本实用新型专利技术涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，其通过设置此设备，可以对超声波清洗箱进行减震，从而防止超声波清洗箱在工作时与桌面出现磕碰而损害；包括壳体、超声波清洗箱、固定座、四组连杆、四组滑块、两组固定杆、四组固定块、四组第一弹簧、四组第二弹簧、两组固定板、盖板、两组第一活塞、两组第一气缸和延长板，超声波清洗箱位于壳体内部，超声波清洗箱内部设置有水，盖板与两组固定板可滑动连接，盖板与超声波清洗箱位置对应，盖板安装在两组第一活塞前端，两组第一活塞与两组第一气缸输出端连接，两组第一气缸安装在延长板顶端，延长板安装在壳体后端上侧。装在壳体后端上侧。装在壳体后端上侧。
【技术实现步骤摘要】
一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备
[0001]本技术涉及晶圆加工的
，特别是涉及一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]晶圆在加工过程中需要对其进行清洗，现有对晶圆清洗的方法是，将晶圆放入至超声波清洗箱内，然后超声波清洗箱内的水对晶圆进行超声波清洗，然而超声波清洗箱在启动时会带动箱体整体震动，超声波清洗箱则会与桌面出现磕碰，从而容易使超声波清洗箱损坏。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种可以对超声波清洗箱进行减震，从而防止超声波清洗箱在工作时与桌面出现磕碰而损害的具有减震防护结构的晶圆清洗设备。
[0005]本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，包括壳体、超声波清洗箱、固定座、四组连杆、四组滑块、两组固定杆、四组固定块、四组第一弹簧、四组第二弹簧、两组固定板、盖板、两组第一活塞、两组第一气缸和延长板，超声波清洗箱位于壳体内部，超声波清洗箱内部设置有水，固定座安装在超声波清洗箱底端，四组连杆顶端分别可转动安装在固定座前端和后端的左侧和右侧，四组连杆底端分别可转动安装在四组滑块上，四组滑块在两组固定杆内滑动，两组固定杆分别通过四组固定块安装在壳体内底端，四组第一弹簧分别安装在四组固定块内侧，四组第一弹簧另一端与四组滑块外侧连接，四组第一弹簧位于两组固定杆外侧，四组第二弹簧分别安装壳体内前侧壁、后侧壁、左侧壁和右侧壁上，四组第二弹簧均与超声波清洗箱连接，两组固定板安装在壳体内上侧左部和右部，盖板与两组固定板可滑动连接，盖板与超声波清洗箱位置对应，盖板安装在两组第一活塞前端，两组第一活塞与两组第一气缸输出端连接，两组第一气缸安装在延长板顶端，延长板安装在壳体后端上侧。
[0006]本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，还包括四组支撑柱、顶板、第二气缸、第二活塞和放置框，四组支撑柱分别安装在壳体顶端前侧和延长板顶端的左部和右部，顶板安装在四组支撑柱顶端，第二气缸安装在顶板上，第二活塞顶端与第二气缸输出端连接，放置框安装在第二活塞底端。
[0007]本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，还包括烘干装置、弯管和出气口，烘干装置安装在顶板顶端后侧，弯管输入端穿过顶板与烘干装置输出端连接，出气口安装在弯管输出端。
[0008]本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，还包括罩体和料门，罩体
底端与壳体顶端和延长板顶端连接，罩体顶端与顶板底端连接，罩体位于两组固定板、盖板、两组第一活塞、搜子支撑柱、第二活塞和放置框外侧，罩体右端连通设置有料口，料门盖装在料口处。
[0009]本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，还包括把手，把手安装在料门上。
[0010]本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，还包括加强筋，加强筋顶端与延长板底端连接，加强筋前端与壳体后端连接。
[0011]本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，还包括四组螺杆和四组垫脚，壳体底端左前部、右前部、左后部和右后部均设置有螺纹孔，四组螺杆分别与壳体底端的四组螺纹孔螺装连接，四组螺杆可转动安装在四组垫脚顶端。
[0012]本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，所述弯管设置为软性材质。
