本实用新型专利技术涉及一种可调型气泡检测装置，包括设置在被检测管路两侧的光纤放大器和光纤传感器，光纤放大器与被检测管路之间设置有凸透镜，光纤传感器设置在被检测管路与凹面镜之间，光纤放大器、光纤传感器、凸透镜、凹面镜均设于遮光腔体内，遮光腔体内壁采用黑色吸光涂层，该涂层用于吸收多余的干扰光线并且阻断外界环境的光线干扰，遮光腔体外部设置有调节旋钮，调节旋钮用于驱动大齿轮旋转，大齿轮啮合连接小齿轮，小齿轮带动丝杆转动，丝杆驱动连杆顶升装置前后移动，凸透镜安装在连杆顶升装置上，凸透镜随连杆顶升装置前后移动；本实用新型专利技术可根据不同口径的管路不同的检测环境进行调节，并且能有效避免干扰问题，保证了系统的运行稳定性。统的运行稳定性。统的运行稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种可调型气泡检测装置
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][0001]本技术涉及化学品供应
，具体地说是一种可调型气泡检测装置。
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技术介绍
][0002]在半导体制造过程中，大量使用各种化学品，这些化学品通过自动化供应设备输送到使用点，由于不同的化学品特有的化学特性和供应过程产生的气泡会直接影响供应的稳定性，甚至会造成设备部件的损坏。目前，业界普遍采用的是将发送与接收光纤传感器安装在管路上照射检测，如附图1所示，但是缺点是检测面小并且安装时要对准，对于细小气泡检测会有偏差；并且容易被外界环境中的光线干扰，从而可能造成误判断影响系统稳定性。
[0003]因此，现有技术主要存在以下问题和缺点：
[0004](1)光纤传感器直接安装于管壁，并且不同管径使用同一种管卡，容易出现松动，从而影响检测；
[0005](2)光纤传感器检测面小且无法调节，特别是大管径，检测显得非常局限，对于特别细小的气泡不能及时检测发现；
[0006](3)检测装置完全暴露在外部环境中本身非常容易受外界光源干扰影响，从而影响检测的稳定性；
[0007]针对上述问题，若能提供一种可调气泡检测装置根据不同口径的管路不同的检测环境进行调节，并且能有效避免干扰问题，以保证系统的运行稳定性，将具有非常重要的意义。
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技术实现思路
][0008]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种可调型气泡检测装置，可根据不同口径的管路不同的检测环境进行调节，并且能有效避免干扰问题，保证了系统的运行稳定性。
[0009]为实现上述目的设计一种可调型气泡检测装置，包括设置在被检测管路1两侧的光纤放大器10和光纤传感器15，所述光纤放大器10与被检测管路1之间设置有凸透镜9，所述光纤传感器15设置在被检测管路1与凹面镜14之间，所述光纤放大器10、光纤传感器15、凸透镜9、凹面镜14均设于遮光腔体2内，所述遮光腔体2内壁采用黑色吸光涂层，所述黑色吸光涂层用于吸收多余的干扰光线并且阻断外界环境的光线干扰，所述遮光腔体2外部设置有调节旋钮3，所述调节旋钮3用于驱动大齿轮5旋转，所述大齿轮5啮合连接小齿轮6，所述小齿轮6带动丝杆7转动，所述丝杆7驱动连杆顶升装置8前后移动，所述凸透镜9安装在连杆顶升装置8上，所述凸透镜9随连杆顶升装置8前后移动。
[0010]进一步地，所述被检测管路1外围抱箍有可更换管卡12，所述可更换管卡12通过固定螺丝13可拆卸式连接在固定滑轨16上，并沿固定滑轨16移动。
[0011]进一步地，所述连杆顶升装置8与丝杆7之间设置有复位弹簧11，所述连杆顶升装
置8通过复位弹簧11进行复位。
[0012]进一步地，所述调节旋钮3上设置有刻度盘4，所述刻度盘4用于凸透镜9前后移动调节。
[0013]进一步地，所述光纤放大器10、光纤传感器15均固定在遮光腔体2内，所述光纤放大器10、光纤传感器15的位置不会产生偏移。
[0014]进一步地，所述光纤放大器10、光纤传感器15分别电连接PLC控制端，所述PLC控制端连接有警报器。
[0015]本技术同现有技术相比，具有如下优点：
[0016](1)本技术管卡固定结构可调可更换不同规格使得检测光纤传感器位置不会出现偏差，检测更稳定；
[0017](2)本技术机械调节结构方便实用，使得不同管径均可调节检测；
[0018](3)本技术检测装置工作稳定，不受外界光线影响；
