一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手制造技术

一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手，其设置在输运舱，用于工艺舱的投料和取料，其包括动力组、直线模组组件和夹爪组件；所述动力组提供动力，通过所述直线模组组件驱动所述夹爪组件做直线往复运动，直线模组组件在输运舱内向工艺舱方向运动到极限位置时，其上安装的夹爪组件中的上、下爪板穿出输运舱进入工艺舱，所述夹爪组件自身结构可驱动其上、下爪板相向或背向运动而靠近或远离，从而实现抓取或松开挂板。本实用新型专利技术机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。真空镀膜机内大型挂板的传送任务。真空镀膜机内大型挂板的传送任务。

【技术实现步骤摘要】
一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手


[0001]本技术涉及大型真空镀膜机内，特别是多舱配置的大型真空镀膜机内，负责完成大型工件挂板自动传送任务的一种机械手。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。为提高产能和效率，设备设计越来越大，装载量越来越多，单个工件挂具(多个工件挂装在挂具上一起完成镀膜)也越大越重；为提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是每炉镀膜包括装卸工件都在真空中进行不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。因此，近年来真空镀膜设备发展方面，一方面大型化，一方面是多舱化。
[0003]多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与进料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从进料舱送入工艺舱(镀膜工艺舱室的简称)，镀膜工艺完成后，再在真空状态下把工件移出到出料舱。设备的大型化，使装挂工件的挂具数量多，挂具体积大，装挂上工件后的挂具重量很重。这些挂具在真空状态下传送转舱，必须靠机械手完成。
[0004]为适应当前真空镀膜设备的发展趋势，研制真空机械手是当务之急。因为真空镀膜机的镀膜工件材质、大小、形状各异，所用工件挂具的大小、形状、数量也不同，另外，不同型号真空镀膜机的预备舱(主要指进料仓和出料仓)、过渡舱(用于连通进、出料仓与工艺舱)和工艺舱的设计也会不同，与之适应的挂具的传送方式也会有不同，因此机械手的动作和功能不尽相同，故机械手的设计五花八样。对于炉内可挂二十多块大尺寸、重量重的矩形平板式挂具(挂具尺寸 300mmx1500mmx35mm，挂满工件时，重40kg左右)的大型真空镀膜设备，目前还没有能完成工件挂板自动传送任务的机械手。