[0013]与现有技术相比本技术的有益效果为：将晶圆放置在超声波清洗箱内部的水中，然后打开超声波清洗箱，超声波清洗箱则使水对晶圆进行超声波清洗，而超声波清洗箱启动时会产生震动，四组第二弹簧则发生弹力变形，固定座会带动四组连杆运动，四组连杆则带动四组滑块在两组固定杆上滑动，四组滑块则对四组第一弹簧进行挤压，四组第一弹簧则发生弹力变形，然后四组第二弹簧和四组第一弹簧回弹则对超声波清洗箱进行减震，当超声波清洗箱不使用时，打开两组第一气缸，两组第一活塞则带动盖板在两组固定板上滑动，盖板则盖装在超声波清洗箱顶端来对超声波清洗箱进行防尘，通过设置此设备，可以对超声波清洗箱进行减震，从而防止超声波清洗箱在工作时与桌面出现磕碰而损害。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构示意图；
[0015]图2是图1的俯视结构示意图；
[0016]图3是图1的左视结构示意图；
[0017]图4是图1中A的放大结构示意图；
[0018]附图中标记：1、壳体；2、超声波清洗箱；3、固定座；4、连杆；5、滑块；6、固定杆；7、固定块；8、第一弹簧；9、第二弹簧；10、固定板；11、盖板；12、第一活塞；13、第一气缸；14、延长板；15、支撑柱；16、顶板；17、第二气缸；18、第二活塞；19、放置框；20、烘干装置；21、弯管；22、出气口；23、罩体；24、料门；25、把手；26、加强筋；27、螺杆；28、垫脚。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0020]如图1至图4所示，本技术的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，包括壳体1、超声波清洗箱2、固定座3、四组连杆4、四组滑块5、两组固定杆6、四组固定块7、四组第一弹簧8、四组第二弹簧9、两组固定板10、盖板11、两组第一活塞12、两组第一气缸13和延长板14，超声波清洗箱2位于壳体1内部，超声波清洗箱2内部设置有水，固定座3安装在超声波清洗箱2底端，四组连杆4顶端分别可转动安装在固定座3前端和后端的左侧和右侧，四组连
杆4底端分别可转动安装在四组滑块5上，四组滑块5在两组固定杆6内滑动，两组固定杆6分别通过四组固定块7安装在壳体1内底端，四组第一弹簧8分别安装在四组固定块7内侧，四组第一弹簧8另一端与四组滑块5外侧连接，四组第一弹簧8位于两组固定杆6外侧，四组第二弹簧9分别安装壳体1内前侧壁、后侧壁、左侧壁和右侧壁上，四组第二弹簧9均与超声波清洗箱2连接，两组固定板10安装在壳体1内上侧左部和右部，盖板11与两组固定板10可滑动连接，盖板11与超声波清洗箱2位置对应，盖板11安装在两组第一活塞12前端，两组第一活塞12与两组第一气缸13输出端连接，两组第一气缸13安装在延长板14顶端，延长板14安装在壳体1后端上侧；将晶圆放置在超声波清洗箱2内部的水中，然后打开超声波清洗箱2，超声波清洗箱2则使水对晶圆进行超声波清洗，而超声波清洗箱2启动时会产生震动，四组第二弹簧9则发生弹力变形，固定座3会带动四组连杆4运动，四组连杆4则带动四组滑块5在两组固定杆6上滑动，四组滑块5则对四组第一弹簧8进行挤压，四组第一弹簧8则发生弹力变形，然后四组第二弹簧9和四组第一弹簧8回弹则对超声波清洗箱2进行减震，当超声波清洗箱2不使用时，打开两组第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，其特征在于，包括壳体(1)、超声波清洗箱(2)、固定座(3)、四组连杆(4)、四组滑块(5)、两组固定杆(6)、四组固定块(7)、四组第一弹簧(8)、四组第二弹簧(9)、两组固定板(10)、盖板(11)、两组第一活塞(12)、两组第一气缸(13)和延长板(14)，超声波清洗箱(2)位于壳体(1)内部，超声波清洗箱(2)内部设置有水，固定座(3)安装在超声波清洗箱(2)底端，四组连杆(4)顶端分别可转动安装在固定座(3)前端和后端的左侧和右侧，四组连杆(4)底端分别可转动安装在四组滑块(5)上，四组滑块(5)在两组固定杆(6)内滑动，两组固定杆(6)分别通过四组固定块(7)安装在壳体(1)内底端，四组第一弹簧(8)分别安装在四组固定块(7)内侧，四组第一弹簧(8)另一端与四组滑块(5)外侧连接，四组第一弹簧(8)位于两组固定杆(6)外侧，四组第二弹簧(9)分别安装壳体(1)内前侧壁、后侧壁、左侧壁和右侧壁上，四组第二弹簧(9)均与超声波清洗箱(2)连接，两组固定板(10)安装在壳体(1)内上侧左部和右部，盖板(11)与两组固定板(10)可滑动连接，盖板(11)与超声波清洗箱(2)位置对应，盖板(11)安装在两组第一活塞(12)前端，两组第一活塞(12)与两组第一气缸(13)输出端连接，两组第一气缸(13)安装在延长板(14)顶端，延长板(14)安装在壳体(1)后端上侧。2.如权利要求1所述的一种具有减震防护结构的晶圆清洗设备，其特征在于，还包括四组支撑柱(15)、顶板(16)、第二气缸(17)、第二活塞(18)和放置框(19)，四组支撑柱(15)分别安装在壳体(1)顶端前侧和延长板(14)顶端的左部和右部，顶板(16)安装在四组支撑柱(...
【专利技术属性】
技术研发人员：文卫成，李兴，文维德，
申请(专利权)人：上海芯昂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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