[0019]综上，本技术通过感光和调节结构的巧妙设计，可根据不同口径的管路不同的检测环境进行调节，并且能有效避免干扰问题，从而保证了系统的运行稳定性，值得推广应用。
[附图说明][0020]图1是现有的普通检测总装图；
[0021]图2是本技术的总装图；
[0022]图3是本技术的内部装配图；
[0023]图3a是图3的正面结构示意图；
[0024]图3b是图3的侧面结构示意图；
[0025]图3c是图3的俯视结构示意图；
[0026]图4是本技术可更换管卡装配图；
[0027]图4a是图4的正面结构示意图；
[0028]图4b是图4的侧面结构示意图；
[0029]图4c是图4的俯视结构示意图；
[0030]图5是本技术光学镜片调光装配图；
[0031]图5a是图5的正面结构示意图；
[0032]图5b是图5的侧面结构示意图；
[0033]图5c是图5的俯视结构示意图；
[0034]图6是本技术光斑调节装配图；
[0035]图6a是图6的正面结构示意图；
[0036]图6b是图6的侧面结构示意图；
[0037]图6c是图6的俯视结构示意图；
[0038]图中：1、被检测管路 2、遮光腔体 3、调节旋钮 4、刻度盘 5、大齿轮 6、小齿轮 7、丝杆 8、连杆顶升装置 9、凸透镜 10、光纤放大器 11、复位弹簧 12、可更换管卡 13、固定螺丝 14、凹面镜 15、光纤传感器 16、固定滑轨 17、固定管卡 18、发送光纤传感器 19、接收光纤传感器。
[具体实施方式][0039]下面结合附图对本技术作以下进一步说明：
[0040]如附图所示，本技术提供了一种可调型气泡检测装置，包括设置在被检测管路1两侧的光纤放大器10和光纤传感器15，光纤放大器10与被检测管路1之间设置有凸透镜9，光纤传感器15设置在被检测管路1与凹面镜14之间，光纤放大器10、光纤传感器15、凸透镜9、凹面镜14均设于遮光腔体2内，遮光腔体2内壁采用黑色吸光涂层，黑色吸光涂层用于吸收多余的干扰光线并且阻断外界环境的光线干扰，遮光腔体2外部设置有调节旋钮3，调节旋钮3用于驱动大齿轮5旋转，大齿轮5啮合连接小齿轮6，小齿轮6带动丝杆7转动，丝杆7驱动连杆顶升装置8前后移动，凸透镜9安装在连杆顶升装置8上，凸透镜9随连杆顶升装置8前后移动。
[0041]其中，被检测管路1外围抱箍有可更换管卡12，可更换管卡12通过固定螺丝13可拆卸式连接在固定滑轨16上，并沿固定滑轨16移动；连杆顶升装置8与丝杆7之间设置有复位弹簧11，连杆顶升装置8通过复位弹簧11进行复位；调节旋钮3上设置有刻度盘4，刻度盘4用于凸透镜9前后移动调节。光纤放大器10、光纤传感器15均固定在遮光腔体2内，光纤放大器10、光纤传感器15的位置不会产生偏移，且光纤放大器10、光纤传感器15分别电连接PLC控制端，PLC控制端连接有警报器，以发出异常警报。
[0042]本技术中，光纤传感器固定在检测装置的外壳内不会产生位置偏移，根据不同管径设计不同规格的管卡，快拆式的结构设计，管卡通过螺丝固定松紧可调，同时也便于更换，将整个检测装置固定在管路上。通过外部调节旋钮使大小齿轮啮合转动，小齿轮带动丝杆转动，丝杆再驱动连杆顶升装置转动从而使光学镜片可以前后精准移动调节，根据光学折射原理凸透镜可以改变光斑大小，根据调节旋钮上的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可调型气泡检测装置，其特征在于：包括设置在被检测管路(1)两侧的光纤放大器(10)和光纤传感器(15)，所述光纤放大器(10)与被检测管路(1)之间设置有凸透镜(9)，所述光纤传感器(15)设置在被检测管路(1)与凹面镜(14)之间，所述光纤放大器(10)、光纤传感器(15)、凸透镜(9)、凹面镜(14)均设于遮光腔体(2)内，所述遮光腔体(2)内壁采用黑色吸光涂层，所述黑色吸光涂层用于吸收多余的干扰光线并且阻断外界环境的光线干扰，所述遮光腔体(2)外部设置有调节旋钮(3)，所述调节旋钮(3)用于驱动大齿轮(5)旋转，所述大齿轮(5)啮合连接小齿轮(6)，所述小齿轮(6)带动丝杆(7)转动，所述丝杆(7)驱动连杆顶升装置(8)前后移动，所述凸透镜(9)安装在连杆顶升装置(8)上，所述凸透镜(9)随连杆顶升装置(8)前后移动。2.如权利要求1所述的可调型气泡检测装置，其特征在于：所述被检测管...
【专利技术属性】
技术研发人员：仲康，李方，李臻，
申请(专利权)人：苏州冠博控制科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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