技术实现思路

[0005]本技术的专利技术目的是，提供一种用于大型多舱室真空镀膜机内大型挂板传送的输运舱送取挂板机械手。
[0006]本技术的专利技术目的通过如下技术方案实现：一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手，其设置在输运舱，用于工艺舱的投料和取料，其包括动力组、直线模组组件和夹爪组件；
[0007]所述动力组与所述直线模组组件相连，所述夹爪组件与所述直线模组组件相连，所述动力组提供动力，通过所述直线模组组件驱动所述夹爪组件做直线往复运动；
[0008]所述夹爪组件包括移动支架和用于挂板抓取的上、下爪板机构；
[0009]所述移动支架包括立架、支架和驱动主板；所述立架支撑着整个所述夹爪组件，所
述支架固定在所述立架上，整体形成前凸结构，所述驱动主板可横向滑动地安装在所述支架前端面中部，它们之间还设有气缸，以驱动两者的相对运动，所述驱动主板的前端面横中轴线的两侧，对称的设有一组凸轮轴承，所述上、下爪板机构包括上、下爪板，这两爪板分别设置在所述驱动主板前端面的上、下侧，并分别设有一条镂空的斜槽，两斜槽形成横置的八字形，所述驱动主板横中轴线两侧的凸轮轴承分别套在对应的斜槽中，所述上、下爪板还分别可上、下滑动地安装在其背后的所述支架的上、下侧，所述直线模组组件在输运舱内向所述工艺舱方向运动到极限位置时，所述前凸结构使其上安装的上、下爪板穿出输运舱进入工艺舱。
[0010]直线模组组件带动夹爪组件在不同工位间切换，在某个工位上，气缸驱动驱动主板横向往复运动，其上的凸轮轴承沿斜槽移动，从而带动上、下爪板靠拢或远离实现挂板的抓取或松开。
[0011]本技术送取挂板机械手的运动，从大体上来说，分成了两个维度，前后方向和上下方向，前后方向主要用于工位切换，上下方向主要用于挂板抓取。本技术在工位切换上，采用了精度高、运动平稳的直线模组来传动，上下方向，巧妙的运用凸轮轴承和斜槽的配合，将气缸的横向运动转换成了上、下爪板的上下运动，实现了只通过一个动力部件同时控制两爪板的开合运动。
[0012]所述输运舱内的所述送取挂板机械手只有一个，在所述工艺舱成品挂板出舱时，该机械手在靠近所述工艺舱的工位上，同时完成投料和出料操作，在远离所述工艺舱的另一工位上，同时完成抓取待镀挂板和转移已镀挂板操作。
[0013]该方式不仅保证了较高的挂板传送效率，而且只设置一个机械手，工艺舱与输运舱之间的传送门尺寸就可以相对较小，有利于降低该处的密封传送门的设计难度。
[0014]所述直线模组组件包括直线模组和与之并排的导轨，所述立架底部滑动安装在所述直线模组组件的导轨上，并通过连接件与所述直线模组的可移动滑块相连，所述动力组与所述直线模组相连，驱动所述直线模组的滑块往复运动。
[0015]本技术中的挂板完全由一只机械手抓取，势必本技术中的立架应具有一定的宽度，以在传送挂板时，能保持较好的平衡。若采用直线模组由立架底部驱动或两侧分别驱动，则要求的模组规模就会较大或数量上就会翻倍。而采用上述结构的直线模组组件，有利于降低对直线模组规模或数量的要求。
[0016]所述上爪板的前端面为一平板，该平板的上部两侧设有护板，顶端设有前伸的弯板，所述上爪板机构还包括用于作用在挂板上的夹紧块，其安装在所述弯板的底面；所述下爪板与所述上爪板上、下对称。上述护板用于防止挂板由侧面掉落。
[0017]所述夹紧块横截面呈U字形。
[0018]所述立架呈一直角梯形体，由6个面构成，并设有多处镂空。
[0019]所述支架侧视图呈等腰梯形，包括平行的前端面和背面，前端面分断成上下两部分，每部分分别通过中间面连接背面，两中间面中部由H形的框架连在一起，该H形框架两前端脚形成外翻边，由所述支架的前端面看，H形框架及其外翻边设置在前端面的分断处内侧，所述支架的多个面上也分别设有镂空结构。
[0020]有益效果：
[0021]本技术机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大
型挂板(长度可达一米以上，挂满工件后，重量可达数十斤)的传送任务。
附图说明
[0022]图1为本实施例中大型多舱室真空镀膜机的布局图；
[0023]图2a
‑
2e为顶、底机械手的相关示意图，其中，图2a为进料舱侧面立剖视图，图2b为图2a的F处的放大图，图2c为图2a的E处的放大图，图2d为顶、底机械手的局部结构示意图一，主要反映运动组件支架、夹紧块安装板部分的装配结构，图2e为顶、底机械手的局部结构示意图二，主要反映倾斜滑板部分的装配结构；
[0024]图3a
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3b为进料舱侧机械手的相关示意图，其中，图3a为侧机械手的立体图，图3b为左视图；
[0025]图4a
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4c为送取挂板机械手的相关示意图，其中，图4a为送取挂板机械手的侧立视图，图4b为送取挂板机械手的立体图，图4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手，其特征在于，其设置在输运舱，用于工艺舱的投料和取料，其包括动力组、直线模组组件和夹爪组件；所述动力组与所述直线模组组件相连，所述夹爪组件与所述直线模组组件相连，所述动力组提供动力，通过所述直线模组组件驱动所述夹爪组件做直线往复运动；所述夹爪组件包括移动支架和用于挂板抓取的上、下爪板机构；所述移动支架包括立架、支架和驱动主板；所述立架支撑着整个所述夹爪组件，所述支架固定在所述立架上，整体形成向前凸出的倒L形，所述驱动主板可横向滑动地安装在所述支架前端面中部，它们之间还设有气缸，以驱动两者的相对运动，所述驱动主板的前端面横中轴线的两侧，对称的设有一组凸轮轴承，所述上、下爪板机构包括上、下爪板，这两爪板分别设置在所述驱动主板前端面的上、下侧，并分别设有一条镂空的斜槽，两斜槽形成横置的八字形，所述驱动主板横中轴线两侧的凸轮轴承分别套在对应的斜槽中，所述上、下爪板还分别可上、下滑动地安装在其背后的所述支架的上、下侧，所述直线模组组件在输运舱内向所述工艺舱方向运动到极限位置时，凸出的所述支架使其上安装的上、下爪板穿出输运舱进入工艺舱。2.根据权利要求1所述的送取挂板机械手，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗志明，李运俊，陸创程，陈思，冯晓庭，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：