部件承载件及其制造方法技术

本申请提供了一种部件承载件(100)以及制造部件承载件的方法，该方法包括：形成包括至少一个电传导层结构(104)和/或至少一个电绝缘层结构(106)的叠置件(102)，以及通过具有小于1ns脉冲长度(t0)的脉冲激光束(108)从叠置件(102)沿着闭合的周向激光切割轨迹切割出部件承载件(100)。件承载件(100)。件承载件(100)。

【技术实现步骤摘要】
部件承载件及其制造方法


[0001]本专利技术涉及制造部件承载件的方法，并且涉及部件承载件。

技术介绍

[0002]在配备有一个或更多个电子部件的部件承载件的产品功能不断增加并且这些部件的逐步小型化以及要连接至诸如印刷电路板之类的部件承载件的部件数量不断增多的情况下，采用了具有多个部件的越来越强大的阵列状部件或封装件，这些阵列状部件或封装件具有多个接触部或连接部，其中这些接触部之间的间隔越来越小。特别地，部件承载件应当是机械上稳定且电气上可靠的，以便即使在恶劣条件下也能够操作。
[0003]在许多情况下，部件承载件比如印刷电路板是在面板水平上制造的，其中，最终制造的部件承载件可以在制造过程结束时从面板切割出而分离。常规地，这可以例如通过机械锯割或通过激光切割来实现。
[0004]然而，结构产物可能发生在部件承载件的切割边缘。

