本发明专利技术提供了一种夹持装置，其包括：托盘，托盘为旋转对称的形状；多个支撑组件，多个支撑组件沿托盘的周向间隔设置在托盘上，各个支撑组件包括用于支撑呈板状的待加工件的支撑部和用于与待加工件的外周边限位接触的限位部，多个支撑组件的支撑部沿待加工件的周向间隔设置；夹紧组件，夹紧组件设置在托盘上并包括摆杆，摆杆绕第一预设轴线可摆动地设置，第一预设轴线与托盘的中心轴线垂直；沿摆杆的延伸方向，摆杆的两端中的其中一端形成用于与待加工件的外周边抵接的抵接端，以使夹紧组件和至少一个限位部共同对待加工件形成夹持作用。本申请的夹持装置能够解决现有技术中的真空吸附固定硅片的方式会对硅片的背部板面造成大面积遮挡的问题。大面积遮挡的问题。大面积遮挡的问题。
【技术实现步骤摘要】
夹持装置
[0001]本专利技术涉及机械设备领域，具体而言，涉及一种夹持装置。
技术介绍
[0002]在半导体制造工艺设备中，硅片在工艺生产、检测过程等环节中都需要在支撑平台上进行固定。
[0003]目前，常用的硅片固定方法基本都是吸附式，包括真空吸附式与静电吸附式。其中，真空吸附式就是在硅片和吸盘表面的接触区域产生真空，依靠硅片两侧压力差产生的压力将硅片牢牢固定在真空吸盘上。真空吸附的方式能够使硅片受力均匀，不容易损伤硅片，且真空吸附对环境的要求低。因此，通过真空吸附固定硅片的方式应用较广泛。
[0004]但在某些生产工艺中，硅片的背部板面不允许被支撑物接触，或者需要对硅片的背部板面进行光学测试等，则真空吸附固定硅片的方式会对硅片的背部板面造成大面积遮挡。
技术实现思路
[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种夹持装置，以解决现有技术中的真空吸附固定硅片的方式会对硅片的背部板面造成大面积遮挡的问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供了一种夹持装置，其包括：托盘，托盘为旋转对称的形状；多个支撑组件，多个支撑组件沿托盘的周向间隔设置在托盘上，各个支撑组件包括用于支撑呈板状的待加工件的支撑部和用于与待加工件的外周边限位接触的限位部，多个支撑组件的支撑部沿待加工件的周向间隔设置；夹紧组件，夹紧组件设置在托盘上并包括摆杆，摆杆绕第一预设轴线可摆动地设置，第一预设轴线与托盘的中心轴线垂直；沿摆杆的延伸方向，摆杆的两端中的其中一端形成用于与待加工件的外周边抵接的抵接端，以使夹紧组件和至少一个限位部共同对待加工件形成夹持作用。
[0007]进一步地，夹紧组件为一个，托盘内设置有预设气路，预设气路与夹紧组件连接，以向夹紧组件供气，进而通过气动控制方式来控制摆杆的摆动；和/或支撑组件为至少三个，夹紧组件和至少两个限位部共同对待加工件形成夹持作用。
[0008]进一步地，托盘上设置有第一导槽，夹紧组件设置在第一导槽内并沿第一导槽的延伸方向位置可调节地设置；第一导槽的延伸方向与托盘的中心轴线的延伸方向垂直相交。
[0009]进一步地，托盘上设置有多个沿托盘的周向间隔设置的第二导槽，多个支撑组件一一对应地设置在多个第二导槽内，各个支撑组件沿相应的第二导槽的延伸方向位置可调节地设置；各个第二导槽的延伸方向与托盘的中心轴线的延伸方向垂直相交。
[0010]进一步地，摆杆的抵接端设置有固定块，固定块上设置有凸出部，凸出部用于卡设在待加工件的凹槽内；和/或夹紧组件还包括安装座、定位部和固定设置在安装座上的第一转轴，摆杆可转动地套设在第一转轴上，第一转轴的中心轴线形成第一预设轴线；沿第一转
轴的轴向，摆杆的两侧均设置有定位部，定位部用于与摆杆限位接触，以对摆杆沿第一转轴的轴向进行限位。
[0011]进一步地，沿摆杆的延伸方向，摆杆的两端中的另一端为驱动端，夹紧组件还包括驱动组件，驱动组件的至少部分沿与第一预设轴线的延伸方向垂直的方向可伸缩地设置并与摆杆的驱动端连接，以驱动摆杆摆动；和/或夹紧组件还包括止挡部，沿与第一预设轴线的延伸方向垂直的方向，止挡部位于摆杆的背离待加工件的一侧并用于与摆杆限位抵接，进而对摆杆的最大摆动行程进行控制。
[0012]进一步地，驱动组件包括第一驱动部件和推动部，第一驱动部件的输出轴沿与第一预设轴线的延伸方向垂直的方向可伸缩地设置并与推动部连接，推动部与摆杆的驱动端抵接，以对摆杆的驱动端产生推动力；推动部的用于与摆杆接触的外表面为曲面。
[0013]进一步地，夹紧组件还包括：固定设置的安装座；弹性件，沿弹性件的伸缩方向，弹性件的两端中的其中一端与摆杆的驱动端连接，弹性件的两端中的另一端设置在安装座上。
[0014]进一步地，驱动组件包括第二驱动部件，第二驱动部件的输出轴沿与第一预设轴线的延伸方向垂直的方向可伸缩地设置；第二驱动部件的输出轴绕第二预设轴线与摆杆的驱动端转动连接，第二驱动部件的主体绕第三预设轴线可转动地设置，第二预设轴线和第三预设轴线均与第一预设轴线平行。
[0015]进一步地，各个支撑部均用于与待加工件的背部板面的边缘接触；和/或托盘绕其中心轴线可转动地设置并沿其中心轴线的延伸方向可运动地设置。
[0016]应用本专利技术的技术方案，夹持装置包括托盘、夹紧组件和多个支撑组件，托盘为旋转对称的形状；多个支撑组件沿托盘的周向间隔设置在托盘上，各个支撑组件包括用于支撑呈板状的待加工件的支撑部和用于与待加工件的外周边限位接触的限位部，即待加工件呈板状，各个支撑组件均包括用于支撑待加工件的支撑部，多个支撑组件的支撑部沿待加工件的周向间隔设置；夹紧组件设置在托盘上并包括摆杆，摆杆绕第一预设轴线可摆动地设置，第一预设轴线与托盘的中心轴线垂直；沿摆杆的延伸方向，摆杆的两端中的其中一端形成用于与待加工件的外周边抵接的抵接端，以使夹紧组件和至少一个限位部共同对待加工件形成夹持作用。
