一种用于晶圆搬运的水平关节机器人制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，涉及运输设备技术领域。本实用新型专利技术包括机箱、大臂、和二臂，机箱上表面安装有机箱盖，机箱内表面安装有搬运机座，搬运机座内表面安装有大臂电机内圈，大臂电机内圈上表面安装有大臂电机，大臂电机内圈下表面安装有转动同步轮。本实用新型专利技术通过控制同步电机的转动，带动旋转同步轮旋转，利用转动同步轮与旋转同步轮啮合，并且，通过对大臂电机的控制，使大臂进行转动，通过减速机的安装并且通过中空减速机上、中空减速机下以及减速机同步轮，能够满足转动惯动小，而且能够减小前端的质量与空间，减少了转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点。缺点。缺点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆搬运的水平关节机器人


[0001]本技术属于运输设备
，特别是涉及一种用于晶圆搬运的水平关节机器人。

技术介绍

[0002]现有的四轴平面运动机器人由4个电机分别驱动，驱动装置布置在关节上，该种布置主式存在转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点，在操作空间大和大负载的工作环境中，缺点表现更明显，同时，驱动装置布置在关节上，小臂上的零部件较多，占据的空间也比较大，对小臂的防尘罩体积也较大。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，解决现有的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]本技术为一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱、大臂、和二臂，所述机箱上表面安装有机箱盖，所述机箱内表面安装有搬运机座，用来安装大臂电机，所述搬运机座内表面安装有大臂电机内圈，用来固定大臂电机，所述大臂电机内圈上表面安装有大臂电机，所述大臂电机内圈下表面安装有转动同步轮，通过转动同步轮与旋转同步轮之间的啮合，便于带动大臂转动，所述转动同步轮下表面安装有中空减速机下，所述大臂电机输出端安装有联轴器，所述联轴器下表面安装有中空减速机上，所述中空减速机上与中空减速机下之间安装有减速机同步轮，所述安装支架外表面安装有安装电机，所述安装电机输出端外表面安装有传送轮，所述传送轮外表面安装有传送带，所述传送带外表面安装有移动板，所述搬运机座下表面与移动板表面连接，通过控制安装电机，利用传送轮旋转带动传送带移动，从而使移动板移动，使搬运机座能够上下移动。
[0006]优选地，所述中空减速机上安装在大臂内表面，所述大臂内表面安装有大臂被动同步轮，所述大臂被动同步轮内表面安装有固定转轴，所述大臂被动同步轮下表面安装有大臂外圈，所述大臂外圈下表面安装有同步轮连接盘，所述同步轮连接盘下表面安装有轴承，所述固定转轴下表面安装有压盖板，防止灰尘，所述固定转轴外表面安装有二臂主动同步轮，方便带动末端臂板。
[0007]优选地，所述二臂主动同步轮安装在二臂内表面，所述二臂内表面安装有二臂外圈，所述二臂外圈内表面安装有二臂内圈，所述二臂内圈下表面安装有末端同步轮，用来带动末端臂板转动，所述末端同步轮下表面安装有末端臂板。
[0008]优选地，所述搬运机座内表面安装有同步电机，所述同步电机下表面安装有减速机，所述减速机下表面安装有旋转同步轮，所述转动同步轮与旋转同步轮啮合。
[0009]优选地，所述搬运机座下表面安装有同步带护罩、同步轮护罩以及同步带盖板，所述大臂下表面安装有大臂圆盖板，所述二臂下表面安装有二臂盘盖板和弧盖板，用来对设
备进行保护，也能够起到防尘的作用。
[0010]优选地，所述机箱外表面安装有电源接头板。
[0011]本技术具有以下有益效果：
[0012]本技术通过控制同步电机的转动，带动旋转同步轮旋转，利用转动同步轮与旋转同步轮啮合，并且，通过对大臂电机的控制，使大臂进行转动，通过减速机的安装并且通过中空减速机上、中空减速机下以及减速机同步轮，能够满足转动惯动小，而且能够减小前端的质量与空间，减少了转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点。
[0013]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术中机器人的整体结构示意图
