用于扫描电子显微镜的样品座制造技术

技术编号:32625351 阅读:25 留言:0更新日期:2022-03-12 17:58
本实用新型专利技术公开了一种用于扫描电子显微镜的样品座,包括:基座和固定件,样品可放置在基座上,固定件设于基座且包括相对布置的两个,固定件用于固定样品,其中,两个固定件彼此相对的一面形成为平面且相互平行。根据本实用新型专利技术实施例的用于扫描电子显微镜的样品座,可以直接放置块状长条状样品,固定过程方便,不会浪费过多材料和时间,有利于后续的检测,且样品座结构简单,制造方便。制造方便。制造方便。

【技术实现步骤摘要】
用于扫描电子显微镜的样品座


[0001]本技术涉及金属检测设备领域,具体而言,涉及一种用于扫描电子显微镜的样品座。

技术介绍

[0002]目前,扫描电子显微镜能够分析的微区面积大可到达平方毫米的量级小可至平方微米的量级,图像的几何分辨率可以达到或优于纳米级,其样品制备相对简单,附件以及其他功能丰富,不仅能作高分辨力的微观形貌,也能够对试样表面的微区进行化学组分分析,是当前必不可少的分析手段,其中,样品仓是电镜测试中的重要组成部分。相关技术中,样品台的种类有限,一种是单个圆柱铜座大小的圆柱形凹槽样品座,一种是能容纳三个圆柱铜座的圆柱形凹槽样品座,这些样品台存在诸多问题。
[0003]例如,块状长条的样品不易纳入样品座内,需要做比较冗杂的处理,需要使用大量导电胶带固定样品,导致导电胶带的浪费;在需要放多个样品,且样品的高度均不一时,需要辅以垫片来达到统一高度的固定效果,操作复杂;无法同时观测多个块状样品的表面;在固定样品的过程中的操作手法需要比较灵活,不易上手,在固定过程中会浪费大量时间与材料,存在改进的空间。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术的一个目的在于提出一种用于扫描电子显微镜的样品座,样品放置容易,操作方便。
[0005]根据本技术实施例的用于扫描电子显微镜的样品座,包括:基座,样品置于所述基座上;固定件,所述固定件设于所述基座且包括相对布置的两个,所述固定件用于固定所述样品,其中,两个所述固定件彼此相对的一面形成为平面且相互平行。
[0006]根据本技术实施例的用于扫描电子显微镜的样品座,可以直接放置块状长条状样品,固定过程方便,不会浪费过多材料和时间,有利于后续的检测,且样品座结构简单,制造方便。
[0007]根据本技术实施例的用于扫描电子显微镜的样品座,至少一个所述固定件设有固定孔,所述固定孔适于紧固件贯穿以固定所述样品。
[0008]可选地,所述固定孔包括多个,多个所述固定孔沿竖向间隔布置。
[0009]根据本技术实施例的用于扫描电子显微镜的样品座,所述基座具有贯穿其的通孔,所述通孔设有内螺纹,具有外螺纹的紧固件可活动地设于所述通孔。
[0010]可选地,还包括:支撑台,所述支撑台设于所述基座,所述支撑台的下表面适于与所述紧固件抵接。
[0011]根据本技术实施例的用于扫描电子显微镜的样品座,所述固定件为长方体结构件。
[0012]根据本技术实施例的用于扫描电子显微镜的样品座,扫描电子显微镜上设有
安装底座,所述安装底座具有滑槽,所述基座的至少一部分适于插接至所述滑槽。
[0013]可选地,所述安装底座的侧部设有与所述滑槽相连通的配合孔,配合件适于插接至所述配合孔以固定所述基座。
[0014]可选地,所述基座包括:安装平台,所述固定件设于所述安装平台上;支撑部,所述支撑部设于所述安装平台的底部且所述支撑部适于插接至所述滑槽。
[0015]可选地,两个所述固定件分别设于所述安装平台的边缘处且两个所述固定件平行布置。
[0016]可选地,所述安装平台大致形成为方形。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
[0019]图1是根据本技术实施例的样品座的结构示意图;
[0020]图2是根据本技术实施例的样品座在一个视角的透视图;
[0021]图3是根据本技术实施例的样品座在另一个视角的透视图;
[0022]图4是根据本技术实施例的样品座在又一个视角的透视图;
[0023]图5是根据本技术实施例的样品座的安装示意图;
[0024]图6是图5所示结构的分解图;
[0025]图7是图5所示结构的立体图。
[0026]附图标记:
[0027]样品座100,
[0028]基座10,安装平台11,支撑部12,通孔13,支撑台14,
[0029]固定件20,固定孔21,
[0030]安装底座30,滑槽31,配合孔32,安装凹槽33。
具体实施方式
[0031]下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。
[0032]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
[0033]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0034]下面参考图1

图7描述根据本技术实施例的用于扫描电子显微镜的样品座100。
[0035]如图1

图7所示,根据本技术一个实施例的用于扫描电子显微镜的样品座100包括:基座10和固定件20,样品可放置在基座10上,固定件20设置在基座10上,固定件20包括两个,两个固定件20相对布置,其中,两个固定件20彼此相对的一面形成为平面,即每个固定件20朝向另一个固定件20的一侧形成为平面,两个平面相互平行,固定件20可以对样品起到固定的作用。
[0036]可以理解的是,通过将固定件20的相对的一面设置为平行的平面,可以更加贴合块状长条状板材等样品,可支持没有弧度的样品的轻松放置,可放置的样品种类多,减少了样品的局限性,满足更多现有样品的需求;同时块状的样品能更轻松放入样品座100,不需要做冗杂的处理,也无需使用大量的导电胶带来固定,能有效的节约时间,降低成本,还可以同时放置多个块状样品,实现对多个块状样品的观测,结构简单,操作方便。
[0037]根本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电子显微镜的样品座,其特征在于,包括:基座,样品置于所述基座上;固定件,所述固定件设于所述基座且包括相对布置的两个,所述固定件用于固定所述样品,其中,两个所述固定件彼此相对的一面形成为平面且相互平行。2.根据权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的样品座,其特征在于,至少一个所述固定件设有固定孔,所述固定孔适于紧固件贯穿以固定所述样品。3.根据权利要求2所述的用于扫描电子显微镜的样品座,其特征在于,所述固定孔包括多个,多个所述固定孔沿竖向间隔布置。4.根据权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的样品座,其特征在于,所述基座具有贯穿其的通孔,所述通孔设有内螺纹,具有外螺纹的紧固件可活动地设于所述通孔。5.根据权利要求4所述的用于扫描电子显微镜的样品座,其特征在于,还包括:支撑台,所述支撑台设于所述基座,所述支撑台的下表面适于与所述紧固件抵接。6.根据权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的样品座,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:林丽萍徐国钻黄春燕黄月玲范长乐傅雨
申请(专利权)人:崇义章源钨业股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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