电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机制造方法及图纸

技术编号:32630324 阅读:20 留言:0更新日期:2022-03-12 18:04
本申请涉及一种电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机,该电控装置包括:与上位机连接的至少一个控制模块,设于电控柜内的电柜和模块转接板;其中,电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件,模块转接板分别连接至少一个电控制器件;每个控制模块与至少一个模块转接板连接;其中,控制模块通过连接线与模块转接板可拆卸连接;控制模块接收上位机下发的控制指令,输出控制信号经过模块转接板至电控制器件,对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制;该技术方案,实现了电控柜内部的模块化设计,简化了各种线路连接,当控制模块出现故障时,能够进行快速更换,在进行生产制造时,能够分开生产,提升了设备的生产制造效率。产制造效率。产制造效率。

【技术实现步骤摘要】
电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机


[0001]本申请涉及真空镀膜机
,特别是一种电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机需要使用多种机械部件,包括真空泵设备、离子源、中和器、晶控设备、烘烤设备等等;这些机械部件都需要通过上位机来进行控制;真空镀膜机的电控装置设计对于整个镀膜机来说,是非常重要的组成部分。
[0003]目前上位机对真空镀膜机的控制,主要是采用了PLC(ProgrammableLogic Controller,可编程逻辑控制器)来实现,参考图1所示,图1是一种真空镀膜机的电控柜结构示意图,电控柜包括电柜和PLC,电柜内部安装有多个电控制器件,这些电控制器件包括控制真空镀膜机的各个机械部件的继电器、参数调节设备等等,各个机械部件接线统一接入到电柜的电控制器件,电控制器件再通过接线接入到PLC上,PLC再连接至上位机,电控柜内的各种控制反馈线也是接入到PLC,从而导致各种线路繁杂且凌乱,容易产生安全问题,而且必须同时生产,也不利于电控柜的生产和安装过程。

技术实现思路

[0004]基于此,有必要针对上述技术缺陷之一,提供一种电控装置、电控柜、电气控制系统以及真空镀膜机,以便于设备更换和提高设备制造效率。
[0005]一种电控装置,包括:与上位机连接的至少一个控制模块,设于电控柜内的电柜和模块转接板;其中,所述电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件,所述模块转接板分别连接至少一个所述电控制器件;
[0006]每个所述控制模块与至少一个所述模块转接板连接;其中,所述控制模块通过连接线与所述模块转接板可拆卸连接;
[0007]所述控制模块接收上位机下发的控制指令,输出控制信号经过所述模块转接板至所述电控制器件,对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。
[0008]在一个实施例中,所述控制模块包括:法官模块、运控模块、温控模块、晶控模块、离子源电控模块中的至少一项。
[0009]在一个实施例中,所述法官模块用于控制真空设备和安全保护设备;
[0010]所述运控模块用于检测或控制真空电机与挡板的工作参数;
[0011]所述温控模块用于控制烘烤设备和制冷设备的温度参数;
[0012]所述晶控模块用于检测离子速率和控制镀膜厚度;
[0013]所述离子源电控模块用于设置离子源和中和器的工作参数。
[0014]在一个实施例中,所述控制模块包括控制电路板和接口模块;其中,所述接口模块上设置有至少一个接口;
[0015]所述控制电路板用于将控制指令转换为控制信号输出,所述接口模块用于通过连
接线连接至所述模块转接板。
[0016]在一个实施例中,所述模块转接板包括:PCB板,设于PCB板上的接线端子以及连接线接口;所述连接线接口的针脚通过印制线连接各个接线端子。
[0017]在一个实施例中,所述连接线为DB37连接线;所述连接线接口为DB37 接口;所述控制电路板通过双绞线连接所述上位机。
[0018]一种电控柜,包括:电柜和多个模块转接板;其中,所述电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件,所述模块转接板分别连接至少一个所述电控制器件;
[0019]所述模块转接板还连接外部的控制模块,所述控制模块与上位机连接;其中,每个所述控制模块通过连接线与至少一个所述模块转接板可拆卸连接。
[0020]在一个实施例中,所述控制模块接收上位机下发的控制指令,输出控制信号经过所述模块转接板至所述电控制器件,对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。
[0021]一种电气控制系统,包括:上位机,以及上述的电控装置。
[0022]一种真空镀膜机,包括上述的电气控制系统。
[0023]本申请的技术方案具有如下有益效果:
[0024]通过设计与上位机连接的至少一个控制模块以及多个模块转接板,控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件,每个控制模块与至少一个模块转接板连接,控制模块与模块转接板之间通过可拆卸的连接线进行连接;该技术方案,通过模块转接板实现了电控柜内部的模块化设计,采用可拆卸的连接线进行连接,简化了各种线路连接,将控制模块与模块转接板分开设计,当控制模块出现故障时,能够进行快速更换,在进行生产制造时,能够分开生产,提升了设备的生产制造效率。
附图说明
[0025]图1是一种真空镀膜机的电控柜结构示意图;
[0026]图2是一个实施例的电控装置结构示意图;
[0027]图3是控制模块的示意图;
[0028]图4是控制模块和模块转接板结构示意图。
具体实施方式
[0029]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本申请进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请,并不用于限定本申请。
[0030]参考图2所示,图2是一个实施例的电控装置结构示意图;该电控装置包括:与上位机连接的至少一个控制模块,设于电控柜内的电柜和模块转接板;电柜中内置有用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件,电控制器件1,电控制器件2,电控制器件3,
……
;模块转接板分别连接至少一个电控制器件。
[0031]如图示,上位机连接控制模块1

