开设有第一凹槽和第二凹槽，且所述第一凹槽和所述第二凹槽能够配合形成供所述调节轴穿过的调节孔，所述第一固定件与所述第二支撑板连接，所述第二固定件与所述第一固定件可拆卸的连接，用于通过所述调节孔卡紧所述调节轴，或取消对所述调节轴的卡紧。
[0016]可选的，所述承载台上还设置有高度差补偿件，所述高度差补偿件在两个所述承载台相对的方向上设置在所述承载台远离另一个所述承载台的一侧上，所述高度差补偿件的上表面高于所述承载台的上表面。
[0017]可选的，所述片舟暂存装置还包括检测部件，所述检测部件设置在所述第一支撑板上，用于检测所述承载台上是否承载有所述片舟，且所述检测部件与承载于所述承载台上的所述片舟之间具有预设距离。
[0018]可选的，所述片舟暂存装置还包括液冷部件、风冷部件和过滤部件，所述液冷部件用于冷却其周围的气体，所述风冷部件相对于所述液冷部件靠近所述承载台，用于将受所述液冷部件冷却的气体吹送向承载于所述承载台上的所述片舟，所述过滤部件设置在所述液冷部件和风冷部件之间，用于对所述风冷部件吹送向承载于所述承载台上的所述片舟的气体进行过滤。
[0019]可选的，所述风冷部件包括风机和支撑架，所述风机设置在所述支撑架的上方，用
于将受所述液冷部件冷却的气体吹送向承载于所述承载台上的所述片舟，所述支撑架的下方设置有容置所述过滤部件的容置槽，且所述支撑架设置有分别与风机和所述容置槽连通的通风口，且所述容置槽具有供所述过滤部件取放的第一取放口。
[0020]可选的，所述风机的数量为多个，多个所述风机分为多个风机组，各所述风机组包括至少一个所述风机，所述支撑架的数量为多个，所述风冷部件还包括支撑框架，多个所述风机组一一对应的设置在多个所述支撑架上，所述支撑框架中开设有供多个所述支撑架一一对应安装的多个安装空间，且所述支撑框架上开设有与多个所述安装空间和多个所述第一取放口一一对应连通的多个第二取放口，各所述第二取放口用于供所述过滤部件的取放。
[0021]可选的，所述风冷部件还包括风机保护件，所述风机保护件覆盖在所述风机的上方，且所述风机保护件上开设有供所述风机露出的露出口。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体设备的片舟暂存装置，用于暂存片舟，所述片舟长度方向上的两端均设置有两个定位部，且各端的两个所述定位部在所述片舟的宽度方向上间隔设置，其特征在于，所述片舟暂存装置包括两个相对设置的承载台，用于分别承载所述片舟长度方向上的两端；所述片舟暂存装置还包括在每个所述承载台上设置的第一定位结构和第二定位结构，其中，所述第一定位结构用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部朝向或背离另一端的两个所述定位部的两侧面滚动接触，以对所述片舟在其长度方向上与所述片舟暂存装置的相对位置进行定位；所述第二定位结构用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部相互朝向或背离的两侧面滚动接触，以对所述片舟在其宽度方向上与所述片舟暂存装置的相对位置进行定位。2.根据权利要求1所述的半导体设备的片舟暂存装置，其特征在于，在两个所述承载台相对的方向上，两个所述第一定位结构之间的距离小于两个所述第二定位结构之间的距离，所述第一定位结构用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部朝向另一端的两个所述定位部的两侧面滚动接触，所述第二定位结构用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部相互朝向的两侧面滚动接触。3.根据权利要求2所述的半导体设备的片舟暂存装置，其特征在于，所述第一定位结构包括两个第一连接件、两个第一转轴和两个第一滚轮，两个所述第一连接件均与所述承载台连接，并在垂直于两个所述承载台相对的方向上间隔设置，两个所述第一转轴分别穿设于两个所述第一连接件中，且各所述第一转轴的轴向均与两个所述承载台相对的方向垂直，两个所述第一滚轮可围绕所述第一转轴的轴线转动的分别套设在两个所述第一转轴上，用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部朝向另一端的两个所述定位部的两侧面分别滚动接触。4.根据权利要求2所述的半导体设备的片舟暂存装置，其特征在于，所述第二定位结构包括两个第二连接件、两个第二转轴和两个第二滚轮；两个所述第二连接件均与所述承载台连接，并在垂直于两个所述承载台相对的方向上间隔设置，两个所述第二转轴分别穿设于两个所述第二连接件中，且各所述第二转轴的轴向均与两个所述承载台相对的方向平行，两个所述第二滚轮可围绕所述第二转轴的轴线转动的分别套设在两个所述第二转轴上，用于与所述片舟长度方向上一端的两个所述定位部相互朝向的两侧面分别滚动接触。5.根据权利要求4所述的半导体设备的片舟暂存装置，其特征在于，所述承载台上设置有第一螺纹连接孔，所述第二连接件上设置有连接长孔，所述第二定位结构还包括第一螺纹连接件，所述连接长孔的长轴垂直于两个所述承载台相对的方向，所述第一螺纹连接件穿过所述连接长孔与所述第一螺纹连接孔螺纹连接。6.根据权利要求1所述的半导体设备的片舟暂存装置，其特征在于，所述片舟暂存装置还包括两个第一支撑柱、两个第一支撑板和两个第二支撑板，两个所述第一支撑柱的轴线平行，两个所述第一支撑板分别与两个所述第一支撑柱连接，且所述第一支撑板的轴线与所述第一支撑柱的轴线垂直，两个所述第二支撑板分别与两个所述第一支撑板连接，且所述第二支撑板的轴线与所述第一支撑板的轴线垂直，并与所述第一支撑柱的轴线垂直，两
个所述承载台分别与两个所述第二支撑板连接。7.根据权利要求6所述的半导体设...
【专利技术属性】
技术研发人员：李金龙，李建国，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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