[0017]通过使多个支撑组件的支撑部沿待加工件的周向间隔设置，以减小多个支撑组件与待加工件的背部板面的接触面积，进而减小对待加工件的背部板面造成的遮挡现象，使待加工件为硅片，以解决现有技术中的真空吸附固定硅片的方式会对硅片的背部板面造成大面积遮挡的问题。
附图说明
[0018]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本专利技术的夹持装置夹持住待加工件的结构示意图；图2示出了图1中的夹持装置夹持住待加工件的纵向剖视图；图3示出了图1中的夹持装置夹持住待加工件的俯视图；图4示出了根据本专利技术的夹持装置的夹紧组件的第一种结构示意图；
图5示出了图4中的夹持装置的夹紧组件的纵向剖视图；图6示出了图4中的夹持装置的夹紧组件的固定块的结构示意图；图7示出了根据本专利技术的夹持装置的夹紧组件的第二种结构示意图；图8示出了根据本专利技术的夹持装置的支撑组件的结构示意图；图9示出了图8中的夹持装置的支撑组件的限位部的限位接触面的结构示意图。
[0019]其中，上述附图包括以下附图标记：10、托盘；11、第一导槽；12、第二导槽；13、预设气路；20、支撑组件；201、第一支撑组件；202、第二支撑组件；203、第三支撑组件；204、第四支撑组件；21、支撑部件；211、支撑部；2111、支撑面；212、限位部；2121、限位接触面；2122、第一面部；2123、第二面部；24、转接件；25、支撑座；30、夹紧组件；31、摆杆；311、固定块；312、凸出部；313、凸出侧面；32、第一转轴；321、定位部；331、安装座；3311、固定柱；3312、基座；332、第一底座；333、第二底座；341、第一驱动部件；342、推动部；343、第二驱动部件；344、第二转轴；345、第三转轴；35、弹性件；351、第二连接座；352、连接环；353、连接孔；36、止挡部；361、压片；362、顶杆；363、第一连接座；50、运动台；200、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种夹持装置，其特征在于，包括：托盘（10），所述托盘（10）为旋转对称的形状；多个支撑组件（20），多个所述支撑组件（20）沿所述托盘（10）的周向间隔设置在所述托盘（10）上，各个所述支撑组件（20）包括用于支撑呈板状的待加工件的支撑部（211）和用于与所述待加工件的外周边限位接触的限位部（212），多个所述支撑组件（20）的支撑部（211）沿所述待加工件的周向间隔设置；夹紧组件（30），所述夹紧组件（30）设置在所述托盘（10）上并包括摆杆（31），所述摆杆（31）绕第一预设轴线可摆动地设置，所述第一预设轴线与所述托盘（10）的中心轴线垂直；沿所述摆杆（31）的延伸方向，所述摆杆（31）的两端中的其中一端形成用于与所述待加工件的外周边抵接的抵接端，以使所述夹紧组件（30）和至少一个所述限位部（212）共同对所述待加工件形成夹持作用。2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹紧组件（30）为一个，所述托盘（10）内设置有预设气路（13），所述预设气路（13）与所述夹紧组件（30）连接，以向所述夹紧组件（30）供气，进而通过气动控制方式来控制所述摆杆（31）的摆动；和/或所述支撑组件（20）为至少三个，所述夹紧组件（30）和至少两个所述限位部（212）共同对所述待加工件形成夹持作用。3.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述托盘（10）上设置有第一导槽（11），所述夹紧组件（30）设置在所述第一导槽（11）内并沿所述第一导槽（11）的延伸方向位置可调节地设置；所述第一导槽（11）的延伸方向与所述托盘（10）的中心轴线的延伸方向垂直相交。4.根据权利要求1或3所述的夹持装置，其特征在于，所述托盘（10）上设置有多个沿所述托盘（10）的周向间隔设置的第二导槽（12），多个所述支撑组件（20）一一对应地设置在多个所述第二导槽（12）内，各个所述支撑组件（20）沿相应的所述第二导槽（12）的延伸方向位置可调节地设置；各个所述第二导槽（12）的延伸方向与所述托盘（10）的中心轴线的延伸方向垂直相交。5.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述摆杆（31）的抵接端设置有固定块（311），所述固定块（311）上设置有凸出部（312），所述凸出部（312）用于卡设在所述待加工件的凹槽内；和/或所述夹紧组件（30）还包括安装座（331）、定位部（321）和固定设置在所述安装座（331）上的第一转轴（32），所述摆杆（31...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐艳文，江旭初，袁嘉欣，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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