n,n≥2;每个控制模块与至少一个模块转接板连接,如图中模块转接板1

m,m≥2;控制模块通过连接线与模块转接板可拆卸连接;据此,各个控制模块与电柜之间实现了分离式设计,从而可以便于拆卸和安装。
[0032]具体工作中,控制模块接收上位机下发的控制指令,输出控制信号经过模块转接
板至电控制器件,对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。
[0033]上述实施例的技术方案,通过模块转接板实现了电控柜内部的模块化设计,采用可拆卸的连接线进行连接,简化了各种线路连接,将控制模块与模块转接板分开设计,当控制模块出现故障时,能够进行快速更换,在进行生产制造时,能够分开生产,提升了设备的生产制造效率。
[0034]下面阐述本申请的电控柜的实施例。
[0035]继续参考图2,本申请的电控柜包括电柜和多个模块转接板,如图中模块转接板1

m,m≥2;电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件,如图中,电控制器件1,电控制器件2,电控制器件3,
……
;模块转接板分别连接至少一个电控制器件;模块转接板还连接外部的控制模块,多个控制模块与上位机连接,如图中,控制模块1

n,n≥2;每个控制模块通过连接线与至少一个模块转接板可拆卸连接。
[0036]在具体工作中,控制模块可以接收上位机下发的控制指令,输出控制信号经过模块转接板至所述电控制器件,对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制;对于电控制器件,主要是指用于控制真空镀膜机的各个机械本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电控装置,其特征在于,包括:与上位机连接的至少一个控制模块,设于电控柜内的电柜和模块转接板;其中,所述电柜内置用于控制真空镀膜机的各个机械部件的电控制器件,所述模块转接板分别连接至少一个所述电控制器件;每个所述控制模块与至少一个所述模块转接板连接;其中,所述控制模块通过连接线与所述模块转接板可拆卸连接;所述控制模块接收上位机下发的控制指令,输出控制信号经过所述模块转接板至所述电控制器件,对相应的真空镀膜机的机械部件进行控制。2.根据权利要求1所述的电控装置,其特征在于,所述控制模块包括:法官模块、运控模块、温控模块、晶控模块、离子源电控模块中的至少一项。3.根据权利要求2所述的电控装置,其特征在于,所述法官模块用于控制真空设备和安全保护设备;所述运控模块用于检测或控制真空电机与挡板的工作参数;所述温控模块用于控制烘烤设备和制冷设备的温度参数;所述晶控模块用于检测离子速率和控制镀膜厚度;所述离子源电控模块用于设置离子源和中和器的工作参数。4.根据权利要求1所述的电控装置,其特征在于,所述控制模块包括控制电路板和接口模块;其中,所述接口模块上设置有至少一个接口;所述控制电路板用于将控制指令转换为控制信号...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘运鸿刘伟基冀鸣易洪波赵刚
申请(专利权)人:佛山市博顿光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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