[0017]图3为本技术中机器人的主视结构示意图；
[0018]图4为图3中A
‑
A剖面结构示意图；
[0019]图5为图4中A部分局部放大图；
[0020]图6为图4中B部分局部放大图；
[0021]图7为图4中C部分局部放大图；
[0022]图8为本技术中机器人的等轴测结构示意图；
[0023]图9为本技术中机器人的左视结构示意图。
[0024]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0025]1、机箱；2、机箱盖；3、搬运机座；4、大臂电机内圈；5、转动同步轮；6、联轴器；7、同步带护罩；8、同步轮护罩；9、同步电机；10、减速机； 11、大臂圆盖板；12、大臂电机；13、同步带盖板；14、大臂；15、大臂外圈；16、固定转轴；17、大臂被动同步轮；18、同步轮连接盘；19、轴承；20、中空减速机下；21、中空减速机上；22、减速机同步轮；23、二臂主动同步轮；24、二臂外圈；25、二臂内圈；26、末端同步轮；27、二臂盘盖板； 28、弧盖板；29、末端臂板；30、压盖板；31、电源接头板；32、二臂；33、旋转同步轮；34、安装支架；35、安装电机；36、传送轮；37、传送带；38、移动板。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元
件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]如图所示，本技术为一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱1、大臂14、和二臂32，机箱1上表面安装有机箱盖2，机箱1内表面安装有搬运机座3，用来安装大臂电机12，搬运机座3内表面安装有大臂电机内圈4，用来固定大臂电机12，大臂电机内圈4上表面安装有大臂电机12，大臂电机内圈4下表面安装有转动同步轮5，转动同步轮5下表面安装有中空减速机下20，大臂电机12输出端安装有联轴器6，联轴器6下表面安装有中空减速机上21，中空减速机上21与中空减速机下20之间安装有减速机同步轮22，通过转动同步轮22与旋转同步轮33之间的啮合，便于带动大臂12 转动，安装支架34外表面安装有安装电机35，安装电机35输出端外表面安装有传送轮36，传送轮36外表面安装有传送带37，传送带37外表面安装有移动板38，搬运机座3下表面与移动板38上表面连接，通过控制安装电机，利用传送轮旋转带动传送带移动，从而使移动板移动，使搬运机座能够上下移动。
[0029]其中，中空减速机上21安装在大臂14内表面，大臂14内表面安装有大臂被动同步轮17，大臂被动同步轮17内表面安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，包括机箱(1)、大臂(14)、二臂(32)和安装支架(34)，其特征在于：所述机箱(1)上表面安装有机箱盖(2)，所述机箱(1)内表面安装有搬运机座(3)，所述搬运机座(3)内表面安装有大臂电机内圈(4)，所述大臂电机内圈(4)上表面安装有大臂电机(12)，所述大臂电机内圈(4)下表面安装有转动同步轮(5)，所述转动同步轮(5)下表面安装有中空减速机下(20)，所述大臂电机(12)输出端安装有联轴器(6)，所述联轴器(6)下表面安装有中空减速机上(21)，所述中空减速机上(21)与中空减速机下(20)之间安装有减速机同步轮(22)，所述安装支架(34)外表面安装有安装电机(35)，所述安装电机(35)输出端外表面安装有传送轮(36)，所述传送轮(36)外表面安装有传送带(37)，所述传送带(37)外表面安装有移动板(38)，所述搬运机座(3)下表面与移动板(38)上表面连接。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬运的水平关节机器人，其特征在于，所述中空减速机上(21)安装在大臂(14)内表面，所述大臂(14)内表面安装有大臂被动同步轮(17)，所述大臂被动同步轮(17)内表面安装有固定转轴(16)，所述大臂被动同步轮(17)下表面安装有大臂外圈(15)，所述大臂外圈(15)下表面安装有同步轮连接盘(18)，所述同步轮连接盘(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢小辉，
申请(专利权)人：深圳汇控智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：