技术实现思路

[0005]可能需要一种能够以可靠且精确的方式制造的部件承载件且在部件承载件的侧壁边缘处没有结构产物。
[0006]根据本专利技术的示例性实施方式，提供了一种制造部件承载件的方法，其中，该方法包括：形成包括至少一个电传导层结构和/或至少一个电绝缘层结构的叠置件，以及通过具有小于1ns脉冲长度的脉冲激光束从叠置件沿着闭合的周向激光切割轨迹(或路径)切割出部件承载件。
[0007]根据本专利技术的另一示例性实施方式，提供了一种制造部件承载件的方法，其中，该方法包括：形成包括至少一个电传导层结构和/或至少一个电绝缘层结构的叠置件，以及通过绿色激光束从叠置件沿着闭合的周向激光切割轨迹(或路径)切割出部件承载件。
[0008]根据本专利技术的另一示例性实施方式，提供了一种部件承载件，其中，部件承载件包括：具有至少一个电传导层结构和/或至少一个电绝缘层结构的叠置件，其中，叠置件的整个轮廓侧壁的粗糙度Rz(或替代性地为粗糙度 Ra)不超过20μm。
[0009]在本申请的上下文中，术语“部件承载件”可以特别地表示任何支撑结构，该支撑结构能够在该支撑结构上和/或支撑结构中容纳一个或更多个部件从而用于提供机械支撑和/或电连接。换言之，部件承载件可以构造为用于部件的机械和/或电子承载件。特别地，部件承载件可以是印刷电路板、有机插置件和IC(集成电路)基板中的一者。部件承载件也可以是将上述类型的部件承载件中的不同的部件承载件组合的混合板。
[0010]在本申请的上下文中，术语“叠置件”可以特别地表示彼此平行地上下安装的多个平面层结构的布置结构。叠置件的层结构可以通过层压、即施加热和/或压力来连接。
[0011]在本申请的上下文中，术语“层结构”可以特别地表示在同一平面内的连续层、图案化层或多个非连续的岛状件(island)。
[0012]在本申请的上下文中，术语“脉冲激光束”可以特别地表示由配置成成用于能够在脉冲模式下操作的激光源产生的基本单色电磁辐射的束。激光源的脉冲操作可以是指不以连续波的形式工作的任何激光源，但与此相比，光功率作为预限定的持续时间的脉冲序列以预定的重复率发射。例如，脉冲激光束可以由在时间上分开的具有大能量的激光脉冲构成，其非常适于切割待制造的部件承载件的层叠置件。
[0013]在本申请的上下文中，术语“脉冲长度”或脉冲持续时间可以特别地表示激光脉冲的幅度(例如强度)达到其最大幅度的指定部分或水平的时间点与脉冲幅度下降到同一水平的较晚时间点之间的时间间隔。特别地，最大幅度的50％的点之间的时间间隔可以用于确定或定义脉冲长度或脉冲持续时间。
[0014]在本申请的上下文中，术语“绿色激光束”可以特别地表示包括绿色可见光线的激光束。这可以对应于波长在介于492nm至577nm的范围、特别地在介于520nm至560nm的范围内的激光束。该绿色激光束可以是或可以不是脉冲的。
[0015]在本申请的上下文中，术语“轮廓侧壁”可以特别地表示平的或大致平的部件承载件的倾斜的或甚至竖向的周向表面区域。轮廓侧壁可以限定部件承载件的外部横向轮廓、周缘或圆周。
[0016]在本申请的上下文中，术语“粗糙度Rz”或表面粗糙度Rz可以特别地表示表面的被定义且被测量为平均粗糙深度Rz的粗糙度。Rz可以在从粗糙度曲线沿平均线方向采样参考长度时被确定，并且可以表示在沿粗糙度曲线的纵向方向测量的该采样部分上的顶部轮廓峰线与底部轮廓谷线之间的距离(例如，Rz可以通过对五个或十个单独的测量路径进行平均来确定)。替代性地，表面的粗糙度可以被定义且被测量为中心线平均高度Ra。Ra是轮廓距中心线所有距离的算术平均值。例如，粗糙度Rz或Ra的测量或确定可以根据DIN EN ISO 4287：1984来实施。
[0017]根据本专利技术的示例性实施方式，将一个或更多个部件承载件从叠置件或部件承载件结构(比如面板或阵列件)分离可以通过借助于具有非常有利的脉冲长度和/或具有非常有利的波长的激光束从叠置件切割出相应的部件承载件来实施。当通过使激光沿着闭合的激光切割环进行切割从而通过所述激光处理来限定切割出的部件承载件的整个轮廓时可以获得具有均匀且平滑的表面特性的精确且无产物的轮廓。
[0018]根据一方面，比如激光束可以以低于纳秒水平、即在亚纳秒范围内并且优选在皮秒范围内的脉冲持续时间来脉冲。事实证明，这种短而高能量的激光脉冲特别适于获得在切割边缘处具有低粗糙度、低的碳化水平的平滑切割边缘、以及玻璃纤维等类似物质横向延伸超出切割轮廓区域的低趋势。同时，使用脉冲长度小于1ns的激光脉冲允许进行快速切割，从而获得高产量，并有效利用可用的叠置件区域。
[0019]根据可以或不可以与先前描述的方面组合的另一方面，激光发射(基本上是单色)绿色光线可以用于从叠置件切割出相应的部件承载件。事实证明，这种绿色光线激光特别适合于获得在部件承载件的所切割的侧壁处具有低的粗糙度并且具有非常低的碳化程度的平滑的切割边缘。同时，可以在工业规模上实现快速且高效的切割并具有较高的产率。
[0020]示例性实施方式的详细描述
[0021]在下文，将对这些方法和部件承载件的另外的示例性实施方式进行说明。
[0022]在实施方式中，所述叠置件可以是部件承载件结构。在本申请的上下文中，术语
“
部件承载件结构”可以特别地表示目前正在制造的部件承载件的预成形件。特别地，部件承载件结构可以包括多个仍一体地连接的部件承载件或其预成形件，其可以在被分离之前以批处理的方式制造。特别地，部件承载件结构可以是面板(例如，具有18英寸x24英寸或更大的尺寸) 或阵列件(例如，具有目前正在制造的六个部件承载件)。例如，所制造的部件承载件可以是印刷电路板或集成电路(IC)基板。通过在激光切割期间使用以上条款，可以以高精度和高产量实现将部件承载件从部件承载件结构比如面板分离。
[0023]在实施方式中，脉冲激光束的脉冲长度在介于1ps至100ps的时间范围内。特别地，脉冲激光束可以具有不大于10ps的脉冲长度。从描述上讲，这种短激光脉冲被认为通过烧掉有机叠置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制造部件承载件(100)的方法，其中，所述方法包括：形成包括至少一个电传导层结构(104)和/或至少一个电绝缘层结构(106)的叠置件(102)；以及通过具有小于1ns的脉冲长度(t0)的脉冲激光束(108)从所述叠置件(102)沿着闭合的周向激光切割轨迹切割出所述部件承载件(100)。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述激光束(108)是绿色激光束或紫外线激光束。3.一种制造部件承载件(100)的方法，其中，所述方法包括：形成包括至少一个电传导层结构(104)和/或至少一个电绝缘层结构(106)的叠置件(102)；以及通过绿色激光束(108)从所述叠置件(102)沿着闭合的周向激光切割轨迹切割出所述部件承载件(100)。4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述激光束(108)是脉冲激光束(108)，特别地，所述脉冲激光束(108)的脉冲长度(t0)小于1ns。5.根据权利要求1、2或4中的任一项所述的方法，其中，所述脉冲激光束(108)的脉冲长度(t0)在介于1ps至100ps的时间范围内。6.根据权利要求1、2、4或5中的任一项所述的方法，其中，所述脉冲激光束(108)的脉冲长度(t0)不大于10ps。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的方法，其中，所述方法包括由皮秒激光源(112)产生所述激光束(108)。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的方法，其中，所述方法包括：通过使所述激光束(108)沿着所述部件承载件(100)的轮廓(114)移动多次而从所述叠置件(102)切割出所述部件承载件(100)，特别地，通过使所述激光束(108)沿着所述部件承载件(100)的所述轮廓(114)在闭合环中移动多次而从所述叠置件(102)切割出所述部件承载件(100)。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的方法，其中，所述方法包括：通过使所述激光束(108)沿着所述部件承载件(100)的轮廓(114)移动10次至100次、特别地移动50次至70次而从所述叠置件(102)切割出所述部件承载件(100)，特别地，通过使所述激光束(108)沿着所述部件承载件(100)的所述轮廓(114)在闭合环中移动10次至100次、特别地移动50次至70次而从所述叠置件(102)切割出所述部件承载件(100)。10.根据权利要求1至9中的任一项所述的方法，其中，所述激光束(108)的波长在介于492nm至577nm的范围内，特别地，所述激光束(108)的波长在介于520nm至560nm的范围内。11.根据权利要求1、2或者4至9中的任一项所述的方法，其中，所述激光束(108)的波长在介于50nm至650nm的范围内，特别地，所述激光束(108)的波长在介于450nm至600nm的范围内。12.根据权利要求1至11中的任一项所述的方法，其中，执行从所述叠置件(102)切割出所述部件承载件(100)以将所述部件承载件(100)从面板(116)分离。13.根据权利要求1至12中的任一项所述的方法，其中，通过冷烧蚀来执行从所述叠置件(102)切割出所述部件承载件(100)。14.一种部件承载件(100)，其中，所述部件承载件(100)包括：具有至少一个电传导层结构(104)和/或至少一个电绝缘层结构(106)的叠置件(102)；
其中，所述叠置件(102)的整个轮廓侧壁(122)的粗糙度Rz不大于20μm。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑惜金，米凯尔，
申请(专利权)人：奥特斯中国有限公司，
类型：发明
国别省市：